Устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра Советский патент 1992 года по МПК H01L21/304 

Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов.

Известно устройство для бесцентрового врезного шлифования цилиндрических деталей, содержащее стойку с опорным ножом для установки обрабатываемой детали, шлифовальный и ведущий барабаны. Деталь, лежащая на поверхности опорйого ножа, посредством ведущего круга получает вращение и прижимается к шлифовальному кругу. Недостатком известного устройства является жесткое крепление опорного ножа, требующее ручной перестановки при изменении диаметра обрабатываемой детали, что не позволяет его эффективно использовать в производстве с часто меняющейся номенклатурой изделий

Наиболее близким по решаемой задаче к заявленному устройству является устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра, содержащее шлифующий и ведущий барабаны и опору в виде нож атНедостатком данного устройства является необходимость перенастройки опоры при переходе на другой диаметр заготовки.

Цель изобретения - автоматически переналадка устройства при обработке изделий разного диаметра.

На фиг, 1 изображена схема устройства на фиг 2 - разрез А-А на фиг 1.

Устройство состоит из шлифовального барабана 1, эластичного ведущего барабан 2, опорного ролика 3, закрепленного на кон цах пары рычагов 4. причем рычаги установ лены соосно шлифовальному барабану 1 и опираются на механизм выдвижения упоров, который состоит из собственно упоров 5, кулачков 6 и дискретного привода 7 поверхность ролика 3 опирается монокри сталл 8

СО

С

XI 00

Јь

о сл

СА)

Устройство работает следующим образом.

Дискретный привод 7 поворачивает кулачки 6 и выдвигает упоры 5 на размер пропорциональный диаметру обрабатывав- мого монокристалла 8 так чтобы ось моно- кристалл а 8 возвышалась над осью центров барабанов 1 и 2 на постоянную величину, которая определяется экспериментально и равна 14 мм. Рычаги 4 опускают до сопри- косновения с упорами 5, в результате монокристалл 8 опускается из позиции загрузки на позицию обработки. Ведущим барабаном 2 прижимают монокристалл 8 к шлифовальному барабану 1 и сообщают вращение барабанам 1 и 2. В процессе обработки подают ведущий барабан 2 на монокристалл 8 до получения требуемого диаметра изделия. По завершении обработки отводят барабан 2 и поднимают рычаги 4 и перемещают отшлифованный монокристалл 8 на выгрузку

Внедрение предлагаемого устройства позволяет осуществить создание гибкой производственной системы по обработке монокристаллов прлупроводниковых материалов, ликвидировать продолжительные ручные операции при изменении параметров обрабатываемых изделий, поднять производительность труда.

Формула изобретения Устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра, содержащее шлифовальный и ведущий барабаны и опору, отличающееся тем что, с целью автоматической переналадки, оно дополнительно содержит пару рычагов, упоры с механизмом их выдвижения, а опора выполнена в виде ролика, закрепленного на концах пары рычагов, опирающихся на упоры, причем другие концы рычагов закреплены на оси вращения шлифовального барабана

Сущность изобретения: устройство содержит шлифовальный и ведущий барабаны, опору в виде ролика, закрепленного на концах пары рычагов. Другие концы рычагов закреплены на оси вращения шлифовального барабана 2 ил

Ось слитка

ШШч т-ff/-- Ч / х Х

Ось центров

Фм./

ли

ФиЗ.1