Способ изготовления деталей Советский патент 1993 года по МПК B23H7/02 

Изобретение относится к машиностроению, в частности к электрическим методам обработки токопроводящих м-атериалов, и может быть использовано для электроэрозионного вырезания непрофилированным электродом-инструментом мембран датчиков давления из кремниевых пластин.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей способа за счет повышения уровня миниатюаризации изготавливаемых деталей из токопроводящих пластин.

На фиг.1 показана обрабатываемая деталь, разрез; на фиг.2 - то же, план.

На лицевых сторонах обрабатываемых пластин 1 предварительно изготавливают канавки 2 по траектории контура вырезаемых пластин 3. Далее при помощи непрофилированного электрода-инструмента 4 производят электроэрозионную, вырезку этих контуров по дну канавок 2.

Формирование канавки в зоне реза с планарной стороны позволяет устранить

появление дефектной зоны на планарной стороне вырезаемой микродетали.

Это обусловлено тем, что при электроэрозионном резании материала движущейся электрод-проволокой в зоне реза происходит вытеснение материала обрабатываемой пластины из зоны реза на края пластины, способствуя образованию наплыва материал (Образования окисла кремния при вырезке мембран из кремниевых пластин) на рабочей стороне пластины. Наличие предварительной канавки исключает попадания наплыва материала на рабочую поверхность микродетали. Это позволяет изготавливать микродетали датчиков с высоким качеством рабочих поверхностей.

Вырезка микродетали по дну канавки обеспечивает максимальную производительность вырезки при сохранении качества смежной вырезаемой микродетали: Формирование канавки на пластине путем травления обеспечивает высокую точность и производительность.

(Л

С

v|

ЧЭ

00

о

со

Геометрические размеры канавки по поперечному сечению выбраны из технологических соображений исходя из требований миниатюризации вырезаемой детали,

Пример. Круглые мембраны выреза- ают из кремниевой пластины 1 (фйг.1) толщиной 300 мкм на электроэрозионной установке А 287. Перед вырезкой мембран 3 в зоне реза на пластине формируют травлением канавки 2 глубиной 50 мкм и шириной 50 мкм. Диаметр проволоки-электрода 25 мкм. После формирования канавок проводят вырезку мембран 3 электрод-проволокой 4 по дну канавок 2. Канавки формируют на пленарных (рабочих) сторонах пластин, где недопускается наличие дефектных зон по краю реза..

Положительный эффект заключается в повышении уровня микроминиатюризации вырезаемых деталей. Дополнительным преf -2

имуществом является повышение производительности вырезки тонких микродеталей за счет уменьшения поперечного сечения детали в зоне реза. Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

1. Способ изготовления деталей, включающий электроэрозионную вырезку контура непрофилированным электродом-инструментом и устранение дефектов электроэрозионной вырезки, от л и ч а ю щ и и с я тем, что. с целью расширения технологических возможностей, предварительно на поверхности детали по длине контура формируют канавку, ширина которой превышает диаметр электрода-инструмента, а вырезку производят по дну этой канавки.

2. Способ поп.1,бтлмчающийся тем, что канавку формируют шириной, равной. 1,5-2,0 диаметрам электрода-инстру- мента, и глубиной более 50 мкм.

Использование: электроэрозионнре изготовление точных деталей непрофилированным электродом-инструментом. Сущность изобретения: на поверхности детали по длине вырезаемого контура предварительно формируют канавки, ширина которых в 1,5-2,0 раза превышает диаметр электрода-инструмента, а ее глубина превышает 50 мкм. Электроэрозионную вырезку производят по дну данной канавки, чем ис- ключется образование наплывов от электроэрозионной обработки на лицевой стороне детали. 1 з.п. ф-лы, 2 ил... ........