Способ удаления многослойного покрытия с поверхности алюминия Советский патент 1993 года по МПК C23F1/00 

Изобретение относится к области немеханического удаления металлического материала с поверхности и может быть использовано при производстве носителей магнитной записи.

Цель изобретения - повышение равномерности травления.

Цель достигается тем. что диск, подлежащий регенерации, подвергают травлению в водном растворе азотной кислоты (1 : 1), затем проводят двухэтапную промывку поверхности дистиллированной водой при температуре 60 - 70°С и при комнатной температуре, причем промывку при комнатной температуре осуществляют проточной дистиллированной водой. После этого диск травят в водном растворе соляной кислоты (1 : 1) и вновь проводят промывку дистиллированной водой с последующим дополнительным травлением в течение 30 - 40 мин при температуре 60 - 70°С и при непрерывном барботаже воздухом в растворе, содержащем, мас.%: азотную кислоту 50 - 70; хлористый натрий 0,2 - 1 перекись водорода 5 - 8; зтилендиаминтетраацетат натрия 1-3 и воду - остальное. Способ обеспечивает равномерность травления, характеризующуюся величиной биения не выше 10 мкм по полной поверхности диска, и сохранение шероховатости поверхности диска в пределах 0,1 мкм.

Способ реализуется следующим образом. .

Диски с многослойным покрытием, представляющие собой нанесенные на алюминиевую подложку слои следующего состава: Zn, NI-P, Со, Сг и завершающий алмазоподобный слой, причем алмазопо00

ю о ю ю о

W

обный слой представляет собой углеродный слой со структурой кристаллической решетки алмаза (по данным рентгеновского микроанализа РЭМ -100 У и данным рентгеновского спектрометра Дрон-ЗМ, подвергают травлению а водном растворе азотной кислоты 1 : 1 и промывают в два этапа. На первом этапе промывают поверхность дис- ка дистиллированной водой при температуре 60 - 70°С. на втором этапе - проточной дистиллированной водой при комнатной температуре. После промывки поверхность диска подвергают травлению водным раствором соляной кислоты 1 : 1 и вновь промывают пр двухэтапной схеме. Затем, в .течение 30 - 40 мин при непрерывной обработке воздухом осуществляют травление поверхности диска в растворе при температуре 60 70°С, содержащем азотную кислоту 50 - 70%, хлористый натрий 0,2-1 %, перекись водорода 5-8%, этилендиамин- тетраацетат (ЭДТА) натрия 1 - 3%,воду остальное. Обработанные диски промывают и сушат.

Примеры проведения способа при различных концентрациях ингредиентов приведены в таблице.

Вертикальные биения, Приведенные в таблице, подтверждают равномерность травления по всей поверхности, поскольку они характеризуют интегральную характеристику неровностей поверхности (впадины и выступы, в то время как при локальном

наблюдении отдельных участков с помощью микроинтерферометра можно не зафиксировать протяженные неровности поверхности при наличии однородных микронеровностей.

Применение предлагаемого способа позволяет эффективно регенерировать жесткие магнитные диски на алюминиевой основе, сохраняя при этом поверхностные

характеристики основы, что позволяет повторно использовать их в дальнейшем производстве носителей магнитной записи.

Формула изобретения

Способ удаления многослойного покрытия с поверхности алюминия, включающий травление в соляной и азотной кислотах и промывку, отличающийся тем, что, с .целью повышения равномерности травления, травление проводят сначала в водном растворе азотной кислоты (1 : 1), затем в водном растворе соляной кислоты (1 : 1) с последующим дополнительным травлением в течение 30.- 40 мин при температуре 60 70°С и при непрерывном барботаже воздухом в растворе, содержащем, мас.%: азотная кислота 50 - 70; хлористый натрий 0,2 - 1,0: перекись водорода 5-8 этилендиа- минтетраацетат натрия 1 - 3; вода - остальнов, причем после каждого .травления проводят промывки дистиллированной водой сначала при 60 - 70°С, потом - проточной водой комнатной температуры.

Использование: химическое удаление металлического материала с алюминиевой поверхностью, в частности, в производстве носителей магнитной записи. Сущность изобретения: способ удаления,.многослойного покрытия с поверхности алюминия включает травление сначала в водном растворе азотной кислоты (1:1), затем в водном растворе соляной кислоты (1 : 1) с последующим дополнительным травлением в течение 30 - 40 мин при температуре 60 - 70°С и при непрерывном барботаже воздухом в растворе, содержащем, мас.%: азотную кислоту 50 - 70; хлористый натрий 0,2-1, перекись водорода 5-8, этилендиаминтет- раацетат натрия 1 - 3 и воду - остальное, причем после-каждого травления проводят промывку дистиллированной водой при температуре 60 - 70°С, потом проточной водой комнатной температуры. 1 табл. & Ј