Известны различные способы нанесения тонких пленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого веш,ества.
Предлагаемый способ позволяет получать покрытие с заданным распределением толщины на поверхности любой формы и заключается в том, что отражение и деформацию молекулярного пучка нроизводят при помощи вогнутого отражателя, определенной формы, который отделен от испарителя.
Геометрию отражателя можно получить на
основе математического расчета для каждого отдельного случая.
Предмет изобретения
Способ нанесения тонких нленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества, отличающийся тем, что, с целью получения слоя с заданным распределением толщины на поверхности любой формы и экономии испаряемого вещества, отражение и деформацию молекулярного нучка нроизводят при помощи вогнутого отражателя.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО АТОМНО-ЭМИССИОННОГО СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА НАНООБЪЕКТОВ | 2014 |
|
RU2573717C2 |
| СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ | 1997 |
|
RU2117071C1 |
| СПОСОБ СИНТЕЗА НАНОСТРУКТУРНОЙ ПЛЕНКИ НА ИЗДЕЛИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ | 2010 |
|
RU2466207C2 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫМ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ | 2012 |
|
RU2496912C1 |
| Способ изготовления металлических зеркал | 1989 |
|
SU1756846A1 |
| Способ вакуумного ионно-плазменного осаждения тонкой пленки твердого электролита | 2021 |
|
RU2765563C1 |
| Способ формирования тонкоплёночного рисунка на подложке | 2015 |
|
RU2613054C1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ И ИСПАРИТЕЛЬ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2061786C1 |
| Устройство для контроля толщины пленки в процессе нанесения ее на крупногабаритную оптическую деталь | 1985 |
|
SU1346946A1 |
| Оптическое металлическое зеркало и способ его изготовления | 1989 |
|
SU1753439A1 |
