СПОСОБ БЕЗАБРАЗИВНОЙ ПОЛИРОВКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1968 года по МПК B06B1/00 

Известны способы безабразивной полировки за счет ультразвуковых (звуковых) колебаний.

Предложенный способ безабразнвной полировки поверхностей отличается тем, что ультразвуковые колебания сообщаются полирующей поверхности, прилсатой к полируемой и повторяющей ее форму, причем колебания полирующей поверхности касательны к полируемой.

Полирующая поверхность обработана до высокой степени чистоты и выполнена из твердого материала, по отнощению к которому обрабатываемый материал не обладает адгезией. Обрабатывающая поверхность прижата к обрабатываемой с удельными давлениями, равными пределу текучести полируемого материала при температуре окружающей среды, а амплитуда ультразвуковых колебаний равна или меньше величины предварительного смещения для обрабатываемого материала при указанном давлении.

Предложенный способ безабразивной нолировки поверхностей ускоряет процесс и улучшает чистоту обработки.

Чертеж поясняет описанный способ.

ределенным усилием к опоре 3, на которой установлены обрабатываемые пластины 4.

Сжатие поверхностей приводит к сжатию микронеровностей, которые с включением колебаний подвергаются донолнительны.м (кроме статического) динамическим усилиям. В результате микронеровности колеблющейся поверхности ногружаются в полируемую поверхность, и материал полируемой поверхности пластично растекается между микронеровностями обеих поверхностей. Поверхности сближаются, причем полируемая поверхность становится более гладкой и перед окончанием обработки новторяет профиль полирующей поверхности.

Чтобы при полировке данным способом исключить адгезию или слипание поверхностей, которое молсет привести к приварке (холодной сварке) поверхностей, используется полирующая поверхность высокого класса чистоты с твердостью (микротвердостью), лревыщающей твердость полируе1мой поверхности. Амплитуда ультразвуковых колебаний полирующей поверхности не превышает величину предварительного смещения для обрабатываемого материала при указанном давлении, т. е. в процесс полировки полирующая повер хность не проскальзывает относительно полируемой, что в противном случае привело бы к срезанию микронеровностей полируемой поверхности и ее износу.

Предмет изобретения

1. Способ безабразивной полировки новерх.ностей и, в частности, новерхностей, предназначенных для нанесения на- них тонких полупроводниковых пленок, отличающийся тем, ч-то, с целью ускорения процесса, полировка производится за счет ультразвуковых (звуковых) колебаний полирующей поверхности, прижатой к полируемой и повторяющей ее форму.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, 4to, с целью улучшения качества полировки, полирующая поверхность обработана до высокой степени чистоты и выполнена из твердого материала, по отношению к которому обрабатываемый материал не обладает адгезией, причем полирующая поверхность прижата к полируемой с удельными давлениями, равными нределу текучести полируемого материала при температуре окружающей среды, и колеблется с амплитудой, и сключающей проскальзывание поверхностей.