УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГРУППОВОЙ ЗАГРУЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение касается полупроводникового машиностроения, в частности устройств для загрузки полупроводниковых кристаллов в кассеты.

Известно устройство для грзпповой загрузки деталей в кассеты, содержащее Ззел подачи деталей в кассеты, выполненный в виде групповой вакуумной присоски. С вибролотка кристаллы попадают в впброшаблон, на поверхности которого есть углубления для кристаллов, затем кристаллы групповой вакуумной присоской загружают в кассету.

Однако в этом устройстве невозможна ориентированная загрузка кристаллов, что очень важно для проведения последующих операций. Кристаллы, поступающие с вибролотка в виброшаблон, разориентируются, затем загружаются вакуумной присоской в кассету.

Невозможно также вести производительную загрузку в кассеты с вертикальным накоплением, так как загрузка в них предполагает поштучную ориентацию и подачу кристаллов вакуумной присоской в каналы кассеты. Это снижает производительность загрузки.

Целью изобретения является повышение производительности устройства и сохранение ориентации, кристаллов.

Это достигается тем, что узел падачи кристаллов в кассеты выполнеи в виде отсекателя ряда -кристаллов, имеющего ступенчатый

паз. Узел неподвижным ограничителем, образующим при смыкании с отсекателем канал, являющийся направляющей для подающего кристаллы шибера.

Для загрузки кристаллов в кассету с вертикальным наполнением на позиции загрузки установлен подпружиненный упор и толкатель вертикального перемещения. На чертеже изображено предложенное устройство.

Устройство снабжено отсекателем / со ступенчатым пазом и н-енодвилшым ограничителем 2, образующим лри смыкании с отсе-кателем канал, вдоль которого движется шибер

3. На позиции установлена кассета 4 с вертикальным накоплением кристаллов. Определенное положение кассеты поддерживается фиксатором 5. Кассета имеет зажи.мные конусы 6 Н 7, подпружиненный пружиной 8

упор 9 и толкатель 10, соединенный с приводом шибера 3. Отсекатель / установлен на валу //, соединенном с приводами вращения и горизонтального перемещения. К ряду проскрайбированных и разделенных

кристаллов 12 подводят отсекатель / таким образом, чтобы отделяемый ряд кристаллов был захвален пазом отсекателя и отодвинут к неподвижному ограничителю 2, образующему с отсекателем / канал. Вдоль канала движется шибер 3, направляющий кристаллы -на

3

позицию загрузки в кассету 4. В первый момент загрузки в кассету 4 кристалл попадает на плоскость подпружиненного упора 9, который в последующие моменты загрузки опускается на расстояние, равное толщине кристалла, под действием толкателя 10.

Таким образом, торец очередного загружаемого кристалла располагается заподлицо с плоскостью загруженного кристалла. После загрузки канала кассета поворачивается на один шаг и загружается следующий вертикальный канал.

Предмет изобретения

Устройство для групповой загрузки полупроводниковых кристаллов, содержащее стол, узел подачи кристаллов на позицию и направляющую для кристаллов, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и сохранения ориентации кристаллов, узел подачи кристаллов на позицию загрузки выполнен в виде отсекателя ряда кристаллов и неподвижного ограничителя, образующих при смыкании канал, являющийся направляющей для подающего кристаллы шибера.

W

Г