УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО СОВМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖКИ С МАСКОЙ Советский патент 1971 года по МПК H05K7/12 

Изобретение относится к области техиологии радиоэлектронной апнаратуры, в частности к оборудованию, иснользуемому для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем.

Известное устройство для автоматического совмещения подложки с маской обеспечивает их совмещение с необходимой точностью и плотное прилегание друг к другу.

Целью -изобретения Я вляется упрощение конструкции и ловышение точности совмещения подложки с маской.

Для этого к «ижней плоскости маскодержателя вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые Z-образные шружины, которые другим своим .концом прикреплены к верхней ллоскостн плавающей ллиты маокодержателя.

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство (до совмещения); на фиг. 2 - то же, после совмещения.

Устройство состоит из подложкодержателя И маскодержателя. Подложка 1 укреплена еа корпусе 2 подложкодержателя с помощью специальных прижимов и лружин ,и прилегает К нижней его плоскости по периметру. Корпус 2 подложкодержателя установлен в гнезде диска 3 транспортирующего устройства и поддерживается в «ем с помощью планок 4 И пружин 5. В корпусе 2 имеются ко«усное отверстие и паз с плоскими наклонными боковыми поверхностями (призматический паз), служащие для фиксации по щаровым поверхностя.м щтифтов маскодерл-сателя.

Маска 6 закреплена на плавающей плите 7 винтами и контактной сваркой. Плита 7 «вывешена в основании 8 с помощью четырех изогнутых тонких пластинчатых Z-образных пружин 9, одна сторона которых укреплена

на плите 7, а другая - на основании 8. В основание 8 запрессованы два щтнфта 10 с щаровыми фиксирующими головками. Штифты слулчат для фиксации подлолжодержателя по конусному отверстию П призматическому пазу. Штифт 1} играет роль третьей опоры и обеспечивает размещение различных подложкодержателей в идентично.м положении. Основание 5 установлено в гнезде диска 12 маскодержателей и удерживается в нем с ломощью планок 13 и пружин 14.

После транспортировки подложкодержателя на требуемую позицию диски 3 и 12 сближаются, и в результате лодложкодержатель коническим отверстием н призматическим назом устанавливается на щаровые головки штифтов 0, а нижней плоскостью опирается на штифт //. Основание 8 при этом смещается вниз по вертикали относительно диска маскодержателей. Пружина 14 способствует

для надежного контактирования фиксирующих отверстий и штифтов, а та«же компенсации неточностей расположения лодложкои маскодержателей в различных нозициях. Плита 7 и пружина 9 вынолнены таким образом, что когда 1иодложкодержатель установлен на штифты маскодержателя, иодложiKa / оказывается ллотно нрижатой своей нижией плоскостью к маске 6. Это обеспечи;вается за счет смещения ллиты 7 относительно основания 8 вниз но вертикали и деформации нружин 9. Основное назначение пружин 9-предотвращение смещения маски 6 в лоджатом к подложке состоянии относительно штифтов 10 iB плоскости контактирования. Это достигается за счет расположения лрул1ин по сторонам ллиты 7. Каждая пара противоположно размещенных пружин противодействует смещению плиты 7 в направлении оси симметрии, параллельной их большой стороне.

Предмет изобретения

Устройство для автоматического совмещения подложки с маской, содержащее подложкодерл :атель с фиксирующими коническим отверстием и призматическим пазом,

маскодержатель с фиксирующими шаровидной формы головками, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности совмещения подложки с маской, к нижней плоскости маскодержателя

вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые 2-1образные пружины, которые другим свои.м концом прикреплены к 1верхней плоскости плавающей плиты маскодержателя.