МИКРОМАНИПУЛЯТОР Советский патент 1970 года по МПК B23K37/47 

Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых и электровакуумных приборов и может быть использовано в устройствах точного перемещения в других областях техники.

Известны микромаиипуляторы, используемые при монтаже нолупроводниковых прнборов для совмен;ения сварочного инструмента с соединительной проволочкой и контактной илощадкой нолупроводинкового прибора. Мнкроманипулятор содержит рычаг, шарнирио укрепленный в неподвижной стойке, двухкоординатный столик, одна из кареток которого шарнирно связана с рычагом, и рукоятку управления. В качестве шарниров исиольуются шарики с отверстиями для рычага. При неремещенни рукоятки управления рычаг поворачивается и иеремещает подвижную каретку, причем величина неремещения каретки нрямо пропорциональна произведенпю величины перемещеиия рукоятки рычага на передаточное отношение микроманипулятора.

Передаточное отношение микроманнпулятора выражается отношением величины расстояния между центрами шарниров к величине расстояния от центра неподвижного шарнира до рукоятки рычага.

передаточное отношение, тем выше чувствительность.

Существующие микроманннуляторы имеют недостаточную чувствительность, ограниченное нередаточное отношение Vis 23- Для сварочного оборудования, применяющегося нрн производстве нолунроводниковых приборов, чувствительность микроманипулятора должна быть 2-5 Л1к, т. е. передаточное отношение микроманипулятора должно быть большим (1/15: 1/100).

Целью изобретения является увеличение чувствительности микроманипулятора.

Для этого шарниры соединения рычага со стойкой и кареткой столика выполнены в виде полусфер и подпружинены относительно друг Друга.

На чертеже схематически изображен иредлагаемый манинулятор, общий вид.

Один конец рычага / установлен в шарнире, состояшем из нолусферы 2 и обоймы 3, неремещающейся вместе с полусферой по резьбе в неподвижной стойке 4. Па другом конце рычага иосал ена рукоятка 5 управления, иеремещающаяся в горизонтальной плоскости. Па рычаге / также иенодвил но закреплена полусфера 6, связанная с обоймой 7, иеподвижно закренлеиной на каретке 8. Полусфера 2 нрижимается к обойме 3 пружиной 9. Каретка 8

является составной частью двухкоординатиого столика 10.

Расстояние между центрами полусфер может изменяться от конечной величины до очень маленькой величины иутем сближения шарнирных соединения, что нозволяет изменять нередаточное отношение от конечной величины до бесконечно большой величины.

Передаточное отношение микроманипулято0,0. ра равно отношению длин - и может изOiOg

меняться нутем неремещення обоймы 3 с нолусферой 2 вдоль рычага 1.

Прн повороте рукоятки 5 перемеш,ается каретка 8 с установленным на ней предметом.

Предмет изобретения Л1икроманипулятор, содержаш,ий рычаг, консольно укрепленный в обойме, неремен;аюшейся в вертикальиой плоскости по ненодвижной стойке с помош,ью вннтовой пары, двухкоординатный столик, одна из кареток которого связана с рычагом шаровым шарниром, и рукоятку управления, неремешаемую в горнзонтальной плоскости, при этом рычаг укреплен в обойме с помош,ью шарового шарннра, установленного на рычаге с возможностью продольного перемешения, а шаровой шарнир каретки жестко закреплен на рычаге, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности манипулятора, шарниры выполнены в виде полусфер и подпружииены относительно друг друга.

70

fT

-kr

V////////