УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГРУППОВОЙ СБОРКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для сборки ножки диода с баллоном.

Известно устройство, предназначенное для групповой сборки деталей полупроводниковых приборов, содержащее устанавливаемые в углублении шаблона взаимосонрягаемые кассеты, имеющие загрузочные гнезда и шибер (авт. св. ЛЬ 174726). Недостатком этого устройства является то, что оно не обеспечивает качественной сборки корпусных деталей полунроводниковы.х приборов. Сборка таких деталей, как баллон и ножка с компенсатором, основана на свободном падении ножки компенсатором вниз внутрь баллона. Трудность сборки заключается в необходимости точного попадания компенсатора в трубку баллона.

Целью изобретения является повышение качества и надежности сборки. Указанная цель достигается тем, что устройство для грунповой сборки полупроводниковых приборов содержит основание с откачиваемой полостью, но периметру которого установлен кольцевой электромагнит, а на верхней плоскости основания расположены эластичная прокладка и направляющие штифты для установки шаблона. В эластичной прокладке и в верхней плоскости основания соосно с гнездами кассет выполнены

сквозные отверстия, сообщающиеся с откачиваемой полостью основания.

На чертеже изображено устройство для групповой сборки полупроводниковых приборов.

Устройство содержит полое основание / со встроенным кольцевым электромагнитом . и с прокладкой 3 из эластичного материала, шаблон 4, установленный на прокладке 3 и зафиксированный от перемещения штифтами 5, кассеты (5 и 7 с подпружиненным щибером 8. Полость 9 основания соединена с вакуумной системой. В верхней стенке 10 основания и в эластичной прокладке 3 выполнены соосно с гнездами кассет (j и 7 сквозные отверстия, сообП1,ающиеся с вакуумной полостью 9.

Кассета 7 предварительно загружается собранными ножками //, а кассета 6 - баллона.ми 12. После загрузки взаимособранные кассеты 6 и 7 устанавливают в углубление, выполненное для их размещения в шаботоне 4, при этом трубки 13 баллонов 12 входят в сквозные отверстия эластичной прокладки 3 и верхней стенки 10 основания.

При включении электромагнита 2 шаблон 4 с кассетами 6 и 7 притягивается к основанию, вследствие чего прокладка 3 деформируется и обжимает трубки 13. Затем из полости 9 основания производится отсос воздуха, новые порции которого поступают внутрь полости только

через трубки 13. При перемещении подпружиненного шибера 8 до упора собранные ножки направленно падают вниз на баллоны i2, и концы их компенсаторов, при номощи центрирующих струй воздуха, поступающих в полость 9, втягиваются внутрь трубок 13.

Пред м е т и з о б р е т е и и я

Устройство для групповой сборки нолупроподииковых ириборов, содержащее пгаблон

кассеты, шибер, основание с откачиваемо) полостью, отличающееся тем, что, с пелью иовышения качества сборки, ио периметру ociioisaпия установлен кольцевой электромагнит, а на верхней илоскости основания расиоложены эластичная прокладка и направляющие иггпфты для установки шаблона, иричем в прокладке и в верхней плоскости основания сооспо с гнездами кассет выполнены С1 вози1 1е отверстия, сообщающиеся с откачиваемой иолостыо основания.