АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОШТУЧНОЙ ВЫДАЧИ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК МАЛОЙ ТОЛЩИНЫ Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 

Устройство относится к загрузочному оборудованию. Оно предназначено для автоматической подачи полупроводниковых кристаллов при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известны загрузочные устройства, содержащие вращающиеся фрикционный диск и бункер. Последний связан с вращающимся секторным диском, в котором выполнены вырезы по числу деталепроводов.

Однако данные устройства не могут быть применены для пощтучной выдачи деталей малой толщины, например полулрозодииховых кристаллов, так как детали образуют в деталеироводе дмногослойные нагромождения.

Цель изобретения - обеспечение пощтучной выдачи с определенным интервалом деталей малой толщины, преимущественно полупроводниковых кристаллов, а также разделения деталей взаимодействием их в электростатическом поле.

Предлагаемое устройство отличается тем, что вращающийся диск изготовлен из электризующегося материала, например фторопласта, а бункер образован двумя расположенными под углом одна относптельно другой плаНКамп, которые установлены таким образом, что образуют на входе заборник деталей, а на выходе - деталепровод для поштучной выдачи.

Бункер и накопитель закреплены шарнлрно на неподвижном основании, чем обеспечивается колебательное движение их над вращающимся диском.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1.

Автоматическое устройство содерж1гг вращающийся диск 1 для перемещения деталей, например полупроводниковых кристаллов, бункер, состоящий из планок 2 и 3, накопитель в виде двух параллельных планок 4 5 с вакуумным отсекателем, фиксатор 6, неподвижное основание 7 и манипулятор 8 с вакуумным нрисосом 9.

Бункер, накопитель и фиксатор установлены таким образом, что их рабочие элементы плотно прилегают к поверхности вращающегося диска. Параллельные планки 4 и 5 накопителя образуют канал и смещены одна относительно другой.

Па выходе накопитель снабжен вакуумным отсекателем в виде двух присосок 10 и 11. Планка 4 имеет скос, обесиечивающий отвод кристаллов, не попавщих в канал.

Для пощтучпой выдачи деталей с определенным интервалом путем разделения иоследнпх в электростатическом поле вращающийся диск У выполнен из электролизующегося материала, а планки 2 и 3 бункера, закрытые сверху стенкой, установлены под уг