Устройство для ориентации плоских деталей Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к загрузочному оборудованию и предназначено для автоматической подачи в технологическое оборудование полупроводниковых кристаллов с раз.гшчной р-п структурой плоскостей при производстве полупроводниковых приборов и .интегральных схем;

Известно устройство для загрузки плоских деталей, содержащее транспортирующий диск для переноса деталей, Сункер, накопитель, фиксатор детешей, вакуумную присоску и манипулятор ClJ.

Однако известное устройство не обеспечивает ориентации деталей при перегрузке.

Цель изобретения - повышение качества работы устройства.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для ориентации плоских деталей, содержащее транспорти- . руквдий электризующий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятором, снабжено винтовым лотком, размещенным с зазором над транспортируюощм диском между бункером и накопителем.

Кроме того, манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р-п слою.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид ; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Автоматическое устройство для ориентации плоских детаг1ей малой толщины содержит транспортирующий диск 1,

U бункер 2, накопитель 3, вакуумнуо присоску 4, винтовой лоток 5, фиксатор 6, манипулятор 7 и датчик 8 положения деталей.

15

Транспортирующий диск 1 выполнен из электризующего материала. Бункер -2, накопитель 3 и винтовой лоток 5 закреплены на неподвижном основании 9 над вращающимся диском 1. Винтовой

20 лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен нащ поверхностью вращающегося диска с зазором. Зазор выбирают из условий разделения деталей при попащании их в

25 электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В манипуляторе 7 установлен датчик 8 по-г

30 лржения деталей по р-п слою. Бункер