Изобретение относится к загрузочному оборудованию и предназначено для автоматической подачи в технологическое оборудование полупроводниковых кристаллов с раз.гшчной р-п структурой плоскостей при производстве полупроводниковых приборов и .интегральных схем;
Известно устройство для загрузки плоских деталей, содержащее транспортирующий диск для переноса деталей, Сункер, накопитель, фиксатор детешей, вакуумную присоску и манипулятор ClJ.
Однако известное устройство не обеспечивает ориентации деталей при перегрузке.
Цель изобретения - повышение качества работы устройства.
Поставленная цель достигается тем, что устройство для ориентации плоских деталей, содержащее транспорти- . руквдий электризующий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятором, снабжено винтовым лотком, размещенным с зазором над транспортируюощм диском между бункером и накопителем.
Кроме того, манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р-п слою.
На фиг. 1 изображено устройство, общий вид ; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.
Автоматическое устройство для ориентации плоских детаг1ей малой толщины содержит транспортирующий диск 1,
U бункер 2, накопитель 3, вакуумнуо присоску 4, винтовой лоток 5, фиксатор 6, манипулятор 7 и датчик 8 положения деталей.
15
Транспортирующий диск 1 выполнен из электризующего материала. Бункер -2, накопитель 3 и винтовой лоток 5 закреплены на неподвижном основании 9 над вращающимся диском 1. Винтовой
20 лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен нащ поверхностью вращающегося диска с зазором. Зазор выбирают из условий разделения деталей при попащании их в
25 электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В манипуляторе 7 установлен датчик 8 по-г
30 лржения деталей по р-п слою. Бункер
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для подачи полупроводниковых пластин | 1980 |
|
SU934580A1 |
АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОШТУЧНОЙ ВЫДАЧИ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК МАЛОЙ ТОЛЩИНЫ | 1971 |
|
SU304879A1 |
Устройство для кассетирования плоских деталей | 1988 |
|
SU1618578A1 |
Устройство для подачи плоских радиодеталей преимущественно в установках для сортировки по электрическим параметрам | 1985 |
|
SU1307618A1 |
Устройство для ориентации радиодеталей | 1976 |
|
SU745036A1 |
Установка контроля базового среза полупроводниковых пластин | 1991 |
|
SU1771006A1 |
КОНТРОЛЬНО-СОРТИРОВОЧНЫЙ КОМПЛЕКС | 1990 |
|
RU2023571C1 |
Линия для изготовления полых корпусов | 1985 |
|
SU1319982A1 |
Способ и устройство переворота подложек в процессе производства фотопреобразователей | 2016 |
|
RU2620452C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И СОРТИРОВКИ ИЗДЕЛИЙ | 1994 |
|
RU2098202C1 |
Авторы
Даты
1983-02-28—Публикация
1981-04-03—Подача