Устройство для ориентации плоских деталей Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

Описание патента на изобретение SU1001233A1

Изобретение относится к загрузочному оборудованию и предназначено для автоматической подачи в технологическое оборудование полупроводниковых кристаллов с раз.гшчной р-п структурой плоскостей при производстве полупроводниковых приборов и .интегральных схем;

Известно устройство для загрузки плоских деталей, содержащее транспортирующий диск для переноса деталей, Сункер, накопитель, фиксатор детешей, вакуумную присоску и манипулятор ClJ.

Однако известное устройство не обеспечивает ориентации деталей при перегрузке.

Цель изобретения - повышение качества работы устройства.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для ориентации плоских деталей, содержащее транспорти- . руквдий электризующий диск для переноса деталей, бункер, накопитель, фиксатор деталей, вакуумную присоску, расположенную между бункером и накопителем, и манипулятором, снабжено винтовым лотком, размещенным с зазором над транспортируюощм диском между бункером и накопителем.

Кроме того, манипулятор снабжен датчиком положения деталей по р-п слою.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид ; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Автоматическое устройство для ориентации плоских детаг1ей малой толщины содержит транспортирующий диск 1,

U бункер 2, накопитель 3, вакуумнуо присоску 4, винтовой лоток 5, фиксатор 6, манипулятор 7 и датчик 8 положения деталей.

15

Транспортирующий диск 1 выполнен из электризующего материала. Бункер -2, накопитель 3 и винтовой лоток 5 закреплены на неподвижном основании 9 над вращающимся диском 1. Винтовой

20 лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен нащ поверхностью вращающегося диска с зазором. Зазор выбирают из условий разделения деталей при попащании их в

25 электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В манипуляторе 7 установлен датчик 8 по-г

30 лржения деталей по р-п слою. Бункер

Похожие патенты SU1001233A1

название год авторы номер документа
Устройство для подачи полупроводниковых пластин 1980
  • Храмов Юрий Николаевич
  • Лебедев Николай Иванович
  • Ершов Вячеслав Павлович
SU934580A1
АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОШТУЧНОЙ ВЫДАЧИ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК МАЛОЙ ТОЛЩИНЫ 1971
SU304879A1
Устройство для кассетирования плоских деталей 1988
  • Шипинский Владимир Георгиевич
  • Марголин Михаил Ефимович
  • Синявский Валерий Францевич
  • Каховский Александр Иванович
SU1618578A1
Устройство для подачи плоских радиодеталей преимущественно в установках для сортировки по электрическим параметрам 1985
  • Деркач Виктор Вячеславович
  • Зюбрий Владимир Никитович
  • Гордиенко Григорий Федорович
SU1307618A1
Устройство для ориентации радиодеталей 1976
  • Горбунов Владимир Алексеевич
  • Хрыпов Владимир Александрович
SU745036A1
Установка контроля базового среза полупроводниковых пластин 1991
  • Каргапольцев Виктор Павлович
  • Черных Иван Степанович
  • Плотников Александр Петрович
  • Воронцов Юрий Петрович
SU1771006A1
КОНТРОЛЬНО-СОРТИРОВОЧНЫЙ КОМПЛЕКС 1990
  • Мясников В.К.
  • Тихомиров О.Е.
  • Широков И.Ю.
RU2023571C1
Линия для изготовления полых корпусов 1985
  • Груверман Леонид Григорьевич
  • Исаев Сергей Николаевич
SU1319982A1
Способ и устройство переворота подложек в процессе производства фотопреобразователей 2016
  • Абрамов Алексей Станиславович
  • Орехов Дмитрий Львович
  • Денисов Михаил Александрович
  • Малыхин Ярослав Алексеевич
  • Кукин Алексей Валерьевич
RU2620452C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ И СОРТИРОВКИ ИЗДЕЛИЙ 1994
  • Богаев А.А.
  • Моисеев В.В.
  • Перфилов В.Б.
  • Абиралов Н.К.
RU2098202C1

Иллюстрации к изобретению SU 1 001 233 A1

Реферат патента 1983 года Устройство для ориентации плоских деталей

Формула изобретения SU 1 001 233 A1

SU 1 001 233 A1

Авторы

Штейнберг Михаил Исаакович

Арбит Самоил Эльевич

Даты

1983-02-28Публикация

1981-04-03Подача