Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и в частности к механизмам машин для вакуумной обработки СВЧ-приборов.
Известна откачная машина, в которой подъем, вакуумных колпаков и перемешение электродов осуществляются от отдельных гидравлических устройств, что обусловливает их низкую надежность.
Целью изобретения является повышение надежности устройства для подъема колпака откачкой машины. Это обеспечивается тем, что приводной механизм выполнен в виде каретки с жестко закрепленным упором, который взаимодействует с пальцем направляющей колонки, и двух реек с упорами, взаимно связ;:нных через подпружиненную шестерню, причем одна рейка шарнирно соединена с шатуном, а другая своим упором воздействует иа механизм сведения электродов.
На чертеже показано описываемое устройство для подъема колпака.
Ирогрев прибора для его обезгаживания во время откачки производится при помощи контактного нагрева графитовыми вкладышами, через которые пропускают ток. Графитовые вкладыщи шарнирно закрепляются на медных электродах /, введенных внутрь защитного колпака через резиновые диафрагмы. Электроды прижимаются к медной онравке
при помощи пружины 2, подвешенной вне колпака. В медную оправку помещают откачиваемый прибор. Для направления колпака ири его подъеме и опускании предусмотрена направляющая колонка 3 с закрепленным в верхней части пальцем 4.
Отвод электродов от оправки и подъем колиакоз осуществляются от одного механизма подъема. Привод механизма подъема состоит
из редуктора с электродвигателем и цепной передачи. Две бесконечные цепи закреплены на звездочках. Обе ветви цеии соединены между собой осью, к которой на подшипнике фекреплен щатун 5, шарнирно связанный с
зубчатой рейкой 6. В каретке 7 установлена зубчатая рейка 8, которая перемещается вертикально в роликовых направляющих. Рейки 5 и S соединены одна с другой подпружиненной шестерней 9 так, что при перемещении
одной рейки вверх другая перемещается вниз и наоборот. Пружина 10 одним концом закреплена на корпусе каретки 7, а другим связгчга с осью шестерни 9.
Под действием прулчины 10 каретка 7 в исходном положении находится вверху. При повороте карусели палец 4 входит в зацепление с упором 11, укрепленным на каретке 7. При вращении электродвигателя движение передается на ведущую звездочку, и цепи на
