Изобретение относится к оборудованию полупроводникового производства, в частности к полуавтоматам для нанесения защитного покрытия на переходы полупроводниковых приборов.
РЪвестен полуавтомат для нанесения защитного покрытия, который состоит из механизма подачи переходов, механизма их ориентации, механизма загрузки кассет и механизма нанесения компаунда. Вследствие того что нанесение компаунда осуществляется периферийной частью непрерывно вращающегося диска, переход может быть поврежден или останется незащищенным, если он искривлен. Не исключены также повреждения вывода зажимами барабана.
В предложенном полуавтомате эти недостатки устранены благодаря тому, что .механизм нанесения защитного покрытия выполнен в внде двух сцепленных с приводными рейками шестерен, на осях которых установлены цанговые зажимы с закрепленными в них проволочными петлями (диаметр проволоки ПО-150 мк). Петли, деформируясь, устраняют неточность установки нереходов в кассете, не повреждая переход, н, врап1,аясь вокруг перехода, равномерно наносят компаунд. При этом исключено поБрежден 1е выводов, так как переходы поступают па полуавтомат в кассетах.
Па фиг. 1 показана кинематическая схема предлол енного нолуавтомата; на фиг. 2 - узел нанесения защитного покрытия.
Все узлы полуавтомата, кроме механизма загрузки кассет /, приводятся в действие от электродвигателя 2 через ременную передачу 3, редуктор 4, муфту 5 н распределительный вал 6 с закрепленными на нем кулачками 7, 5, 9.
Механнзм загрузки кассет / приводится в действие от электродвигателя 0 через зубчатую пару II и рейку 12.
С помощью кулачка 7 через рычаг 13 н иалец 14 поднимается щток 15, а с нн.м и ванночка 16, при этом петли 17 окунаются в компаунд. В исходное положение рычаг 13 возвращается под действием пружины 18.
Кулачок 8 через рычаг 19, поводок 20, закреплепный на ползуне 21, и пружину 22 иередает движение ползуну 23. Стопорные винты 24 (на фиг. 1 показан одни винт), дойдя до унора, останавливают ползун 23, а ползун 21 продолжает двигаться, сжимая 22 и закрепленнымп на нем зубчатыми рейкамн 25 вращая осн-щестерни 26. В исходное нололсение рычаг 19, ползун 21 н ползун 23 возвращаются пружинами 27 и 22.
бачкн 31, перемещаясь по копирам 32, чсре; ползун 30 и ynopiibiii влит 33 ;iepc;uiic)T Д;)жеиис гребенке 34, которая, :1ерсдв:( iia роликах 35, сБонмн зубьями сообгцает движение кассете 36 (фиг. 2) с изделиями 37 и направляющих 38. Ползун 30 i: гребе: кг: 34 движутся в плоских паираБля Опи1х, состоящих из щек 39 и 40. В исходное ноложспие рычаг 28 возвращается иружиной 41, гребсика 34 пружиной 42 отводится назад ;: иоижпмается к регулируемому упору 43, а пружинами 44 поегояпно ирижимается к ползуну ./. Ползун 30, срываясь с копиров 32, надает иа опоры 45. Удар смягчают пружппы 46. В псходное положение ползун 30 возвраниются при помощи рычага 28 и пружины 41. При этом собачки 31 проскакивают копиры 32, пе подппмая ползун 30, п возвращаются в исходное положение пружинами 47.
На фиг. 2 представлен узел панесен 1я защитного покрытия.
На ползуне 23 емонтирована головка 48, з которой свободно, КС зацепляясь одпа за д:)гую, вращаются оси-и1естерпи 26. В ползуп 23 помещен ползун 21 с закрепленными iia нем зубчатыми рейкамп 25, которые входят i5 зацеиленпе с осями-шестернямп 26 и ирИжимаются к ним при помощи пружины 49. Этим уст раняетея жесткая связь заиеиленпя, что способствует нлавиому и безотказному врг,щенню осей-щестерен. Петли 17 зажимаются цанговыми заж1:мамн 50, в,гиолиенп1 ;м;: па концах осей-щестерен 26, благодаря этому регулируется положение иетель /7 по nijicoic, что важно при xacceTnoii загрузке изделн. Пружина 22, раеноложенпая в нолзупе 21 и упирающаяея одним концом в ползуп 21, :i другим - в ползун 23 через крытику 51, возвращает ползун 21 в исходное положение после папесепия защитпого покрытия и удерживает ползун 23 на нозпции папесе 1ия до тех пор, пока петли 17 не займут исходное положение. Вся система отходит иазад, в первоначальное положение, при иомоп1п р1лчага 19, поводка 20 п пружины 27, скреплепной с рычагом 19. Упор 52. расноложсппы не ползуне 21, нозволяет регулировать момент отхода нолзуна 23 с иоз1П1;ии напесеиия защитного покрытия.
Полуавгомат работает следуюнцпм образом.
При вращении распределительиого нал;; рычаг 13, попадая роликом во виадипу кулачка 7, поднимает вапночку 16 {при этом петли 17 окунаются в компаупд). а затем возвращается в исходное положение. В это время
кассета 3), пагизлпеиная изделиями о7, на кото,)ыг пужпо папссгп запиггпое покрытие, ;:().;;;стся мелаиизмом загрузки 1 ассет / ncjurj иа:1равля:о;цие Зо nai 1ребеику 34. При далы:ойи1ем повороте раеиределительио;о зала 6 кулачок 9 своим выступом па 28, который через палец 29 иодает ползуи 30 злевс (по чертежу). Собачки 31, скользя ио JvoiMijiaM 32, 1,одни.макл гребеикх
34, и|)и этом гребенка входит в зацепление с KaeccToi; . В тот момент, ко1да собачки 31 15ыходят иа 10р;-13оитал1 иый участок копиров 32, к гребенке 34 иодводится упорный винт 33, который перемещает кассетх с изделиями 37
иа ;озпцию ианесспия защитпого покрытия. После окончапия трапсиортировки кассеты кулачок 8 выстуиом давит иа рычаг 19, который через иоводок 20, ползуп 2f и пружи;|у 22 передает движение иолзуиу 23 со смсп1ти|1ованной нем головко:г 48.
Ви;:ты 24, дойдя до упора, остапазл1 вают ползуп 23 и строго фиксируют 1Ч) пад кассетой. При дал)Пейи1ем движении /9 иолзуп 21 п{юдолжает дви1аться, сжимая
п:)ужг;пу 22 и ;фаи1ая ти noMonui зубчатых :}еск 25 оеи-и1есте) 26 с закреплеппымп па них петляли 17. Петли, врап1,аясь вокр}И изде, 37, иерспосят иа niix К(). После ()-;; г:н;бс1П-;а 34 возвраи1аетея обратно до
vnopa 43, ползуны 30, 2 и 23 занимают исходпос положение.
Мехаппзм ззг)узкп / пе подает следуюппис; к;псету .то тех i:o, пока д.чя нее пе освободпся место i: ребенка 34 не во1;дет в зацеп,теппе с предмдуп1ей кассетой. Кассета с изделиями, па которые напесепо зап птпое покр|)1:ик, .тпт пз за ;епле1:ия с г тебепк{П1 34, выталк11вается ;i3 паправляюп1пх о еледу оп1еи кассетой и снимается вручпую после
:ог: кпк isi iiVier из иа 1равляю цих 38.
П р е д 1 е т li 3 о о р е т е и и я
ПоЛ.автомат для напесения 1 окрытия па переходы полупроводниковых приборов, еодсржаи ий механизм загрузки кассет, мехаПИЗЛ1 перемепле;1ия кассет, механизм нанесения запгитного покрытия, отличающийся тем,
что, с целью улучшения качества покрытия, мехаппзм папесепия покрытия вынолпен в виде сцеплеппых е приводными рейкам; niecTcpen, па оеях которых устаповлепы цаи1овые зажимы с закреилепиыми в ппх проволочныЛП петлями.
