Устройство для ионной обработки Советский патент 1978 года по МПК H01J37/20 H01L21/00 

Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, в частности к .установкам ионного легирования. Известно устройство для двухсторонней обработки пучком ионов полупроводниковых кристаллов, элементов конструкций или деталей, содержащее непрерьшный транспортер, а с рабоче стороны устройства расположены два окна с индивидуально-управляемыми ;дверцами, {оторые снабжены зондами для изМёрёния ионного тока. Однако в известном устройстве кассеты с деталями, расположенные за облучаемой кассетой, находятся в зоне действия ионного пучка, так ка пучок ионов проникает вдоль всего устройства между кассетами, что при водит к напылению на них материала стенок камеры, распыляемого ионным , лучком, и следовательно, к браку/ LnpH переводе облучения с тыльной Vстороны на лицевую и наоборот при-, ходится менять траекторию ионного пучка, что не дает расположиться кассетам с деталями в фокальной пло кости. Это ведет к снижению качеств обработки. С целью улучшения качества обработки н увеличения производительности в предлагаемом устройстве механизм перемещения деталей выполнен в виде непрерывного верти1 ; льного транспортера, который снабжен приводом для поворота относительно продольной оси. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Оно содержит вертикальный транспортер 1, заключенный в раму 2, которая имеет ось 3 и вал 4, его опорь| закреплены в корпусе 5 и раме. На оси закреплена шестерня 6. Она находится в зацеплении с шестерней 7. На валу 8 с шестерней 7 закреплена шестерня 9, находящаяся в зацеплении с шестерней 10. Опоры вала 8 закреп- лены в раме. Шестерня 10 з.айр Я1лена на ведущем вале транспортера. На , корпусе имеется фиксатор 11, который входит в зацепление с фиксатором 12, закрепленным на раме. Фиксатор 1|2 входит в зацепление с диском 13/ установленньм на ведомом вале транспортера. Транспортер состоит из двуз цепей, натянутых между двумя .tiapSMa. звездочек 14 и 15, опоры валов которых закреплены в раме. К цепям с определенным шагом прикреплены