СПОСОБ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО МЕДНЕНИЯ Советский патент 1972 года по МПК C25D3/38 

Изобретение относится к области нанесения гальванически.х покрытий, в частности к области электролитического изготовления в производстве микросхем, полупроводниковых приборов и т. д.

Известен способ меднения из электролита на основе сернокислой меди с добавками сульфокислот.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в состав электролита вводят сульфаминовую кислоту при определенном соотношении компонентов и осаждение ведут при рН 1,2-2,2, плотности тока 1-5 aJdM и комнатной температуре, что позволяет получать ненапряженные, мелкокристаллические и эластичные осадки с хорошей адгезией к вакуумнапыленным слоям.

Способ заключается в том, что осаждение ведут из электролита, содержаш,его сернокислую медь и сульфаминовую кислоту при следуюш,ем соотношении компонентов, г/л: Сернокислая медь150-300

Сульфаминовая кислота3-20

при рН 1,2-2,2, плотности тока 1-5 а/дм и комнатной температуре.

Электролит готовят путем смешивания раствора сернокислой меди с раствором сульфаминовой кислоты и фильтрования.

Корректирование раствора производят 1 раз в 2-3 месяца путем добавления 1-2 г/л сульфаминовой кислоты.

Указанная концентрация сульфаминовой кислоты в электролите обеспечивает наилучшую адгезию осадков меди к подлолше, имеющей высокий класс чистоты (12-14 класс), что определяется требованием к микросхемам. В других случаях концентрация сульфаминовой кислоты может быть повышена до 50 г/л. Скорость осаждения меди в данном электролите мкм/мин выход по току на стандартных образцах 95-100%, на ситалловой плате - 80%. Адгезия наращенного предлагаемым способом слоя меди, нанесенного на вакуумнапыленный слой меди по подслою хрома на ситалле, измеренная граммометром,

составляет 200-250 г/мм (на сдвиг).

Предмет изобретения

Способ электролитического меднения из кислого электролита на основе сернокислой меди с добавками сульфокислот, отличающийся тем, что, с целью получения ненапряженных, мелкокристаллических и эластичных осадков и повышения адгези1И к вакуумнапыленным слоям, в состав электролита вводят сульфаминовую кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л.

Сернокислая медь150-300

Сульфаминовая кислота3-20