СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ Советский патент 1973 года по МПК H01J9/02 H01J1/30 

1

Известен способ изготовления микроминиатюрных приборов с автоэлектронной эмиссией с использованием пленочной технологии. Специально выполняемый рельеф подложки позволяет в результате косого напыления получать автоэмиссионные приборы с микронными промежутками.

По предложенному способу для упрощения технологического процесса электроды прибора формируются из цельной, предварительно закрепленной заготовки, взятой в виде проволоки, ленты или тонкой пленки, подвергающейся локализованному электрохимическому анодному перетравливанию в электролите с автоматической остановкой процесса по достил еНИИ требуемой величины межэлектродного промежутка. Катодом в электрохимическом процессе служит острый вспомогательный электрод, располагаемый вблизи к перетравливаемому месту заготовки.

На чертеже изображена схема для реализации способа, где:

/ - основание для крепления заготовки;

- перетравливаемая заготовка (анод);

- вспомогательный электрод (катод);

f - электролит;

5 - отключающее устройство;

6-регулируемый источник питания;

7 - нормально-замкнутые контакты отключающего устройства.

Предназначенную для изготовления микроприбора заготовку в виде отрезка проволоки, ленты или тонкой пленки укрепляют любым подходящим способом, например пайкой или склеиванием, на основании из изоляционного материала, хорощо согласующегося по температурному коэффициенту с материалом заготовки. Одновременно на том же основании в средней его части укрепляют вспомогательный электрод, предназначенный для локального электрохимического травления заготовки. В качестве вспомогательного электрода может быть взято тонкое металлическое лезвие или тонкая проволока. Толщина лезвия (диаметр проволоки), а также размер зазора между заготовкой и катодо.м должны быть взяты настолько малыми, насколько требуется локализировать размеры области интенсивного травления.

Заготовка и вспомогательный электрод включаются в схему согласно чертежу. В качестве отключающего устройства используется любое устройство, реагирующее на изменение сопротивления перетравливаемой заготовки, увеличивающееся по мере продолжительности процесса. Резкий скачок сопротивления происходит в момент образования межэлектродпого промежутка. В отключающем устройстве должна быть предусмотрена возможность регулировки уровня срабатывания.

Отклоняющим устройством может быть, например, схема, состоящая из моста сравнения, электронного Зсилителя е регулировкой уровня срабатывания и исполнительного реле, контакты которого размыкают день травления. Размеры вытравленной в заготовке области зависят от выбранного начального зазора «заготовка - вспомогательный электрод, от их размеров и уровня срабатывания отклоняющего устройства.

Способ дает возможность получать зазоры в интервале 0,5-500 мкм.

Предмет изобретения Способ изготовления микроминиатюрных эмиссионных приборов с холодным катодом с

помощью электрохимического травления, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса, цельную заготовку предварительно закрепляют на изоляционном основании, устанавливают вспомогательный электрод, концентрирующий электрическое поле в электролите у заданного участка поверхности заготовки, и электрохимически перетравливают заготовку на этом участке с автоматическим прекращением процесса по достижении желаемой величины межэлектродного промежутка.