ВСЕСОЮЗНАЯ ПДТШНО-^^^^^''''^^'^^^^' Советский патент 1973 года по МПК B23Q1/66 

1

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам, осуществляющим точные шаговые перемещения по двум координатам, и используется при производстве полупроводниковых и микроэлектронных приборов.

Известны двухкоординатные столы, по направляющим основания которых от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координат промежуточные салазки со вторым приводным двигателем, несущие -направляющие для предметной плиты.

Предлагаемый стол отличается от известных тем, что второй приводной двигатель также жестко закреплен на основании, а ходо-вая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соединенным с предметной плитой кронштейном, проходящим через окно, выполненное в промежуточных салазках.

Такое выполнение позволяет повысить точность и скорость координатных перемещений и уменьщить инерционные моменты перемещаемых масс.

На чертеже показана схема предложенного двухкоординатного стола. ,

Стол состоит из предметной плиты 1 с кронштейном 2, промежуточных салазок 3, основания 4, приводных двигателей 5 и б, соединительных муфт 7 и 5, передач винт 9 - гайка 10 и винт // - гайка 12 и линейки 13. Перемещение предметной плиты по координате У осуществляется вместе с промежуточными салазками через ходовую гайку 12 и винт //, соединенный муфтой 8 с выходным валом двигателя 5. Перемещение предметной плиты по координате X осуществляется от двигателя 6 через муфту 7, винт 9, гайку 10,

которая удерживается от проворота линейкой. Гайка 10 имеет ведущий палец, входящий в паз кронштейна, проходящего через окно в салазках. Паз кронштейна вставлен параллельно направляющим по координате У, что

обеспечивает постоянство координаты X при перемещении предметной плиты по этой координате.

Предмет изобретения

20

Двухкоординатный стол, по направляющим основа-ния которого от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координат промежуточные салазки со вторым приводным двигателем, несущие направляющие для предметной плиты, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и скорости координатных перемещений и уменьшения инерционных моментов перемещаемых масс, второй приводной

двигатель также жестко закреплен на основании, а ходовая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соединенным е предметной плитой кронштейном, проходйЩим через оШо, выполненное в промежуточных салазках.

4

7 g 0 W