УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ В КАССЕТУ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов.

Известно устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибронривод, форвакуумный насос и съемиый вибролоток с гиезда.ми и отверстиями, расположенными в канавках вибролотка, через которые осуществляется вакуумиый присос кристаллов, заполияющих гиезда. Однако при этом низкая производительность труда объясняется больщим количеством вспомогательных операций: съемиый вибролоток, расположенный над кассетой, необходимо сиять с устаиовочиых штифтов после засыпки кристаллов и заполнения ими гнезд; установить на кронштейны; повернуть на 180° для ссыпания лишних деталей в желоб; вновь установить на вибростоле деталями вниз. После заполнения кассеты вибролоток снимается с устаиовочиых щтифтов, переворачивается и виовь устанавливается на них для повторения цикла.

Иелью изобретеиия является иовышение производительности труда за счет уменьшения количества вспомогательных операций.

Это достигается тем, что вибролоток установлен на оси вращения между двумя симметрично расположенными направляющими t кассетами и вынолнен двусторонним, причем

вакуумные нрнсосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономнымн.

Иа чертеже изображено предлагаемое устройство.

Иа столе 1 устройства расположены направляющие решетки 2 с отверстиями и приемником для кассет 3. Л1ежду решетками иа оси 4 укреплен вибролоток 5, с двух сторои которого имеются канавки с гнездами 6, через отверстия в которых нроисходит вакуумный присос кристаллов. К корпусу вибролотка через гибкие штанги 7 и трехиозиционный раснределнтель 8 присоединеи форвакуумный насос 9. Кристаллы насыпаются иа верхнюю

сторону вибролотка 5. Вибратор включается, и детали начинают двигаться по поверхности лотка, заполняя гнезда 6. Как только все гнезда заиолнятся деталями, распределителем соединяют иасос с заиолнеииой поверхиостью лотка. Детали нрисасываются к гнездам. Далее лоток поворачивается вокруг оси, лишиие .четали ссыпаются ,в кр 1сталлосборник 10. Лоток устанавливается во втором рабочем положении. Занолненная новерхность лотка с

кристаллами прижимается к направляющей решетке зажимом 11. Иасос при нейтральном положенни трехнозициониого расире.телителя отсоединяется от корнуса внбролотка. Ири этом детали отрываются от гнезд лотка иод

действием атмосфериого давления н, пролетая через сквозные отверстия направляющей решетки 2, попадают в гнезда кассеты 3. Это положение вибролотка является исходным для загрузки его другой стороны. Предмет изобретення Устройство для загрузки в кассету кристаллов Полупроводниковых приборов, содержащее электромагнитный вибропрнвод, вибролоток с вакуумным присосом, форвакуумный нйсос, кристаллосбориик, направляющие решетки, отличающееся тем, что, с целью ионы шепия производительности, вибролоток установлен на оси вращения между двумя симметрично расположенными лаправляющими с кассетами и выполнен двусторонним, причем вакуумные присосы каждой из рабочих поверхностей лотка выполнены автономными.