ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ ЗАГРУЗКИ В КАССЕТУ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1965 года по МПК H01L21/00 

Известны загрузочные устройства, которые имеют вибролоток с канавками.

Предложенное приспособление отличается от известных тем, что установленный над кассетой вибролоток съемный и в каждой канавке имеются гнезда с отверстием, через которое осуществляется вакуумный присос кристаллов, заполняющих гнезда.

На чертеже показана конструкция предложенного приспособления.

Оно состоит из стола /, на котором устанавливается корпус 2 с отверстиями и лоток 5 с гнездами 4 (диаметр 2 мм, глубина 0,3 мм), через отверстия в последних происходит вакуумный присос кристаллов. Через гибкий шланг 5 корпус 2 соединяется с форвакуумным насосом 6 типа РВН-20.

Кристаллы насыпаются на лоток 3, включается вибратор и детали начинают двигаться по поверхности лотка, заполняя при этом гнезда 4. К.ак только все гнезда заполнятся деталями, открывают клапан 7, соединяют форвакуумный насос с корпусом, в котором создается вакуум и детали присасываются к гнездам 4. Далее лоток снимается с установочных штифтов 8, переворачивается на 180°

н устанавливается на кронштейны 9. Лишние детали ссыпаются в желоб 10, а в гнезде 4 остается по одной детали. Затем лоток устанавливается снова на вибростоле деталями вниз. Таким образом, поверхность лотка обращена к направляющей решетке // и плотно прижимается к ней зажимами 12. Форвакуумный насос при закрытом клапане б отсоединяется от корпуса, в котором создается атмосферное давление. При этом детали отрываются из гнезд лотка и, пролетая через сквозные отверстия направляющей решетки 11, попадают в гнезда кассеты 13.

Предмет изобретения

Приспособление для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов, включающее электромагнитный вибропривод, форвакуумный насос и вибролоток с канавками, отличающееся тем, что, с целью механизации процесса загрузки кристаллов в кассету, установленный над кассетой вибролоток выполнен съемным и в каждой канавке сделаны гнезда с отверстием, через которое осуществляется вакуумный присос кристаллов, заполняющих гнезда.