Устройство для нанесения полупроводникового слоя на аноды оксиднополупроводниковых конденсаторов Советский патент 1974 года по МПК H01G9/04 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО СЛОЯ НА АНОДЫ ОКСИДНОНЮЛУПРОВОДНИКОВЫХ

КОНДЕНСАТОРОВ

На фиг, 1 изображена структурная схе ма ггредлагаемого устройства для. нанесения полупроводникового слоя на аноды оксидно-полупроводниковых конденсаторов; на фиг. 2 вид по стрелке А на фиг. 1;

iia фиг. 3 - Сечение по Б-Б на фиг. 2

Предлагаемое устройство содержит установленные попарно на основании 1 по ходу технолох ческого гфоцесса ванны 2 для лодформовки анодов, ванны 3 промывки, камеры 4 подсушки, ванны 5 пропитки и печи 6 пиролиза, объединенные посредством вер тикалыюго замкнутого двухручьевого цепного транспортера 7 с закрепленными в его звеньях штангами S, снабженными подвесками 9 для закрепления решеток 10 с анодами 11, выпо/шенными в виде штокоа. 12, нодпрумсиненных вдоль оси пружиной 13 и снабженных роликовыми опорами 14 и 15, из которых первая - 14 размещена на свободном конце штока, а вторая - 15 на корпусе 16, снабженном втулкой 17 для прохождения штока 12 и связанного посредством шаршфа 18 со штангой 8 транспортера 7.

fi качестве механизма вертикального перемещения подвесок 9 используются направляющие 19, 2О и 21, установленные на основании 1 устройства над ваннами 2, 3 и 5 и взаимодействующие с роликовыми оиорамл 14 подвесок 9 при 1трохох;дении последних над ваннами, а в качестве механизма вращения подвесок используются расположенные на штоках 12 подвесок 9 звез дочки 22, взаимодействующие с цепными передачами 23, размещенными вдоль печей ,6 пиролиза и снабженными индивидуальными приводами (не показаны).

На выходе подвесок 9 из ванн 5 пропитки расположен механизм 24 поворота подвесюк в вертикальной плоскости, выпол ненный в виде зубчатых реек 25 и 26, соединенных с автономным приводным механизмом 27 и снабженных упорными элементами 28 и 29, а каждая из подвесок 9 транспортера 7 снабжена подгфужиненным пружиной ЗО рычагом 31, на свободном конце которого закреплена роликовая опора 32, взаимодействующая с одним из упорных элементов 28 и 29 механизма 24 поворота ш двесок и с направляющими 33, расположенными на основании 1 устройства вдоль печей 6 пирфшза и служащими для удержания подвесок 9 в горизонтальном по- лом;еиии. Для осуществления пиролитическрjo разложения азотнокислопо марганца в среде водного пара устройство снабжено

системой 34 парообразования, связанной с печью 6 пиролиза трубопроводом 35, служащим для подачи пара в печь.

Общая :система управления устройством включает в себя пульт управления (не показан), электрически связанный с приводны механизмом устройства и служащий для управления работой устройства и наблюдения за режимом технологического процесса.

Устройство работает следующим образом.

Предварительно собранные в решетку 10 аноды 11 наващиваются с помощью подвесок 9 на концы щтанг 8 и перемещаются с помощью цепного транспортера 7, при этом рещетки с анодами поочередно нагружаются и вынимаются из ванн 2 для подформовки анодов и ванн 3 промьшки анодов, а затем проходят через камеру 4 подсушки и ванну 5 пропитки. Погружение решеток с анодами в ванны осуществляется с помощью направляющих 19, 20 и 21 в процессе их взаимс действия с роликовыми опорами 14 щтоков 12 подвесок 9. На выходе из ванны 5 пропитки роликовые опоры выходят из-под направляющей 21 и пруясиной 13 поднимаются по вертикали, занимая исходное положение, после чего подвеска 9 с помощью механизма 24 поворота подвесок в вертикальной плоскости занимает горизонтальное положение и входит в печь 6 пиролиза. Срабатывание механизма 24 поворота подвесок в вертикальной плоскости осуществляется с помощью автономного приводного механизма 27, перемещающего зубчатые рейки 25 и 26 в противоположных направлениях, указанных на фиг. 2 стрелками В, при этом упорные элементы 28 и 29 реек

25и 26 прижимают рычаг 31, в ступице которого имеется прорезь, позволяющая ему свободно поворачиваться, после чего под воздействием пружины 30 рычаг 31 возвращается в исходное положение. На своем пути упорные элементы 28 и 29 взаимодействуют с микровыключателшми (не показаны), управляющими работой приводного механизма 27, и при реверсе приводного механизма зубчатые рейки 25 и

26начинают перемещаться в обратном направлении, указанном на фиг. 2 стрелками Г, при этом упорные элементы 28 н 29 вступают во взаимодействие с роликовой опорой 32 рьшага 31, и рычаг 31 поворачивается, разБорач иная подвеску 9 в горизонтальное положение, показанное пунктиром на фиг, 2. Удержание подвесок вгрризонтальной плоскости производится с пеМощью направляющих 33, взаимодействуюuujx с роликовыми опорами 15 подвесок при этом звездочки 22 подвесок начинают взаимадействдвать с це1шыми передачами 2 сообщающими подвескам вращательное дви- жение вокруг оси, что способствует равномерному распределению пропитывающего раствора по всему телу анода и более равномерному нагреву анодов в печи в процессе пиролиза.

На выходе из печи 6 пиролиза опорный ролик 15 соскальзьюает по фасонному скли зу направляющей.ЗЗ, и подвеска 9 возвращается в исходное вертикальное положение, после чего процесс повторяется необходимо число раз в зависимости от принятой технологии.

Дв11жение замкнутого двухручьевого цепного транспортера 7 осуществляется от ПР1ШОДНОГО механизма 36, а движение цепных передач 23 осуществляется от автономных приводных механизмов (не показаны) . Предмет изобретения.

Устройство для нанесения полупроводникового слоя на аноды оксидно-полупроводHiniOBbix конденсаторов, содержащее основание с направляющими, на котором расположены ванны для ПОДфорМОБКИ анодов, ВаНны лромьшки, камеры подсущки, ванныпропитки, печи пирол1 за, вертикальный замкнутый двухручьевой цепной транспортер с закрепленными в его звеньях штангами.снабженными: подвесками для закрепления рещеток с анодами в виде щтоков , снабженных роликовыми опорами, механизм вертикального. перемещения подвесок, механиз вращения подвесок, снабженный расположенными на штоках звездочками, взаимодействующими с цепными передачами, приводной механизм и пульт управления, отличающееся с целью повыщения производительности работы устройства и првыщения качества изгхзтавливае- мых изделий, оно снабжено расположенным на выходе подвесок из ванн пропитки механизмом поворота подвесок в вертикальной плоскости, вьшолненным в виде зубчатых реек соединенных с автономным приводным механизмом и снабженных упорными элемен тами, а каждая из подвесок транспортера снабжена корпусом, служащим для ее размещения, который шарнирно соединен со щтангой транспортера, и подпружиненным рычагом, на свободном конце которого закреплена . одна из роликовых опор, взаимодействующая с одним из упорных элементов механизма поворота подвесок, причем вторая роликовая опора каждой подвески, размещенная на ее корпусе, взаимодействует с одной из направляющих основания, расположенных вдоль печей пиролиза, вдоль которых также размещены цепные передачи механизма вращения подвесок.

L.,

t;

ПС)

:s

cQ