Резистивный материал Советский патент 1976 года по МПК H01C7/00 

Изобретение относится к электронной технике, к области резисторостроения и может быть применен в качестве проводящего слоя для тонкопленочных резисторов и для элементов схем методом катодного распыления в плазме газового разряда низкого давления. Известен резистивный материал на основе соединения тугоплавких металлов, например нихрома, и окиси .алюминия, Однако у существующих нихромовых составов сравнительно высокий уровень значений ТКС и нестабильность параметров в условиях длительного воздействия температуры и электрических нагрузок. С целью повышения стабильности парамстров и снижения уровня э.д.с. шумов резисторов материал дополнительно содержит углерод при следующем количественном соотношении исходных компонентов (в вес.%): Окись алюминия2-15 Углерод0,1-2 НихромОстальное. Резистивный материал в сочетании с ион ноплазменным распылением обеспечивает диапазон удельного сопротивления от сотен Ом/ fa дс десятков крм/iQ , со значением ТКС не более ± 300.10 ®1/°С с управлением техпроцесса и электрофизических свойств пленок. Введение в нихром окиси алюминия расширяет диапазон удельного сопротивления до десятков кОм/-о. Введение в нихром углерода повышает теплостойкость материала, стабильность его, а также :;нижает ТКС смещением его в диапазоне сотни Ом/а - 5 кОм/D в отрицательную область. Тонкие пленки из резистивного материала имеют достаточно хорошую воспроизводимость номинальных значений сопротив-. ления, высокую адгезию к подложке сохраняют постоянньй фазовый состав для всех режимов нанесения и термообработки, однородную структуру, что обеспечивает уровень э.д.с. шумов во всем диапазоне номиналов до 1 мкв/в.

„515167

34

Формула изобретенияэ.д.с. шумов резисторов, он дополнительно i

Резистивный материал на основе соеди-содержит угпероцпри спеаующемколйчесвенн.ния тугоплавких металлов, например ни-ном соотношении исходных компонентов (в вес,%):

хрома, и окиси алюминия, отличаю-Окись алюкшния 2-15

л и и с я тем, что,с целью повышенияS Углерод 0,1-2

стобильности параметров и снижения уровняНихром Остальное.