Установка для парофазного нанесения покрытий Советский патент 1976 года по МПК C23C11/02 C23C13/08 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованшо для нанесения металлическнх покрытий, в частности, к устройствам для нарафазного нанесения покрытий, например образованных путем термической диссоциации паров тетракарбонила никеля на поверхность изделия.

Известно устройство для парофазного нанесения металлических покрытий, содержащее рабочую камеру, нагреватель и узел подачи парообразного металла к обрабатываемому изделию, включающий отражающие экраны {1. Однако такое устройство не позволяет получать равномерное покрытие на изделии.

Известна установка для парофазного нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, механизм вращения обрабатываемого изделия, индуктор и устройство подачи парообразного металла 2. В такой установке равномерное покрытие получают за счет обеспечения вращения обрабатываемого иаделия, однако она характеризуется сложностью и трудностью получения заданной тщины покрытия, так как расход аарообраэкого металла подводимого к рабочей камере, не является фактическим показателем количества металла, осажденного на поверхности детали иэ-за значительной утечки и рассеяния подводимого пара.

Целью изобретения является упрощение конструкции установки, повышение качества покрытия и экономической эффективности.

Для этого устройство подачи парообразного металла снабжено форсушсами и распределительными каналами, ycтaнoвлeннь vш в индукторе а механизм вращения обрабатываемого изделия выполнен в виде турбин, распояожеакых мемщу форсунками и распределительными каналами.

На чертеже изображена предлагаемая установка, разрез.

Установка содержит рабочую камеру 1 Е установленные в ней разъемный индуктор 2 к устройство 3 подачи парообразного металла, включающее распределительные каналы 4, внутри которых на валах 5 и 6 жестко установлены, соответственно, турбины 7 и 8. Распределительные каналы 4 сообщаются с внутренней полостью разъемного яндуктсрз 2 Е с, установленными в нем фор сунками 9 и -ТО, Залы 5 и 6 установлены, jo-oTs-s CTBeb-iio,, з кепо14внжной и яодвнжной опорах 11 и 12, при этом на валу 5 уста- ков;ге:: регистратор 13 числа оборотов обса.5атьп:;аемогэ изделия 14. Ус7 ,ifc,3Koi работает следующим образом. О3; б ть ваемое изделие 14 устанавли- з ::-с; -ка валах 5 и 6, фикс.руют подвижную с.т.ортг -12 и разъемный кыяукгор 2. Обра- затдываемоэ изделие 14 нагревают в индук торе 2 до зайакной температуры, а зйтем 1..:;л;5сн 1Л металле, например никеля, предвб .т-о подогретого до 2О-4О С подают :fipeo рйС5т;;еделпт ельные каналы 4, форггут--;;: iJ .2 10 к обрабатываемому изделшо. а:.. .; поток карбонила, г л к а турбины 7 и 8, приводит ...т.лъг.се дшнжение обсабатываемое - . -.р -г.,.; -..iJOnii OCJp ilOli .pJCSOzI ;& ,;,:jjcc .. .л;йн с5;;абгть.1ваемого чойел:;. В ;;::::.зуль« гэ корр;ахтировки тех:ологл.;-;;скс:;-.; процесса определяют олтн- -гйлыг/л скорость вращений и время обра- SciKi изяел;я, В прэаессе i-анесения пок- Слс:гт-гь обрабатываемого Utc-i-. ; , подачей (расходом) : ,. - /f- X3J Г- ..-; пг-г; пр: 1пг5гаамо11 конструкенц с.л; С с-гог;т в том, что она позволяет; /;,& .к::К5-;уО з; эЕсимость тол.;;:; ;:: сз--, j:a-:«jcrc ;;: ней расхода ::.,:.: J Mei-iJj;:.: от скоростЕ враще- л;.:.: гэ. сзА;, улрс дашСЕ про-цесс покрытия и повышается его точность. Благодаря наличшо встречных потоков газа, обеспечивается равномерность покрытий как на торцах, так и на цилиндрической поверхности изделия. Кроме того, наличие двух TypfeH увеличивает крутящий момент на валу вздеяия и диапазон регулирования скорости вращения и позволяет повысить качество покрытия. Формула взобретення Установка для парофазного нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, механизм вращения обрабатываемого изделия, индуктор и устройство подачи парообразного металла, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкцвш, яовышензая качества покрытия и экономической эффективности, устройство подачи парообразного металла снабжено форсунками и распределительными каналами, установленными в индукторе, а механизм вращения обрабатываемого изделия выпопнев в виде аурбин, расположенных между форсунками и распределительными каналами. ИСТОЧНИКЕ информации, принятые во внимание при экспертизе: 1, Авторское свидетельство СССР № 449117, М. кл. С 23 с 11/ОО от 15.11.1972 г. 2, Сыркин В, Г, Новые металлические пленки и докрытия в Знание, , 1972 г, стр. 9,