Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов Советский патент 1977 года по МПК C25D1/12 

Изобретение относится к технологии изготовления печатных форм для трафаретной печати (трафаретов), применяемых в микроэлектронике, радиотехнике, полиграфии и других областях техники. Известен способ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, нерастворимого при электрофорезе, например электролитического никеля, с отверстиями по заданному рисунку, соединение металлической основы с металли-. ческой сеткой и удаление временной подложки 1. Цель изобретения - повышение тиражестойкости и разрешающей способности. Это достигается тем, что по предла1гаемому способу изготовлепия сетчатых металлических трафаретов перед соединением металлической сетки с металлической основой на нее наносят подслой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его по боковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сетки с металлической основой производят латексом, который осаждают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остатка 5-20вес. % при постоянном напряжении 100-200 В в течение 1-5 сек. Пример. На титановую подложку толщиной 0,4 мм гальваническим путем осаладают никель из электролита состава, г/л: Сернокислый натрий60 Сернокислый никель200 Сернокислый магний45 Борная кислота25 Хлористый натрий7 при 20-25°С и катодной плотности тока 1 а/дм, толщиной 8 мкм. На слой никеля гальваническим путем наносят подслой меди толщиной 4 мкм из раствора состава, г/л: Борфтористоводородная медь 240 Борная свободная кислота16 Борфтористоводородная свободная кислота10 при 20-25°С и катодной плотности тока 2,5 а/дм. После этого на медной поверхности заготовки методом фотолитографии получают защитный рисунок нужной топологии из фоторезиста марки ФП-383 и по нему в растворе хлорного железа плотностью 1,34 г/л при 50°С химически травят слои меди и никеля до обнажения поверхности титана. Затем электрохимически в растворе хромового ангидрида концентрации, 300 г/л при 20-25°С и анодной плотности тока 1 а/ям R течение

1 М1Ш подтравливают подслой меди. Фоторезист удаляют ири помощи ацетона.

Заготовку плотно прижимают к натянутой на рамку сетке стороной с медным подслоем и погружают в карбоксилсодержащий акриловый латекс с глицидильными функциональными группами с содержанием сухого остатка 10 вес. %.

В качестве катода применяют пластину из нержавеющей стали несколько большего, чем титановая подложка, размера. Процесс электрофореза ведут при постоянном напрялсеиии 160 В в течение 3 сек без перемешивания. После этого трафарет подсушивают в инфракрасном свете при 120°С в течение 5 мин. Затем осторожно отделяют титановую иодложку от трафаретобразующего слоя и проводят окончательную сушку в термошкафупри 120°С в течение 40 мин.

Формула изобретения

Способ изготовления сетчатых металлических трафаретов, включающий формирование на временной подложке металлической основы из металла, иерастворимого при электрофорезе, например электролитического никеля, с отверстиями по заданному рисунку, соединение металлической основы с металлической сеткой и удаление временной подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения тиражестойкости и разрешающей способности, перед соединением металлической сетки с металлической основной на нее наносят подслой металла, растворимого при электрофорезе, например меди, подтравливают его по боковым поверхностям для вскрытия участков металлической основы по краям заданного рисунка, а соединение металлической сетки с

металлической основной производят латексом, который осаждают методом электрофореза из карбоксилсодержащего латекса с рабочей концентрацией сухого остатка 5-20 вес. % при постоянном напряжении 100-200 В в течение 1-5 сек.

Псточннки информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3772160, кл. , 1973.