Состав для металлизации Советский патент 1978 года по МПК C04B41/14 

Изобретение относится к электронной технике, может &ыть использовано при изготовлении толстопленочных микросхем, печатных плат, монодисплеев.

ИэБестен состав для металлизации,

пибде включающий трехокись молибдена

ъг d дистиллированную воду

Присущая этому составу слабая щдгезия металлизационного рокрытия алюмроксидно керамикой не позво 1яет получить рисунки металлизации ИС с достаточной точностью методом фотолитографии.

Цель изобретения - повышение адгезионных свойств состава - достигается тем, что в состав для металлизации, включающий-«трехокись молибдена и дистиллированную воду, введен поливиниловый спирт при (следующем содержании компонентовj вес.% :

Трехокись молибдена

Поливиниловый спирт Вода дистиллированная

Состав готовят следующим образом.

Набухший 10|-нь1й раствор поливи-, нилового спирта (ПВС) в воде (5 Еес. варят 5-7 час в водяной Ване при 70±5°С. В остывший водный раствор ПВС засыпают трехокись молибдена (40 вес.% с удельной поверхностью н менее 4000 , затем состав перемешивают 20-30 ч, вакуумируют при постоянном перемешивании 10-15 мин. Состав наносят окунанием или кисточкой с последующим центрифугированием :Подсущивают металлизацию 0,3-2 ч при

lao-To c.

Вжигают металлизацию в восстано ительной среде при 1320-1620 С, асход 350:750 при противотоке сухого Hg - 750 л/ч.

Механическая прочность получаемого спая на разрыв не менее 700 кг/с Разрыв образцов происходит по ковару и керамике.

При использовании составадля металлизации алюмооксидной керамики механическая прочность спаев повышается в 5-10 раз по сравнению с известным составом.

Пористость металлиэационного покрытия минимальная. Межзерновое вещество однородное, мелкое. Состав позволяет повьюить точность imcyHRa иа плоских изделиях из ал(рмооксидной керамики методом фотолитографии с размером элементов изображения схем до 30-40 мкы, длиной до 160-200 мм при оптимальной толпине металлизации 8±4 мкм. Формула изобретения Состав для металлизации, включающий трехокись молибдена и дистиллированную воду, отличающийс я тем, что, с целью повышения его адгезионных свойств, в него введен поливиниловый спирт при следующем содержании компонентов, вес.%: Трехокись молибдена 40-50 Поливиниловый спирт 5-10 Вода дистиллированная Остальное. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе; 1. Авторское свидетельсвто СССР 183842, Н 01 J 5/30, 26.03.65.