(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗЛАМЫВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ
жит дополнительный механизм с кольцевой лентой/ которая охватывает разламывающий валик с проходящей по нему транспортирующей лентой.
В процессе разламывания полупроводниковая пластина переворачивается на 180 , поэтому перед размещением на транспортирующей ленте ее предварительно закрепляют на тонкой липкой пленке с целью сохранения ориентации кристаллов.
После разламывания пластины в одном направлении ее вновь прокатывают по поверхности разламывающего валика, повернув предварительно на 90 Недостатком описанного устройства является его сложность,так как для н дежности работы устройства необходимо применение дополнительных механизмов прижима пластины к разламывающему валику и регулировки натяжения транспортирующей и прижимной лент. Кроме того, не исключено проскальзывание бесконечной транспортирующей ленты относительно разламывающего валика, что приводит к повреждению рабочей поверхности кристалла в процессе разламывания пластины.
Цель изобретения --упрощение конструкции устройства и. улучшение к- чества .разделяемых кристаллов.
Поставленная цель достигается тем что в устройстве для. разламьюания полупроводниковых пластин на кристаллы, содержащем разламывающий валик, ленту для транспортировки пластин, охватывающую валик, и привод для вращения валика -лента выполнена в виде отрезка, один конец которого жестко закреплен на цилиндрической поверхности валика, а. другой снабжен средством для возврата ленты в исходное положение. . . -{.. ... .
На фиг . 1 схематично показано предложенное устройство, вид сбоку; на фиг. .2 - рабочая позиция устройства с разламывающим валиком и полупрово.дниковой пластиной.
Устройство содержит корпус 1, на котором установлена стойка 2 с закреленным на ней разламывающим валиком 3. Для транспортировки полупроводниковой пластины 4, помещенной для сохранения ориентации кристаллов в герметизированный вакуумный пакет 5, служит гибкая стальная лента 6, скреленная жесткэ одним ко.нцом с разламывающим валиком. Другой конец ленты при помощи пружины 7 и .тяги 8 связан с корпусом устройства. ,Для увеличения прижима ленты к цилиндрической поверхности валика служит подпружиненный ролик 9. Вращение разламывающего валика осуществляют с помощью привода, ;например электродвигателя (не показан).
Разламывание полупроводниковых пластин на кристаллы производят следующим образом.
Пластину 4, помещенную в пакет 5, 5 укладывают рабочей поверхностью на транспортирующую ленту б так, чтобы 1инии скрайбйрйванйЯ располагались параллельно образующей разлаливающего валика 3. С помощью привода 0 вращают разламывающий валик, при
этом на него наматывается транспортирующая лента. При вращении валик | пластина, прижимаемая лентой, обкатывается по поверхности валика и разламывается на полоски по линиям
скрайбирования. После окончания процесса разламывания привод отключают и под действием пружины 7 элементы устройства возвращаются в первоначальное положение. Затем пластину поворачивают на 90° и процесс повторяют.
Так как лента дополнительно прижимается к разла№авающему валику poлуком 9, то при обратном.ходе ленты происходит как бы повторное разламывание пластины, что улучшает качество разделения пластины на кристаллы - неразделенные кристаллы отсутствуют. Кроме того, поверхность кристаллов не повреждается от воздействия ленты- проскальзывания ленты относительно валика не происходит, поскольку один ее конец жестко закреплен с цилиндрической поверхностью валика.
Устройство просто по конструкции, после опробования в производственных условиях показало надежность в работе. Применение устройства увеличивает процент выхода годных кристаллов на операции разлс№1ывания полупроводниковых пластин на кристаллы.
Формула изобретения
Устройство для разламывания полупроводниковых пластин на кристаллы, содержащее разламывающий валик, ленту для транспортировки пластин, охватывающую валик, и привод для вращения валика, о т л и ч 3 ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и улучшения качества разделяемых кристаллов, лента выполнена в .виде отрезка, один конец кЬтррого.Жёстко закреплен на цилиндрической поверхности валика, а другой снабжен средством для возврата ленты в исходное положение. Источники информации, принятые
во внимание при экспертизе:
1.Патент США W3.494523, кл. 22598 ( В 26 f 3/00, В 65 h 35/10), 10.02.70.
2.Патент ГДР 45219, кл. 21 g 11/02, 26.03.64.
f 
fPut.2
