Стекло Советский патент 1978 года по МПК C03C3/10 

(54) СТЕКЛО

Изобретение относится к составам Ьтекол, применяющимся для изготовления прецизионных рутениевых толстопленочных резисторов, применяемых в производстве микросхем для радиотехнической и электронной техники. Известно стекло, используемое для получения прецизионных толстопленочных резисторов, включающее, вес.% : РЬО - 66, - 12, SiOg - 11, Bi. О,- 11- 1 Резисторы на основе указанного стекла нестабильны при воздействии повышенной влажности и при перепаде температур и имеют относительно высо кий температурный коэффициент сопротивления ( ТКС ), достигающий +1000.. Наиболее близким к изобретению по составу является стекло, используемо для заидитного слоя полупроводников, включающее, мол.% : РЬО 25,0-50,0 6,0-18,0 33,0-65,0 0-19,0 НЬгОдД гО.. или ZrO, O,1-f,0 2. Этот состав обеспечивает получение прецизионных толстопленочных ре зисторов на основе соединений рутени в диапазоне от сотен Ом/кв до единиц мОм/кв. Однако на основе этого стекла невозможно получение низкоомных резисторов ( Sg 200 Ом/кв) со стабильными характеристиками при воздействии различных климатических факторов (влага, перепад температур и т.п.).Резисторы на основе этого стекла имеют также относительно высокий температурный коэффициент сопротивления (ТКС), достигающий 40010 1/град. Это обусловлено высоким удельным объемным сопротивлением стекла (5у-6-10 Ом-см), его низкой температурой начала размягчения ( Tg- 4 50° С ) и относительно высоким удельным весом (d - 5,2 т/см) . Целью изобретения является обеспечение удельного объемного сопротивления S 5; 10 76-10 Ом.см, температуры размягчения Tg- 465-520 С и удельного веса d s 4,75-5,15 г/см. Для этого стекло, включающее РЬО, SnOg, АвгОз BjOj, «jOj в качестве . содержит Nbpj или gO или Tag Oj при следукядем соотношении компонентов, вес.%: РЬО 60,00 - 67,10 SiO, 11,74 - 16,30

.A8aO,

3,91 - 9,15 7,50 - 12,60 .,

, imHTcijOjl.OO - 10,00 В таблице 1 приведены составы стекол.

Казкдую смесь сплавляют отдельно в коруидиэовом тигле в силитовой печи при т лпературе 125(f в течение 30 мин

В таблице 2 приведены характеристики стекол.

Характеристики резисторов на осноне синтезированных стекол с содержа1 2 3 4 5 б 7 8 9 Прототип

нием двуокиси рутения 40 вес.% представлены в таблице 3.

Характеристики резисторов на основе стекол, содержащих VjOj или аналогичны характеристикам резисторов на основе стекол с ,,

Приведенные данные показывают, что предлагаемый состав стекла обеспечивает получение прецизионных толстопленочных резисторов с низким ТКС и высокой стабильностью к воздействию повышенной влажности и 11ерепадов температур.

Таблица

Таблица 2 5, включающее отличающееся тем, что, с целью обеспечения удельноге объемного сопротивления S 5г 10 -6-10 , температура раэмягчения Т 4€5f-520°C и удельного веса i3 4,75г5,15 г/см, в качестве UjOj оно содержит N0,0 или VjO, или Та.О, прн следующем соотношении компо- нентов, вес.% ;

Таблица вн I Источники информации, принятые во мание при экспертизе : 1.Патент ОНА №3324049, кл,252-514, 2. Акцептованная заявка ФРГ 496545, кл. 32 В 3/10, 1973.