Устройство для прецизионного позиционирования объектов Советский патент 1979 года по МПК G05D3/00 G12B1/00 H01L21/68 

1

Изобретение относится к устройствам для прецизионного позиционирования объектов с регулируемым шагом перемещения и может быть использовано при производстве полупроводниковых элементов.

Известны устройства для шагового прецизионного позиционирования объектов, содержащие каретку, связанную с приводным механизмом, и механизм коррекции величины перемещения, кинематически связанный с кареткой {1-3.

Недостатком известных устройств является их сложность из-за наличия многих кинематических связей, что увеличивает габариты устройств и снижает надежность их работы.

Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.

Цель достигается тем, что в устройстве для прецизионного позиционирования объектов, содержащем размещенный на основании суппорт, связанный с приводным механизмом, и механизм коррекции величины перемещения суппорта, включающий установленную на суппорте каретку, связанную посредством ходового винта с копиром, колир выполнен в виде охватывающей ходовой винт одновитковой спиральной пружины, один конец которой жестко связан с ходовым винтом, а средняя часть ч

другой конец пружины связаны соответственно с основанием и ходовым винтом с возможностью изменения полол ения точки связи по длине винта.

На чертеже изображено устройство в разрезе.

Устройство содержит основание 1, на котором размещен суппорт 2, связанный с приводным механизмом 3. На суппорте 2

раз.мещена каретка 4, на которую устанавливают объект. Каретка 4 посредство.м ходового винта 5 связана с копиром, выполненным в виде одновитковой спиральной пружины 6, охватывающей ходовой

винт 5 и жестко закрепленной на нем одним концом. На конце ходового винта установлен упор 7, который имеет возможность перемещения вдоль хвостовика ходового винта и фиксации в выбранном полол ении. На основании 1 жестко закреплена стойка 8. Свободный конец пружины 6 расположен в пазах упора 7 и стойки 8.

Устройство работает следующим образом.

Упор 7 устанавливают в требуемом месте хвостовика ходового винта 5, определяемом необходимой величиной корректировки, и фиксируют в этом положении. Приходной механизм 3 перемещает суппорт 2

вместе с кареткой 4 и ходовым винтом 5.

При этпм происходит перемещение v;onnpa 6 относительно стойки 8 и счет взаимодействия копира 6 и стойки 8 ходовой винт совершает поворот. При этом каретка 4 получает дополнительное перемещение. Изменение угла наклона копира 6 относительно оси ходового винта 5, осуществляемое изменением положения упора 7, позволяет регулировать величину дополнительного перемещения каретки 4, т. е. корректировать величину се перемещения.

Форм у л а и 3 о б р е т е и и я

Устройство для прецизионного позиционирования объектов, содержащее размещенный на основании суппорт, связанный с приводящим механизмом, и механизм коррекции величины перемещения суппорта, Включающий устаповленпую на счНПорте

каретку, свя. посредством ходового винта с копиром, с т л и ч а го щ. е е с я rev,, что, с целью упрощения конструкции устройства, копир выполнен в виде охватываюшей ходовой винт одновитковой спирал1 1 ой пружины, одии коней которой жестк() связан с ходовым винтом, а средняя чает1, и конец пружины связаны соответственно с основанием и ходовым винтом с

возможностьк: изменения положепия точки СВЯЗИ ио длине винта.

Источники ииформаци, принятые во внимание при эксиертизс

1.Авторское свидетельство СССР Alb 421443, кл. В 23Q 3/10, 13.12.71.

2.Авторское евидетельство СССР № 411968, кл. В 23Q 3/10, 18.05.72.

3 Авторское свидетельство СССР № 61546,кл. В 23В 5/18, 19.09.38.