Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Советский патент 1979 года по МПК B24B37/04 

(54) УСТРОЙСТЮ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к области абразивной обработки стеклянных и полупроводниковых пластин н может быть использовано в оптике и электронной промышленности, в частности при изготовлении интегральных схем. Известны устройства для обработк плоских поверхностей деталей, размещенных между двумя дисками, в верхнем из которых выполнен csKsaiHный с емкостью для размещения соетава распределительный канал с отверстиями для подвода рабочего состава, расположенными под углом к плоскости диска 1. Вследствие того, что распределительный канал выполнен а периферийной зоне верхнего диска, а отверстия, соединяющие канал с абрази ной плоскостью, наклонены по направлению действия центробежных сил во время обработки происходит выбро рабочего состава за пределы нижнего диска. Это приводит к неравномерном насыщению полировальника.и ухудааени плоскостности обрабатываемых пласти и снижению выхода годных изделий. Механическое перемешивание рабочего состава, осуществляемое вертикальной мешалкой, скользящей распределительного канала, сопровождается загрязнением состава и не обеспечивает требуемой однородности, Это вызывает появление грубых дефектов на поверхности пластин. Цель изобретения - увеличение вы- хода Годных изделий. Цель достигается за счет того, что в устройстве для обработки плоских поверхностей деталей емкость для размещения рабочего состава выполнена в форме усеченного гиперболоида заодно с распределительным каналом, а отверстия для подвода.рабочего состава расположены в диске попарно и выполнены под углами 110.160°и 20-80° соответственно, при этом устройство снабжено по крайней мере одним выполненным на периферии верхнего диска отверстием, расположенным под углом 110-130° к плоскости диска и связанным с упомянутой емкостью. На чертеже схематически изображен общий-вид устройства. . Оно содержит металлическую емкость 1, состоящую из внутреннего цилиндра и., внешнего усеченного гиперболоида, вмонтированный в распределительный, канал 2, изготовлен- .

ный в верхнем .металлическом диске 3, имеющемдиаметр 350 мм и толршну 20 Ш,ЪЧё rapьм центральнь1мй отверстиями 4 диаметром 2,5 мм, два из которйх вьтолнены- под углом 135, :а два Другие - под углом 45. На периферии верхнего диска расположено . отверстие 5 диаметром 3 мм пбД углом к плоскости диска 120 Отверстие 5 сбёДИнено с емкостью 1 трубкой 6, внутренний диаметр которой 3 мм. Q

Верхний диск снабжен центральной лункой 7, ж вставлено поводковое приспособление 8 для сообщения

диску врай1атёльнргь и врашательно-ко- лебательного движения, в устройстве Р ймеет-ся сепаратор 9 и демпфирующая прокладка 10.

Устройство работает следующим образом.

Верхний диск 3 вместе с демпфирую-20 щей прикладкой 10 Из синтетической кржйУотйёрстия которой совпадают с отверстиями 4 и 5 втвёр снём диске, вставляется в сепаратор 9 с бортиком высотой 15 мм. В окна сепаратора 25 .вкладывают стеклянные пластины. Отв. в сеп.араторе совмещают с отверстиями в прокладке и диске. В лунку -7 вводят поводковое приспособление 8 и прижимают верхний диск с ЗО пластинки 11 к нижнему диску 12, на который полировальник 13 КЗ элёктростати ческой замигй. Емкость вставляют в распределительный канал 2, напивают в нее рабочий 35 и включают вращение верхнего и нижнего дисков. При вращении верхнего диска рабочий состав, находяишйся в емкости, выполненной в форме усеченного гиперболоида заодно с ПЕ еделительны и каналом, интенсивно взбалтываетюя, благодаря чему достигают высокой однородности составов и избегут засорения ТОНКИХотвЪрстий, подающих рабочий состав на поверхность полировальника. . 45 При использовании емкости свиеш- . ней стенкой в формеусечёййо еггйпёрб6л эида за счет выпуклой фор№а

Шу рённей поверхности этой стёнйи вблизи йоследней не образуется зам- 50 кнутых рециркуляционных потоков. Напротив абразивные часаицы отражаются от гиперболической поверхности, (5зволяет осуществлять р&ёно ерное перемешивание рабрчед-о 55

по всему объейу ёШгб°(

Ра сйоложение отверстий в диске попарно и под углами 110-160и 20-80° .соответственно и периферийного отверстия, расположенного под углом Q llp-.l30° к плоскости дисками связанного с емкостью, обеспечивает подачу рабочего, состава по нескольким кольцевым зонам диска для равномерного насыщения псэлировальннка абразивом. Величины углов, под которыми выполнены отверстия для подачи рабочего состава, определены размерами верхнего и нижнего дисков. При величине острых углов отверстий более 80 или тупых менее 110 наблюдается запирание отверстий, при величине острых углов отверстий менее 20 или тупых более 160°происходит интенсивный выброс рабочего состава |3а пределы центральной зоны полировальника. При наклоне периферийного, отверстия менее 110° также происходит его запирание. Напротив, при увеличении угла более 130 наблюдается выброс рабочего состава за пределы полировальника и его потеря.

Устройство позволяет осуществить быстрое и равномерное насыщение полировальника абразивом, что делает возможным осуществлять обработку плоских поверхностей деталей больших размеров Равномерное насыщени-е ткани, полировальника способствует снижению неплоскостности изделий до 2 мкм и менее Чистота обработки поверхности деталей соответствует 14 классу. Выход качественных изделий (полуЙровВднйкЬвых пластин, фотошаблонных стеклянных заготовок) составляет на операциях обработки не менее 53%.

Формула изобретения

стройство для обработки плоских поверхностей деталей, размещенных между двумя дисками, в верхнем из которых В1а полнен связанный с емкостью для размещения состава распределительный канал с отверстиями для подхода рабочего, состава, располо еннШ И под углом к плоскости дийка, о i ли чающееся тем, чтоу с целью увеличения выхода годных изделий емкость выполнена в форме усеченного гиперболоида заодно с распределительным каналом, а отверстия расположены в Дискепопарно и выполнены под углами 110-160 и 20-80° соответственно, при этом устройство снабжено по крайней мере одним.выполненным на периферии верхнего диска отверстием, расположенным под углом ПО-130° к плоскости диска и связанным с упомянутой емкостью

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ №956913, кл, 67 а, 27, 1957 г,