Способ изготовления блочных керамических плат Советский патент 1981 года по МПК B28B11/08 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЛОЧНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ

1

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении блочных керамических плат из алюмооксидной керамики.

Известен способ разделения полупроводниковых пластин методом срайбирования алмазными резцами, заключающийся в том, что алмазным резцом наносят на поверхность пластины с приборами риски для концентрации внутренних напряжений в материале и образуют линии 1.

Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления блочных керамических плат, включающий установку заготовки на горизонтальное приспособление, штампование на ней заданного рисунка с одновременным нагреванием с разделением ее на отдельные платы 2.

Однако известными способами невозможно нанести канавки глубиной более 1/2 толщины керамической заготовкиПленки, так как при вдавливании приспособления образуются скозные трещины, которые не обеспечивают качественный разлом керамической заготовки-пленки

на отдельные элементы после спекания керамики.

Цель изобретения - повышение качества. Поставленная- цель достигается тем, что в способе изготовления блочных керамических клат, включающем установку заготовки на горизонтальное приспособление, штампование на ней заданного рисунка с одновременным нагреванием и разделением ее на отдельные платы, заготовку устанавливают в приспособле10ние на дополнительную заготовку, штампованием прорезают канавки на всю глубину верхней заготовки, затем заготовки склеивают, после чего ос)гществляют разделение их на . отделыйге платы.

IS

Сущность способа заключается в следующем. На штыри приспособления с заданным рисунком и высотой выступов заданных размеров укладывают сначала одну керамическую заготовку-пленку, потом BTOpjoo и закрывают

20 верхней плитой приспособления. Собранное приспособление устанавливают ма нижнюю плиту гидравлического пресса Под давлением 2030 кг/см и при температуре верхней и нижней плит 50-5 5° С и выдержке 1 мин рисунок приспособления прорезает канавкк на всю глубину большей пр толщине заготовки-пленки затем происходит процесс склеивания при замоноличивании заготовок-пленок друг с другом за один цикл подачи давле1шя. Из замоноличенной керамической заготовки-пленки с нанесенными канавками вырубаю ; блочные платы заданной конфигурации по габаритам. Блочную плату обжигают в водородных электрических печах при температуре 15 30+10° С с шгтервалом обжига 30 мин. После обжига керамическая блочная плата представляет собой спекшийся монолит с нанесенными канавками. Керамические блочные платы после обжига разделяют на элементы по нанесенным канавкам путем механической ломки.

Пример. На штыри приспособления с задашсым рисунком и высотой выступов 0,6 мм уклад1 гаают керамическую заготовкупленку 75x75 мм, толщиной 0,6 мм, затем на эту заготовку-пленку укладывают вторую заготовку-пленку 75x75 мм, толщиной 0,5 мм и закрывают верхней плитойГ приспособления. Собранное приспособление ставят на нижнюю плиту гидравлического 63-тошгого пресса марки П-483. Под давле шем 22 кг/см при температуре верхней и 1Ш)1шей плит 5 5° С и при выдержке I мин рисунок приспособления прорезает канавки на всю глуб1шу верхней заготовки-пленки, т.е. на 0,6 мм, затем происходит процесс склеивания при замоноличивании верхней заготовки-пленки с нижней за один цикл подачи давления. Канавки снижают местную прочность материала за счет образова1ШЯ концентраций напрюкений по канавке. Склеенную замоноличиванием заготовку-пленку с ifflHeceHiUjiMH канавками укладывают на штыри матрицы вырубного штампа.

Пуансоны дня оформления габаритов блочной платы имеют острые кромки, которые

при надавливании штампа на заготовку-пленку режут ее. Выталкиватели отделяют блочную плату от отходов пленки. Блочные платы укладывают на корундовую лодочку и обжигают в водородных печах типа ОКБ-8097 при 1500° С. Интервал толкания 30 мин. Платы затаривают на обжиг в один ряд на плоскость через подставки 42x35x4 мм. После обжига блочная плата хорошо отделяется от подставки.

После обжига плату подвергают разделению на элементы путем механической ломки вдоль канавок с обеспечением габаритных размеров.

Испйльзование данного способа позволяет исключить образование сквозных трещин на керамических заготовках-пленках при нанесении канавок глубиной более /2 суммарной толщины заготовок-пленки и создать блочные платы с последующим разделением на элеменTIjI.

Формула изобретения

Способ изготовления блочных керамических плат, включающий установку заготовки на горизонтальное приспособление, штампования на ней заданного рисунка с одновременным нагреванием и разделением ее на отдельные гшаты, отличающийся тем, что, , с целью повышения качества, заготовку устанавливают в приспособление на допол1штельную заготовку, штамповаьшем прорезают канавки на всю глубину верхлей заготовки, затем заготовки склеивают, после чего осуществляют разделение их на отдельные гшаты. Источ1шки информации,

пршшгые во внимание при экспертизе

2.Патент Японии № 52147605, кл. 20 (3) В 36, опублшс. 1977.