Способ сортировки полупроводниковых приборов и устройство для его осуществления Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

относительно механизма загрузки, а контактные элементы контактного меха низма каждой позиции установлены с возможностью их одновременного пере111ещения. На фиг.1 схематично представлено устройство, реализующее предлагаемый способ сортировки, на фиг. 2 - контак вый механизм. Устройство содержит механизм за-груэки, включающий йибробункер1 и лоток 2 для ориентированной подачи полупроводниковых приборов в двухпо зиционный контактный механизм 3, который служит для подключения сортиру емых полупроводниковых приборов к блоку измерений (не показан) их элек трических параметров. Контактный механизм 3 установлен с возможностью возвратко поступательного перемещу-ния относительно лотка 2 с помощью . автономного привода 4. Для приема и подачи в соответствующую тару разбра кованных приборов служит карусель 5, .карманы б которой совмещаются с разгрузочными лотками 7 (показан один лоток), по которым разбракованные . приборы подаются в соответствующую тару 8 по группам. Контактный меха, низм содержит корпус 9, в котором вы полнены загрузочные пазы 10 и 11. Передние части боковых поверхностей корпуса образуют опорные площадки 12 и 13 для выводов 14 измеряемых полупроводникЬ.вых приборов. Контактные элементы 15 и 16 установлены симметрично относительно корпуса 9 и закреплены в стойке 17 корпуса 9 контактного механизма 3. В стойке 17 также установлена подвижная вилка 18 продольные образующие которой (рычаги) своими концами взаимодействуют с контактными элементами 15 и 16. Вилка 18 посредстврм рычагов 19 и планки 20 соединена с ее приводом 21.Кон тактные элементы 15 и 16 могут быть смонтированы отдельно от контактного механизма 3 и снабжены приводом. Устройство работает следующим обi разом - .. Из вибробункера 1 по лотку 2 прибор подается в загрузочный паз 11 контактного механизма (первая позиция) . Этот паз совмещен с лотком 2 и с одним из карманов карусели 5. В это время привод 21 вилки 18 переводит концы ее образующих 22 (рычагов) в крайнее левое положение. При этом правые контактные элементы 15 за счет их упругости прижимаются к выво дам 14 прибора, находящегося в пазу 11 и блок измерений начинает замер параметров. Одновременно с контактированием прибора включается привод 4 контактного механизма 3 и он перемещается в правое положение (вторая по зиция) . В процессе движения выполняются измерения электрических nt,; aMeTров прибора. В положении контактного механизма 3 на второй позиции в паз . 10подается из лотка 2 очередной при-, бор, а привод21 вилки 18 переводит ее концы в крайнее правое положение, при этом от выводов прибора, находящегося в пазу 11 отводятся контактные элементы 15, а контактные эле- . менты 16 контактируют с выводами другого полупроводникового прибора, находящегося в пазу 10. Прибор из паза 11подается в одни из карманов карусели 5 и транспортируется для выгрузки в тару соответствующей группы. Далее цикл повторяется. Для измерения по двухпроводной системе Кельвина могут быть использованы опорные площадки 12 и 13. В этом случае они выполняются локализовано токопроводящими и соединяются с блоком измерений.Контактный механизм 3 может иметь ось качания как параллельно плоскости вращения карусели 5, так и перпендикулярно ей, может совершать возвратно-поступательное движение в плоскости вращения карусели. Сущность его функции от этого не меняется. Контактные элементы могут прижиматься как под действием сил собственной упругости, так и под действием-пружинных или механических прижимов. Таким образом, устройство практически не имеет холостых ходов, а время простоя измерителя определяется временем срабатывания контактных элементов, что позволяет осуществить операцию подключения одногополупроводникового прибора к контактному механизму одновременно с операциями отключения от контактного механизма и выгрузки другого полупроводникового прибора. Формула изобретения 1.Способ сортировки полупроводниковых приборов, включающий операции подачи каждого полупроводниковозх прибора, подключения к контактному механизму, замера электрических параметров полупроводникового прибора, отключения его от контактного механизма и выгрузки, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, операцию подключения одного полупроводникового прибора к контактному механизму осуществляют одновременно с операциями отключения от контактного механизма и выгрузки другого полупроводникового прибора. 2.Устройство для осуществления способа по П.1, содержащее соединенные с приводом механизма загрузки транспортирующий механизм, контактный механизм с контактными элeмe тa;ми, соединенными с блоком измерений электрических параметров полупровод никовых приборов, и разгрузочные лот,ки, отличающееся тем, что контактный механизм выполнен . двухпозиционным и снабжен автономным приводом его возвратно-поступательно;го перемещения относительно механизма загрузки, а контактные элементы

контактного механизма кеикдой позици установлены с возможностью их одноворменного перемеь ения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1„ Проспект фирмы Даутагс, СШа, 1971, модель 3235.

2. AiBTopCKoe свидетельство СССР 472486, КЛГИ-€15 -К 13/027 1972.

Фи2 2