СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭТАЛОНОВ ДЛЯ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗА СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК МАЛОКОМПОНЕНТНЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ И СПЛАВОВ Российский патент 2014 года по МПК G01N23/223 

Изобретение относится к материаловедению, а именно к определению элементного состава тонких пленок рентгенофлуоресцентным методом. Использование: в физике конденсированного состояния, материаловедении для определения состава тонких пленок малокомпонентных твердых растворов и сплавов рентгенофлуоресцентным методом.

Известны способы определения состава тонких пленок малокомпонентных твердых растворов и сплавов (бинарных халькогенитных стекол) с использованием тонкопленочных эталонов [1]. Сущность изобретения [1] заключается в сопоставлении площади под характеристическими линиями атомов A и B в рентгенофлуоресцентных спектрах пленок стехиометрического состава A₂B₃ (эталонный образец) и стеклообразных пленок переменного состава. Таким образом градуировочная зависимость строится только по трем точкам: элемент А, элемент В и стехиометрический состав A₂B₃, что уменьшает возможную точность измерений. Изготовить дополнительные однородные пленки промежуточного известного состава не представляется возможным.

Цель заявляемого способа: упрощение метода изготовления и повышение точности тонкопленочных эталонов состава для рентгенофлуоресцентного анализа состава тонких пленок малокомпонентных твердых растворов или сплавов.

Сущность способа заключается в том, что для изготовления тонкопленочных эталонов состава используется последовательное нанесение на подложку слоев компонентов сплава или твердого раствора толщиной, обеспечивающей такое же их соотношение, как в эталонируемом сплаве или твердом растворе.

Технический результат: с помощью предложенного способа существенно упрощается процесс изготовления эталонов состава и увеличивается их точность, так как заменяется сложный процесс получения многокомпонентной тонкой пленки заданного состава на получение серии однокомпонентных пленок заданной толщины.

Поставленная цель достигается путем замены технологически сложного процесса нанесения тонкой пленки сложного состава с заданной концентрацией компонента на последовательное нанесение однокомпонентных слоев заданной толщины, обеспечивающей такое же соотношение компонентов, как в эталонируемом сплаве или твердом растворе.

Метод был проверен на примере твердого раствора висмут-сурьма в интервале концентраций от 0 до 20 ат.% сурьмы. Последовательность нанесения слоев висмута и сурьмы не имеет значения.

Предложенный способ создания тонкопленочных эталонов может быть использован при анализе состава тонких пленок других малокомпонентных твердых растворов и сплавов.

Источники информации

1. Способ повышения точности определения количественного состава бинарных стеклообразных халькогенидных пленок переменного состава A_100-xB_x (A=P, As, Sb, Bi и B=S, Se, Te). Патент №2433388, МПК: G01N 23/223 (2006.01).

Использование: для изготовления эталонов для рентгенофлуоресцентного анализа состава тонких пленок малокомпонентных твердых растворов и сплавов. Сущность изобретения заключается в том, что на подложку наносят однокомпонентные слои компонентов сплава или твердого раствора толщиной, обеспечивающей соотношение количества атомов компонентов, соответствующее их соотношению в эталонируемом сплаве или твердом растворе. Технический результат: упрощение технологии изготовления эталонов для рентгенофлуоресцентного анализа состава тонких пленок малокомпонентных твердых растворов и сплавов.

Способ изготовления эталонов состава малокомпонентных твердых растворов и сплавов для рентгенофлуоресцентного анализа тонких пленок малокомпонентных твердых растворов и сплавов, включающий послойное нанесение на подложку слоев компонентов сплава или твердого раствора толщиной, обеспечивающей соотношение количества атомов компонентов, соответствующее их соотношению в эталонируемом сплаве или твердом растворе, отличающийся тем, что наносится не пленка однородного сплава или твердого раствора, а однокомпонентные слои.