Способ изготовления пьезокерамического элемента Российский патент 2022 года по МПК C04B35/491 C04B35/64 

Описание патента на изобретение RU2766856C1

Изобретение относится к технологии изготовления пьезокерамических элементов, на основе сегнетожёстких (легированных оксидами марганца, ниобия, цинка) материалов системы цирконата-титаната свинца (ЦТС), устойчивых к внешним воздействиям и обладающих высокой температурной стабильностью параметров, и может быть использовано в различных устройствах, предназначенных для работы в силовых режимах, в том числе предназначенных для экстремальных условий (акселерометры, пьезодвигатели, пьезотрансформаторы) [1].

Известен способ изготовления пьезоэлементов из сегнетожёсткого материала системы цирконата-титаната свинца (ЦТС) PbTiO3-PbZrO3-PbNb2/3Mn1/3O3-PbNb2/3Zn1/3O3, полученного по обычной керамической технологии. Из синтезированного пьезоматериала на гидравлическом прессе формуется заготовка методом полусухого прессования при давлении 700 – 800 кгс/см2. Далее производится операция нагревания заготовки до температуры спекания 1125 – 1175 ºС с одноосной механической нагрузкой 2–3 106 н/м2 на установке горячего прессования. Заготовка выдерживается под одноосной механической нагрузкой и температуре спекания в течение 6 часов. После выдержки спечённая заготовка охлаждается вместе с установкой горячего прессования до комнатной температуры естественным способом. Спеченная керамическая заготовка шлифуется и разрезается на тонкие диски толщиной 1 мм. На плоскости дисков наносятся токопроводящие электроды, путем вжигания серебросодержащей пасты. Поляризация полученных пьезокерамических элементов осуществляется при температуре 100 – 150 ºС в среде силиконового масла под напряжением 3 – 4 кВ/мм [2, 3].

Недостатком способа является невысокие значения относительной диэлектрической проницаемости εТ330 и пьезомодуля d31 у полученных пьезоэлементов на основе синтезированного пьезоматериала.

Наиболее близким по выполнению является способ изготовления пьезоэлемента из сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца (ЦТС) PbTiO3-PbZrO3-PbNb2/3Mn1/3O3-PbNb2/3Zn1/3O3, полученного по обычной керамической технологии. Из синтезированного пьезоматериала формуется заготовка методом полусухого прессования на гидравлическом прессе при давлении 700 кгс/см2 в виде диска диаметром 20 мм и высотой 2 мм. Спекание сформованной заготовки проводится при температурах 1200–1280ºС в течение 45 минут в камерной печи при естественном атмосферном давлении. Спеченная керамическая заготовка шлифуется до толщины 1 мм и на её плоскости наносятся токопроводящие электроды, путем вжигания серебросодержащей пасты. Поляризация полученных пьезокерамических элементов осуществляется при температуре 100 – 150 ºС в среде силиконового масла под напряжением 3 – 4 кВ/мм. [4].

Недостатком способа является невысокие значения относительной диэлектрической проницаемости εТ330 и пьезомодуля d31 пьезоэлементов, полученных на основе синтезированного пьезоматериала.

Техническим результатом изобретения является повышение значений диэлектрической проницаемости εТ330 и пьезомодуля d31, при сохранении значений механической плотности.

Технический результат достигается способом, характеризующимся тем, что из сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца (ЦТС) PbZrTiMnNbZnO формуют заготовку под давлением 700 – 800 кгс/см2, затем проводят термопрессование заготовки с одноосной механической нагрузкой 1–3 106 н/м2 при температуре 830 – 870 °С и выдерживают её при этих условиях в течение 10 – 40 минут (что приводит к усадке и упрочнению заготовки) с последующим спеканием без нагрузки при температуре 1150-1230 °С в течение 1-3 часов.

В качестве сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца (ЦТС) может быть использован материал PbTiO3-PbZrO3-PbNb2/3Mn1/3O3-PbNb2/3Zn1/3O3 состава мас. %: оксид свинца PbO 66,912-69,231, оксид циркония ZrO2 16,01–17,551, оксид титана TiO2 8,57–14,457, оксид марганца MnO2 0,153-0,538, оксид ниобия Nb2O5 2,241–3,578, оксид цинка ZnO 0,227-0,53.

Пьезокерамический материал может быть получен по обычной керамической технологии методом твердофазных реакций. Исходные компоненты в указанных дозировках смешивают (в барабанной шаровой мельнице) с добавлением 90 - 110 мл дистиллированной воды в течение 20 – 24 часов, после чего производится сушка материала (в сушильном шкафу) при температуре 90 - 100°С в течение 10 – 12 часов. Далее производится синтез материала (в камерной печи) при температуре 830 – 870°С в течение 3 – 4 часов. Синтезированный материал измельчается (в барабанной мельнице) в течение 20 – 24 часов, после чего производится сушка материала (в сушильном шкафу) при температуре 90 – 100°С в течение 10 – 12 часов.

Отличием предлагаемого способа является проведение, после формовки заготовки под давлением 700 – 800 кгс/см2, термопрессования с одноосной механической нагрузкой 1–3 106 H/м2 при температуре
830 – 870°С и с выдержкой под давлением и температурой в течение 10-40 минут, а также проведение последующего спекания при температуре 1150 – 1230°С в течение 1 – 3 часов, в отличие от известного способа [4], в котором спекание проводят при температуре 1200–1280ºС в течение 45 минут непосредственно после формовки заготовки под давлением 700 кгс/см2.

Ниже приведены примеры осуществления изобретения.

Пример 1а Получение пьезоматериала.

Готовят пьезоматериал из компонентов состава мас. %: PbO 66,912, ZrO2 16,01, TiO2 14,457, MnO2 0,153, Nb2O5 2,241, ZnO 0,227 по обычной керамической технологии, заключающейся в синтезе соединения методом твердофазных реакций.

Исходные компоненты в указанных дозировках смешивают в барабанной шаровой мельнице с добавлением 100 мл дистиллированной воды в течение 24 часов, после чего производится сушка материала в сушильном шкафу при температуре 100°С в течение 12 часов. Далее производится синтез материала в камерной печи при температуре 850 °С в течение 4 часов. Синтезированный материал измельчается в барабанной мельнице в течение 24 часов, после чего производится сушка материала в сушильном шкафу при температуре 100°С в течение 12 часов.

Пример 1б. Аналогично примеру 1а готовят пьезоматериал из компонентов состава мас. %: PbO 69,231, ZrO2 17,551, TiO2 8,57, MnO2 0,538, Nb2O5 3,578, ZnO 0,532.

Пример 1в

Аналогично примеру 1а и 1б готовят пьезоматериал синтезом в камерной печи при температуре 830 °С.

Пример 1г

Аналогично примеру 1а и 1б готовят пьезоматериал синтезом в камерной печи при температуре 870 °С.

Пример 2а. Формовка из синтезированного пьезоматериала прессзаготовки и получение пьезоэлемента.

Для формования прочной заготовки, в порошок синтезированного пьезоматериала по примеру 1а вводится связующая добавка - 3%-ный водный раствор поливинилового спирта в количестве 6 – 7% от общей массы пьезоматериала. Полученная масса перемешивается в ступке и пропускается через сито с размером ячейки 0,5 мм. Из полученного пресс-порошка на гидравлическом прессе в пресс-форме под давлением 700 кгс/см2 формуется заготовка в виде диска. Сформованная заготовка проходит процедуру сушки при комнатной температуре (10–12 ч) и при 80–95 ºС (20–24 ч) с целью исключения избыточной влаги, внесенной связующей добавкой.

Далее проводится операция термопрессования заготовки с одноосной механической нагрузкой 3 106 Н/м2 при температуре 850°С и фиксированной изотермической выдержке в течение 30 мин, с использованием установки горячего прессования (при термопрессовании с одноосной механической нагрузкой между зернами прессзаготовки в местах их контактов образуются прочные перемычки, формирующие предварительный каркас, обладающий достаточной прочностью для дальнейшего спекания без нагрузки). Следующим этапом термопрессованная заготовка охлаждается естественным способом до температуры окружающей среды и перемещается в камерную печь для спекания (нагрев и выдержка) при температуре 1150ºС в течение 3 часов без одноосной механической нагрузки (что приводит к упрочнению и увеличению размеров зерен предварительно жёстко сгруппированных между собой перемычками на этапе термопрессования, и что способствует спеканию заготовки преимущественно с диффузионным механизмом массопереноса).

Спеченная керамическая заготовка шлифуется и разрезается на тонкие диски толщиной 1 мм. На плоскости дисков наносятся токопроводящие электроды, путем вжигания серебросодержащей пасты. Поляризация полученных пьезокерамических элементов осуществляется при температуре 100 – 150 ºС в среде силиконового масла под напряжением 3 – 4 кВ/мм.

Аналогично проводят формовку, термопрессование и спекание пьезоматериалов, полученных по примерам 1б-1г.

Пример 2б

Аналогично примеру 2а проводят формовку заготовки на прессе под давлением 800 кгс/см2, термопрессование с одноосной механической нагрузкой 3 106 Н/м2 при температуре 830 °С и выдержке под нагрузкой в течение 40 минут и последующее спекание без нагрузки при температуре 1170 °С в течение 2 часов.

Пример 2в.

Аналогично примеру 2а проводят формовку заготовки на прессе под давлением 800 кгс/см2, термопрессование с одноосной механической нагрузкой 1 106 Н/м2 при температуре 870 °С и выдержке под нагрузкой в течение 10 минут и последующее спекание без нагрузки при температуре 1200 °С в течение 2 часов.

Пример 2г.

Аналогично примеру 2а проводят формовку заготовки на прессе под давлением 800 кгс/см2, термопрессование с одноосной механической нагрузкой 2 106 Н/м2 при температуре 850 °С и выдержке под нагрузкой в течение 20 минут и последующее спекание без нагрузки при температуре 1230 °С в течение 1 часа.

Результаты испытаний относительной диэлектрической проницаемости, εТ330, пьезомодуля d31, плотности и коэффициента связи kp полученных пьезоэлементов на основе исследуемых пьезоматериалов представлены в таблице. Аналогичные результаты получены для пьезоэлементов, полученных по примерам 1б-1г, 2б-2г. Там же приведены результаты испытаний по известным пособам [2] и [4] (см. таблицу).

Способ спекания Температура спекания, °С Плотность, г/см3 εТ330 d31, пКл/Н kp Камерная печь (прототип) [4] 1200 - 1280 7,7 1140 115 0,63 Горячее прессование [2] 1125 7,67 1399 122 0,57 1150 7,72 1415 130 0,58 1175 7,7 1387 127 0,54 Заявляемый способ 1150 7,74 1886 217 0,62 1170 7,71 1791 213 0,59 1200 7,71 1700 200 0,57 1230 7,70 1527 184 0,57

Как видно, предлагаемый способ способствует в большей степени, чем известные способы повышению значений относительной диэлектрической проницаемости εТ330 (до значений 1520 – 1880) и пьезомодуля d31 (до значений 180 - 210·10-12 Кл/Н), при сохранении значений механической плотности ρ = 7,70 – 7,74 г/см3).

Список источников литературы

1. Нестеров, А.А. [Текст]: Труды международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения» / Т.Г. Лупейко, А.А. Нестеров - Ростов-на-Дону: Изд-во Ростовского гос. Ун-та, 1999.- т.1,-с.254-261.

2. Marakhovsky, M.A. Comparative study of the hard and soft PZT-based ceramics sintered by various methods / M.A. Marakhovsky, A.A. Panich, M.V. Talanov, V.A. Marakhovsky, Ferroelectrics 575(1), с. 43-49 (2021). DOI: 10.1080/00150193.2021.1888225.

3. Глозман И.А. Пьезокерамика. «Энергия», Москва, 1972.-288 с.

4. Nishida M., Ouchi H. Improvements in and relating to ceramic compositions // GB patent N 1376013. - Publ. 04.12.1974. (прототип).

Похожие патенты RU2766856C1

название год авторы номер документа
Способ получения керамических материалов на основе сложных оксидов АВО3 2019
  • Резниченко Лариса Андреевна
  • Андрюшин Константин Петрович
  • Андрюшина Инна Николаевна
  • Дудкина Светлана Ивановна
  • Глазунова Екатерина Викторовна
  • Вербенко Илья Александрович
RU2725358C1
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЛОИСТЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР 2013
  • Нестеров Алексей Анатольевич
  • Панич Анатолий Евгеньевич
  • Панич Александр Анатольевич
  • Панич Евгений Анатольевич
  • Мараховский Михаил Александрович
RU2552509C2
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 2005
  • Мирошников Петр Васильевич
  • Сегалла Андрей Генрихович
  • Сафронов Алексей Яковлевич
  • Никифоров Виктор Георгиевич
  • Чернов Владимир Александрович
RU2288902C1
СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ШИХТЫ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛА 2013
  • Свирская Светлана Николаевна
  • Мараховский Михаил Алексеевич
  • Нагаенко Александр Владимирович
  • Дыкина Любовь Александровна
RU2532440C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО ПЬЕЗОМАТЕРИАЛА 2010
  • Рыбянец Андрей Николаевич
RU2414017C1
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 2000
  • Вусевкер Ю.А.
  • Панич А.Е.
  • Левицкий Ю.Е.
  • Вусевкер В.Ю.
  • Файнридер Д.Э.
  • Дерезин В.Н.
RU2185351C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО ПЬЕЗОМАТЕРИАЛА 2019
  • Луговая Мария Андреевна
  • Рыбянец Андрей Николаевич
  • Швецова Наталья Александровна
RU2713835C1
Пьезокерамический материал 2018
  • Николаев Андрей Валерьевич
  • Гришин Алексей Александрович
  • Андреев Валерий Георгиевич
RU2691424C1
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 2010
  • Резниченко Лариса Андреевна
  • Разумовская Ольга Николаевна
  • Андрюшин Константин Петрович
  • Вербенко Илья Александрович
  • Павелко Алексей Александрович
  • Таланов Михаил Валерьевич
  • Павленко Анатолий Владимирович
RU2440955C2
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 2016
  • Дмитриенко Алексей Геннадиевич
  • Гришин Алексей Александрович
  • Андреев Валерий Георгиевич
  • Меньшова Светлана Борисовна
  • Белаков Евгений Юрьевич
RU2624473C1

Реферат патента 2022 года Способ изготовления пьезокерамического элемента

Изобретение относится к технологии изготовления пьезокерамических элементов, на основе сегнетожёстких материалов системы цирконата-титаната свинца (ЦТС), устойчивых к внешним воздействиям и обладающих высокой температурной стабильностью параметров, и может быть использовано в различных устройствах, предназначенных для работы в силовых режимах, в том числе предназначенных для экстремальных условий (акселерометры, пьезодвигатели, пьезотрансформаторы). Техническим результатом изобретения является повышение значений диэлектрической проницаемости εТ330 и пьезомодуля d31, при сохранении значений плотности. Из сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца (ЦТС) PbZrTiMnNbZnO формуют заготовку под давлением 700–800 кгс/см2, затем проводят термопрессование заготовки с одноосной механической нагрузкой 1–3 106 Н/м2 при температуре 830–870оС и выдерживают её при этих условиях в течение 10–40 минут с последующим спеканием без нагрузки при температуре 1150-1230оС в течение 1-3 часов. 1 з.п. ф-лы, 1 табл., 8 пр.

Формула изобретения RU 2 766 856 C1

1. Способ изготовления пьезокерамического элемента, характеризующийся тем, что из сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца PbZrTiMnNbZnO формуют заготовку под давлением 700–800 кгс/см2, затем проводят термопрессование заготовки с одноосной механической нагрузкой 1–3 106 Н/м2 при температуре 830–870оС и выдерживают её при этих условиях в течение 10–40 минут с последующим спеканием без нагрузки при температуре 1150-1230оС в течение 1-3 часов.

2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что в качестве сегнетожёсткого пьезоматериала системы цирконата-титаната свинца PbZrTiMnNbZnO используют материал состава, мас. %: оксид свинца PbO 66,912-69,231, оксид циркония ZrO2 16,01-17,551, оксид титана TiO2 8,57-14,457, оксид марганца MnO2 0,153-0,538, оксид ниобия Nb2O5 2,241-3,578, оксид цинка ZnO 0,227-0,53.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2022 года RU2766856C1

Способ атомно-ионизационного анализа 1986
  • Матвеев Олег Игоревич
SU1376013A1
Способ получения композиционных пьезоматериалов 1989
  • Шахтахтинский Магомед Габибулла Оглы
  • Мамедов Али Иса Оглы
  • Курбанов Мирза Абдул Оглы
  • Садыгов Халыг Аллахверди Оглы
  • Рамазанов Махаммадали Ахмед Оглы
  • Эфендиев Эльман Агамирза Оглы
  • Юркевич Витольд Эдуардович
  • Мусаева Севиндж Надир Кызы
  • Джафаров Эльшан Джабир Оглы
  • Азизов Мамед Фарман Оглы
SU1713821A1
Способ получения пьезокерамического материала 2017
  • Гришин Алексей Александрович
  • Андреев Валерий Георгиевич
  • Таишев Султан Равилевич
RU2663223C1
ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЛОИСТЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР 2013
  • Нестеров Алексей Анатольевич
  • Панич Анатолий Евгеньевич
  • Панич Александр Анатольевич
  • Панич Евгений Анатольевич
  • Мараховский Михаил Александрович
RU2552509C2
DE 69017189 D1, 30.03.1995.

RU 2 766 856 C1

Авторы

Мараховский Михаил Алексеевич

Панич Александр Анатольевич

Мараховский Владимир Алексеевич

Даты

2022-03-16Публикация

2021-07-22Подача