Устройство для обработки изделий в вакууме Советский патент 1983 года по МПК H01L21/70 

Изобретение относится к вакуумн технике, в частности к устройствам для обработки изделий в вакууме, например полупроводниковых пластин для изготовления полупроводнцковых приборов. Известно устройство для обработ ки изделий в вакууме, содержащее загрузочную камеру, соединенную с вакуумной камерой каналом с вакуум ным затвором l . Недостатками устройства являютс низкая производительность, так как в нем не обеспечивается автоматизи рованная загрузка изделий в вакуум ную камеру, а также низкая надежнос в работе, не обеспечивающая надежну ориентацию изделий при загрузке их в вакуумную камеру. . Наиболее близким к изобретению является устройство для обработки изделий в вакууме, содержащее загру зочную камеру с магазином и толкате лем для изделий, соединенную с ваку умной камерой каналом с вакуумным затвором 2 , Однако низкая надежность в работе не обеспечивает надежное ориенти рование изделий при перегрузках из загрузочной камеры в вакуумную. Цель изобретения - повышение надежности в работе. Указанная цель достигается тем, что устройство для обработки изделий в вакууме, содержащее загрузоч-к ную камеру с магазином и толкателем для изделий, соединенную с вакуумно камерой каналом с вакуумнЕлм затвором, снабжено направляющими для изделий, подвижно установленньнли в канале посредством упругих .элементов, причем направляющие для издеЛИЙ выполнены с подпружиненными , фиксаторами, а вакуумный затвор рас положен между направляюпшми для изделий. .. На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, разрез; на фиг, 3 - начало загрузки держателя из загрузочной камеры в канал; на фиг. 4 - ввод держателя в направляющую для изделий; на фиг. 5 перемещение держателя в зоне вакуумного затвора; на фиг. б - начало загрузки держателя в направляющие колеса; на фиг. 7 -совмещение направляющей для изделий с направляющей колеса; на фиг. 8 - загрузка держателя в направляющие колеса; на фиг. 9 - разрез R-A на фиг. 2; на фиг. 10 - разрез Б-В на фиг. 9; на фиг. 11 - разрез В-В на фиг. 2; на фиг. 12 - разрез Г-Г на фиг. 11. Устройстводля обработки изделий в вакууме содержит загрузочную камеру 1, соединенную каналом 2 с вакуумной камерой 3. В канале 2 уст новлен вакуумный затвор 4. В загрузочной камере размещен магазин для изделий, выполненный в виде каретки 5, установленный с возможностью возвратно-поступательного перемещения на направляющих 6 и соединенную с винтовым механизмом 7. На каретке 5 установлена кассета 8 для изделий, например полупроводниковых пластин, которые размещены в держателях 9 изделий, установленных в гнездах кассеты 8. Кассета 8 выполнена с выступами 10, расположенными симметрично относительно гнезд кассеты 8. Дпя перегрузки изделий из загрузочной камеры 1 в вакуумную камеру 2 предназначен толкатель 11, конец которого выполнен фигурной формы, а в держателе 9 изделий выполнен фигурный паз 12 для толкателя 11. Толкатель 11 установлен в загрузочной камере 1 с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль канала 2 и с возможностью поворота вокруг своей оси. В вакуумной камере 3 расположено колесо 13 (колесо Ферри), по окруж;ности которого равномерно расположены гнезда для держателей 9 изделий, выполненные в виде направляющих 14, причем направляющие выполнены с ребрами 15, расположенными симметрично относительно оси направляющих 14, Для ориентированного перемещения изделий в канале 2 предназначены направляющие 16и 17 для изделий. НаправляЮ1чие 16 и 17 для изделий выполнены в виде рамок, в которых вьтолнены пазы 18 для держателей изделий, ширина которых несколько больше толщины держателей 9, и установлены в канале 2 с возможностью перемещения. Направляющие 16 и 17 для изделий опираются на дно канала 2 бочкообразными роликами 19, которые соединены с направляющими 16 и 17 для изделий серьгами 2.0 подпружиненными пружиной 21, и установлены в канале 2 подвижно посредством упругих элементов, выполненных в виде пружин 22 растяжения, соединяющих направляющиё1б и 17 для изделий со стенками канала,, Направляющие 16 и 17 для изделий выполнены со скошенными поверхностями 23 и 24, предназначенными для направления держателей 9 изделий в пазы 18. Кроме того, скошенные поверхности 23 выполняют функцию ловителей для совмещения паза 18 направляющей 16 для изделий с гнездами кассеты 8 магазина, и для совмещения паза 18 направляющей 17 для изделий с направляющими 14 колеса 13. Н направляющей 16 для изделий закреплен упор 25, который ограничивает ее перемещение в направлении к вакуумной камере 3, а на направляющей 17 закреплен аналогичный упор 26, который ограничивает ее перемещение в направлении к загрузочной камере 1. Направляющие 16 и 17 выполнены с подпружиненными фиксаторами 27., Вакуумный затвор 4 расположен между направляющими 16 и 17 для изделий. Устройство работает следующим образом. При закрытом вакуумном затворе 4 в загрузочную камеру 1 на каретку 5 устанавливается кассета 8 с изделия ми - полупроводниковыми пластинами, размещенными в держателях 9, затем загрузочная камера 1 герметизируется и в ней создается- давление, равное давлению в вакуумной камере 3, после чего вакуумный затвор 4 откры вается. Рабочее колесо 13 устанавли вается в положение, при котором одна из направляющих 14 колеса 13 рас полагается соосно с гнездом кассеты 8 магазина. Толкатель 11 входит в фигурный паз 12.держателя 9, пово рачивается на 90° вокруг своей оси, продолжает поступательное перемещение и транспортирует держатель 9 с изделием в вакуумную камеру 3, при этом, взаимодействуя со скошенными поверхностями 23 и 24 направляющей для изделий, держатель 9 входит в паз 18. Направляющая 16 для изделий самоустанавливается относительно, держателя 9 за счет деформации .упру гих элементов - пружина 22 растяжения и пружина 21. При дальнейшем пе ремещении толкателя 11 держатель 9 с изделием взаимодействует со скошенными поверхностями 23 и 24 напра ляющей 17 для изделий, входит в ее паз 18, Направляющая 17 для изделий также самоустанавливается относител но держателя 9 изделий. После joro, как держатель 9 изделий перемещается за пределы кассеты 8, и входит полностью в канёш ориентированное положение держателя 9 изделий обеспечивается направляющими 16 и 17 для изделий. При дальнейшем перемещении толкателя 11 держатель упирается в подпружинеиннй фиксатор 27 направляющей 17 для изделий, и направляющая 17 для изделий перемещается вместе с толкателем 11 и держателем 9 изделий по направлению к колесу 13. При этом направл ющая 17 для изделий взаимо- действует скошенными поверхностя- . ми 23 с ребрами 15 направляющих 14 колеса 13 и самоустанавливается относительно направляющей 14 так, что пазы 18 направляющей 17 для изделий совмещаются с пазами направляю . щей 14. После того, как направляющая 17 для изделий упирается в направляющую 14 колеса 13, толкатель 11, преодолевая сопротивление подпружиненного фиксатора 27, перемещает держатель 9 в пазы направляющей14, затем толкатель 11 поворачивается вокруг своей оси на 90° в обратном направлении и возвращается в исходное положение. Каретку 5 с кассетой 8 и колесо 13 перемещают для подачи следующего держателя 9, который также транспортируется толкателем 11 в вакуумную камеру 3. Выгрузка держателей 9 изделий из вакуумной камеры 3 после обработки изделий производится в обратной последовательности. При этом совмещение пазов 18 направляющей 16 для изделий с гнездом кассеты 8 обеспечивается за счет взаимодействия скошенных поверхностей 23 направляющей: 1.6 для издeJШй с выступами 10 кассеты 8, при этом перемещение направляющей 16 для изделий к кассете 8 обеспечивается за счет взаимодеистВИЯ держателей 9 изделий с подпружиненным фикса-, тором 27. Использование изобретения обеспечивает повышение надежности в работе установки для обработки изделий в вакуумной камере за счет обеспечения надежной ориентации изделий при х транспортировании из загрузочной камеры в вакуумную камеру.

5 9

I I jff

Фыг2

ffZ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее загрузочную камеру с магазином и толкателем для изделий, соединенную с вакуумной камерой каналом с вакуум-- ным затвором, отличающеёс я тем, что, с целью повышения надежности в работе, оно снабжено направляющими для изделий, подвижно установленными в канале посредством упругих элементов, причем направляющие для изделий выполнены с подпружиненными фиксаторами, а вакуумный затвор расположен между направляющими для изделий. О :л эь DO эо

Фиг.З

f7

f V V

V /V A /Ч

V V

vwvvs лллллл

2j 7

6

1

/8W

kV/

A A A A/A A

s/V

/

A ДАЛ A

V VV V V

/

«

kAAA

...A

VV V

x--

.A A A A A A VV V

т

21

. Фиг 5

.7

fpuB.B

/I-А

0i4Z.9

г /

в-в25

W