Электрический вакуумный ввод Советский патент 1984 года по МПК H01B17/26 

00

о ю

ее 1 Изобретение относится к электротехнике электротермического машиностроения, в частности к вводам для установок ионного азотирования. Известен высоковольтньй вакуумньй ввод l Недостатками этого ввода являютс незащищенность от ионной бомбардиро ки, что приводит к его разогреву до температуры азотирования, холостому расходу.электроэнергии, невозмо ность применения при температурах применения при свыше 750°С, сложность конструкции из-за применения лабиринтных зазоро Наиболее близким к предложенному является токоввод, представляющий с бой стальной корпус с расположенной в нем системой охлаждения, изоляцио ные устройства вьшолнены в виде лаб ринтных зазоров 2j . Недостатками ввода являются огра ничение по допускаемой рабочей темп ратуре (до ), что связано с ра зогревом ввода в результате ионной I бомбардировки до температуры азотирования холбстой расход электроэнергии на разогрев электрического ввода возникновение электрической дуги между токоБводом и корпусом ка меры, отсутствие внутри ввода устройства для измерения температуры азотируемых деталей. Цель изобретения - повышение надежности электрического вакуумного ввода путем повьшения электрической прочности при повышении температуры Поставленная цель достигается ,тем,что электрический вакуумный ввод содержащий металлический кожух,в котором с зазором, йредназначенным дл циркуляции охлаждающей жидкости, ус тановлен токопроведящий полый стержень, взаимодействунщие с кожухом опорные и уплотнйтельные элементы, снабжен, охватывающей металлический кожух по всей длине электрического ввода трубой из изоляционного материала, например кварца, и охватьшаю щей трубу с зазором изоляционной втулкой, опорные элементы выполнены в виде двух полых гаек и конусообразной втулки, охватывакщих трубу на части своей длины с зазором, уплотнительные элементы вьтолнены в виде набора колец из изоляционного эластичного материала и расположены в упомянутом зазоре, при, этом изоля 19 ционная втулка расположена между гайками. На чертеже представлен электрический вакуумный ввод. Электрический вакуумный вв.од состоит из токопроводящего полого стержня 1, являющегося каналом для термопарного ввода, наружной трубы 2, являющейся кожухом с циркулирующей в нем жидкостью для охлаждения и служащей одновременно токоподводом, трубы 3 из изоляционного материала, например кварца, набора изоляционных колец 4, гаек 5 и опорной изоляционной втулки 6, которая воспринимает вес азотируемых деталей. Ввод работает следующим образом. В стержень 1 до упора вставляется термопара для измерения температуры азотируемых деталей, к штуцерам М 20 1,5 подводится охлаждающая жидкость. Затяжкой гайки 5 достигается герметизация узла ввода в камеру ионного изотирования на трубу 2 по резьбе, например М 12, крепится загрузочное устройство с несколькими деталями. После вакуумирования камеры до давления 5-20 ГПа на наружную трубу 2 подается напряжение 1500 В. Токоввод с закрепленными на нем деталями, является отрицательным полюсом (катодом)., положительным полюсом (анодом) служит корпус камеры. На катоде вспыхивает тлеющий разряд, охватывающий азотируемые детали, - идет процесс азотирования. После завершения процесса азотирования напряжение с токоввода снимается, детали охлаждаются до 100 С, затем производится разгрузка проазотированных деталей и загрузка следующей партии деталей на азотирование. Электрический вакуумньш ввод позволяет проводить процесс азотирова- э 1000°С (искния при температурах до лючен разогрев самого электрического ввода), устранить холостой расход электроэнергии на нагрев ввода, повысить надежность работы в результате устранения возникновения электрической дуги между электрическим вводом и корпусом камеры,, повысить точность измерения температуры азотируемых деталей в результате совмещения электрического и термопарного ввода, что повьш1ает вакуумную лотность камеры, способствует меньшению количеств газовых приесей и улучшает ее -работу.

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ ВВОД, содержащий металлический кожух, в ко- • ^tojpoM с зазором, предназначенным для" циркуляции охлаждающей жидкости, установлен токопроводящий полый стержень.взаимодействующие с кожухом опорные и уплотнителъные элементы, отличаю щи и с я тем, что, с целью повьшения надежности путем повышения электрической прочности при повьппе- нии температуры, он снабжен охватывающей кожух по всей длине трубой из изоляционного материала, например кварца, и. охватывающей трубу с зазором изоляционной втулкой, опорные элементы выполнены в внде двух полых гаек и конусообразной втулки, охватывающих трубу на части своей длины с зазором, уплотнительные элементы выполнены в виде набора колец из изоляционного материала и расположены в упомянутом зазоре, при этом изоляционная втулка расположена между гайками.i(Я