Устройство для контроля микросварных соединений в процессе контактной сварки Советский патент 1985 года по МПК B23K11/10 

Изобретение относится к автоматизации технологических процессов сборки микроэпектронной аппаратур, может быть использовано при сборке полупроводниковых приборов и интегральных схем и является усовершенство ванием изобретения по авт. св. № 1092021.

Цель изобретения - повышение качества котроля микросварных соединений в процессе контактной сварки.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 - схема контроля.

Устройство для контроля микросварньрс соединений в процессе контактной сварки содержит расщепленный сварочный электрод 1, измерительные щупы 2 и 3, опорное кольцо 4 сварочного электрода 1, фиксатор S из диэлектрического материала для закрепления измерительных щупов 2 и 3, привариваемый вывод (проволоку) 6, контактную площадку 7, к которой приваривается вьшод 6, размещенную на подложке 8, например, из ситалла, . усилитель 9 для усиления сигналов, снятых с помощью измерительньк щупов 2 н .3 с зоны микросварки..

Расщепленный сварочный электрод 1 служит для контактной сварки деталей 6, например вьтодов бескорпусного транзистора из проволоки, и контактной площадки 7. Измерительные Щ)пг1ы 2, контактирующие с привариваемой проволокой 6, и измерительный щуп 3,

контактирующий с коитактной площадкой 7, служат для измерения параметров контактной сварки. Измерительный щуп 3 расположен на электроде 1 перпендикулярно измерительнь1М щупам 2.

Устройство работает следующим образом.

В процессе сварки привариваемой проволоки 6 (например вьшода бескорпусного транзистора) к контактной площадке 7, расположенной на подложке 8, замыкаются .сварочный электрод 1, измерительные щупы 2 с привариваемой проволокой б, а измерительный щуп 3 - с контактной площадкой 7 так как измерительные щупы 2 и 3 жестко связаны со сварочным электродом 1. При этом i с помощью Ыупов 2 и 3 проводят измерение параметров сварки, необходимых для анализа ее качества (разность потенциалов непосредственно в зоне сварки, падение напряжения на свариваемом переходе, переходное сопротивление или термо-ЭДС) и подают сигналы на усилитель 9.

Таким образом, введение в устройство для контроля микросварных соединетш третьего измерительного щупа для контактирования с контактной площадкой, соединенного электрически с усилителем, позволяет повысить достоверность контроля микросваркк за счет измерения переходного сопротивления свариваемых деталей одновременно с. процессом контактной сварки.

УСТЮЙСТВО ДЛЯ КОЭТЮЛЯ МИКЮСВАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙ В ПЮЦЕССЕ КОНТАКТНОЙ СВАРКИ по авт. св. № 1092021, отличающееся тем, что, с целью повышения качества контроля микросварных соединений в процессе контактной сварки, оно снабжено третьим измерительным щупом , выполнетым в виде плоской пружины, размещенной на расщепленном электроде в плоскости, перпендикулярной плоскости расположения двух других измерительных щупов и электрически соединенной с усилителем. Фиг.1

Фиг.г Проводник(npoSoaoKo) после сварки

Измерительная точна Зля контроля ретина сварки

-г

тт тт

3 7

Фаг.З

Фиг.