Сополимеры аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеиновым ангидридом в качестве светочувствительной основы фоторезиста Советский патент 1985 года по МПК C08F222/06 G03C1/68 

Изобретение относится кхимии полимеров, а именно к сополимерам аллиловых эфиров алкеиилциклопропа карбоновых кислот с малеиновь1м анГИДР1ЩОМ в качестве светочувствительной основы фоторезистов, испол зуемых для изготовления интегральных схем с субмикронными размерами элементов методом фотолитографии. Цель изобретения - повьшение светочувствительности и разрешающей способности фоторезистов. Пример 1. В ампулу помещают 1,52 г (OjOi г/моль) аллилов го эфира 2-винил-циклопропанЕарбон вой-1 кислоты формулы СНр С-С-СНСООСНг-СН СНг ч / сн. где R, и 1j42 мл абсолютного бензола, 0,98 г. (0,01 г/моль) малеинового ангнцрида, 0,05 г динитрила азо-бисизомасляной кислоты (ДИНИЗ) (2% от веса исходных соеди нений) . Ампулу продувают азотом, запаив ют. Нагревают 5 ч при 70°С, затем охлаждают до 18-20°С и содержимое осаждают в гексан, несколько раз промывают гексаном и сушат в вакуу суишлке при 30°С. Получают 1,82 г (73%) сополимера. Пример 2. Полимеризацию проводят аналогично примеру 1, . но в качестве мономера используют аллиловый эфир 2-винил-2-метилщпслопропанкарбоновой- кислоты ф мулы (f), гдеR,H,, в кол честве 1j66 г (0,01 г/моль), 0,98 г (0,01 г/моль) малеинового ангидрида, в количестве 0,0528 г (2% от веса исходных соед нений). Выход составляет 1,793 г (68%). Пример 3. Полимеризацию проводят аналогично примеру 1, но качестве мономера используют алли ловьй эфир 2-изопропенилциклопроп карбоновой-1 .кислоты формулы (1), где R(Cn , в количестве 1,66 г (0,0.1 г/моль), 0,98г (0,01 г/моль) малеинового ангидри ДИНИЗа в количестве 0,0528 г (2% от веса исходных соединений). Вых составляет 1,848 г (70%). 2 Пример 4. Полимеризацию проводят аналогично примеру 1, но в качестве мономера используют аллиловый эфир 2-метил-2-изопропенилциклопропанкарбоновой-1 кислоты формулы (1), где ) количестве 2-28 г (0,01 г/моль),О,98 г (0,01 г/моль) малеинового ангидрида, ДИНИЗа в количестве 0,0326 г (2% от веса исходных соединений). Выход составляет 2,314 г (71%). В ИК-спектре полученных сополимеров имеются характерные полосы поглощения для карбонильных и аллиловых групп в области 1730 и 1640 см соответственно. Вхождение в цепь сополимера ангидридных звеньев характеризуется появлением полос поглощения в области 1790 и 1850 , характерных для карбонильной группы в ангидридных молекулах . ПМР-спектры содержат резонансные сигналы для протонов у двойных связей (d 5,0-5,50; 5,50-6,0 м.д.) CHj у карбонильной группы (.j 4,5 М.Д., -CHj-CHj- (( 2,12 м.д.) метильные группы у двойной связи (С) 1,75 м.д,) соответственно. Сложный мультиплет в области ((j 3,1-3,70 м.д.) относится к протонам метиновых протонов из ангидридных звеньев. Все полученные сополимеры являются белыми порошками, хорошо растворимыми в полярных растворителях, в частности ацетоне, хлороформе, диметилформамиде. Некоторые свойства синтезированных сополимеров приведены в табл.1 Литографические характеристики сополимеров приведены в табл.2. Литографические характеристики сополимеров аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеинодым ангидридом: толщина пленки 0,3-0,5 мкм, сушка пленки при 80 С-20 мин., состав проявителя 1,4-диоксан-изопропиловый спирт 1:2, время проявления -2 мин. Разрешающая способность пленок составляет 1 мкм, а микродефектность - 0,3-0,8 деф./см. Разрешающая способность пленок из сополимера-прототипа составляет 2,0 мкм.

Таблица 1

Сополимеры аллиловых эфиров алкенилциклопропаикарбоновых кислот с малеиновым ангидридом общей формулы т, гУ -fCH2-C C-CHf-CH-CH-CHi|, . R2 COOCHf-C№ CH2 где R и Rj - Н или СН, (П с мол.мае. 46500-52000 в качестве светочувствительной основы фоторезиста.