Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий на плоские изделия Советский патент 1991 года по МПК B05C19/00 

Изобретение относится к оборудованию для нанесения порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано для получения покрытий заданной конфигурации с высокой точностью при изготовлении полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - повышение качества селективного покрытия и расширение технологических возможностей устройства,

На фиг.1 показана принципиальная схема устройства; на фиг.2 - принцип действия устройства при формировании полимерных покрытий.

Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий содержит питатель 1 порошка, виброраспылитель 2 в виде сита, вибратор 3, подставку 4 для удержания изделий и перемещения их вверх и вниз, нагреватель 5, механизмы загрузки изделий 6 и выгрузки 7. механизм 8 перемещения.

Подставка и нагреватель могут независимо друг от друа перемещаться вверх вниз. Расстоянье от покрываемой поверхности изделия до сита регулируется винтом 9. Нагреватель 5 устанавливается вплотную к изделиям, расположенным под сито.м, для обеспечения теплового и имеет возможность перемещаться из положения. Сито содержит лету; ную сетку 10, на нижней стороне которой заиреплач трафарет 11 с окнами, в каждой из :соторы разме- щэна заглушка 1 закрывающая участок поверхности изделия i3. не подлежащей покрытию.

Устройство работает следующим образом.

Порошкообразный эпоксидный компз- унд загружается в питатель 1. Из него порошок поступает на виброраспылитель 2, на нижней стороне которого установлен трафарет 11 с окнами и набором заглушек 12. Из ме-ханизмз 6 загрузки на механизм Р перемеа ения поступают изделия 13. кото-. -. -v

i€

О ч

при помощи механизма перемещения попадают под сито на соответствующие подставки 11. Подставки с изделиями приподнимаются до нужного зазора между по- крываемыми поверхностями изделий и нижней поверхностью сита виброраспылителя. Величина зазора определяется шлщи- ной трафарета, к которому изделия подводятся вплотную. Толщина трафарета равна 0,5-3,0 мм. Вибратор 3 воздействует на сито так, что оно вибрирует с частотой 5 Гц и амплитудой 0,1-0,22 в плоскости, параллельной покрываемой поверхности изделий.

Порошкообразный компаунд в течение времени вибрации (15-20 с) заполняет объем, ограниченный поверхностью изделий, ситом, стенками окон трафарета и заглушек. При отключении вибратора порошок не просыпается через сито виброраспылителя. Нагреватель, касаясь изделий, оплавляет слой порошка 14, сформированный на них, в течение 5-20 с. Температура нагревателя при этом составляет 200-250°С. После оплавления нагреватель опускается и отводится в сторону, а готовые изделия переносятся к механизму выгрузки.

Трафарет и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленноI

му полимеру, чтобы исключить его зялипа- ние к ним при оплавлении. Усадка слоя порошка при оплавлении исключает его залипание к латунной сетке.

Формула изобретения 1.Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий на плоские изделия, содержащее виброраспылитель в виде сита с закрепленными на его нижней стороне негативными объемными масками, питатель порошка, механизм перемещения изделий, нагреватель для оплавления порошка, отличающееся тем, что, с целью повышения качества селективного покрытия и расширения технологических возможностей устройства, негативные объемные маски выполнены в виде трафарета с окнами и набора заглушек, причем в каждом окне расположена по меньшей мере одна заглушка, а нагреватель установлен под ситом с возможностью перемещения.

2,Устройство по п. 1, отличающее- с я тем, что стенки окон и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленному полимеру.

Изобретение относится к области нанесения порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение качества селективного покрытия и расширение технологических возможностей устройства. Для этого негативные объемные маски выполнены в виде трафарета с окнами и набора заглушек. Нагреватель установлен под ситом с возможностью перемещения. Стенки окон и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленному полимеру. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.

12 Ю I

f. ° ° в . «. ° ,. „.,- о ,

. .. .- ° во - - М± ±1 та ±Ь :г™: ±±шж1

v,e ЧГ

i -

Ixsss-ms

ь SvLN

% I-NSи

i

YI - eubSi,-« i-ic- -iii i- i Di:wi

4 fc1 7

х,

Z2ZZZ

13

х,