Устройство для нанесения поли-п-ксилиленовых покрытий Советский патент 1993 года по МПК B05C9/00 

Изобретение предназначено для нанесения влагозащитного слоя на блоки электронной аппаратуры, микросборки и может быть использовано в радиотехнической, электронной и других отраслях промышленности.

Целью изобретения является повышение качества покрытия путем обеспечения равномерности его нанесения по всей поверхности изделия.

На фиг, 1 изображен продольный разрез устройства; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Устройство для нанесения поли-п-кси- лиленовых покрытий представляет собой герметичную емкость 1, соединенную с ва- куумоповодом2. Емкость 1 состоит из камеры сублимации 3, камеры пиролиза 4, емкости предварительного охлаждения 5, размещенной на входе камеры покрытия 6. Камеры 3,4 и б имеют цилиндрическую форму, а емкость предварительного охлаждения 5 выполнена в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8 и тангенциально соединена посредством патрубка 9 с камерой пиролиза 4. Камера сублимации 3 снабжена нагревателями 10, крышкой 11 и емкостью 12 с материалом покрытия и соединена с камерой пиролиза 4, которая снабжена нагревателями 13,14, съемным винтом 15, выполненным из жаростойкого тепло- проводящего материала. Между емкостью предварительного охлаждения 5 и камерой

00

о

00

покрытия 6 размещена съемная перегородка 16, выполненная с отверстиями 17,18,19, 20, 21, 22, расположенными по окружности, размер которых увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза 4, Камеры предварительного охлаждения 5 и покрытия 6 снабжены нагревателями 23 и 24 и центральным патрубком 25, соединенным с ва- куумпроводом,

Внутри камеры покрытия б на центральном патрубке 25 радиально размещены держатели в виде пластин - охладителей 26, снабженных средствами регулировки температуры по их длине, при этом на пластинах - охладителях 26 с зазором 27 с помощью захватов 28 устанавливаются покрываемые изделия 29.

Устройство работает следующим обра-. зом.

Перед началом работы с устройства снимаются крышка 11 и в емкость 12 засыпается необходимая доза материала покрытия 30 (циклода-п-ксилилена), после чего крышка 11 закрывается.

С устройства снимается камера покрытия 6 и покрываемые изделия 29 устанавливаются на пластинах-охладителях 26 с зазором 27 с помощью захватов 28, после чего камера покрытия б устанавливается на прежнее место. Затем из емкости 1 через центральный патрубок 25 и вакуумпровод 2 откачивается воздух для создания необходимого воздуха. При этом пластины-охладители 26, выполненные с возможностью регулировки температуры по их длине, охлаждают изделия 29, установленные на них с зазором 27 с помощью захватов 28. Причем охлаждение изделий 29 производится неравномерно - более сильно охлаждается верхняя, наиболее удаленная от камеры предварительного охлаждения 5 часть деталей с целью получения более равномерного покрытия на всей поверхности деталей.

После достижения необходимого вакуума в емкости 1 и охлаждения изделий 29 включаются нагреватели 10, 14, 23 и 24 и в течение установленного времени проводят процесс нанесения покрытия, во время которого пары цикло-п-ксилилена из камеры сублимации 2( поступают в камеру пиролиза 4, где происходит образование п-ксилилена.

При этом при прохождении паров циклода-п-ксилилена через разогретый винт 15, выполненный из жаростойкого теплопрово- дящего материала, обеспечивается более полное образование п-ксилилена.

Далее в емкости предварительного охлаждения 5, выполненной в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8, пары постепенно охлаждаются и через отверстия

17, 18, 19. 20, 21, 22, расположенные по кругу в съемной перегородке 16, равномер но поступают в камеру покрытия 6, далее, проходя вдоль изделий 29, осаждаются на

их поверхности ровным слоем, где и происходит полимеризация покрытия.

Сразу после начала полимеризации покрытия средства регулировки пластин - охладителей выключаются с целью экономии

материала покрытия.

После окончания цикла выключают все нагреватели и после охлаждения всех камер 3, 4, 5, 6 в емкость 1 подается воздух.

Далее с устройства снимается камера

5 покрытия 6 и покрытые изделия 29 снимаются с пластин-охладителей 26, а на их место устанавливается новая партия изделий 29 и устанавливается камера покрытия 6 на прежнее место, В емкость 12 как и прежде

0 засыпается новая порция материала покрытия 30, После чего цикл повторяется.

В предложенном устройстве емкость предварительного охлаждения выполнена с винтообразным подъемом дна 8 , а отвер5 стия в перегородке 16 расположены по кругу и размер их увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза 4, вследствие чего поток паров в емкости предварительного охлаждения 5, постепенно охлаждаясь у

0 перегородки 16, равномерно поступает в ка- меру покрытия 6.

Кроме того в предложенном устройстве обеспечивается возможность регулировки температуры при охлаждении изделий 29

5 пластинами-охладителями 26 для того, чтобы части изделий, расположенные дальше от источника паров, охладились сильнее с тем, чтобы там образовывался такой же слой покрытия, как и на частях, более близких к

0 источнику паров.

Отсос паров производится из верхней части камеры покрытия 6,с тем чтобы уменьшить возможность образования так называемых мертвых зон.

5 Предложенное устройство обеспечивает равномерное покрытие по всей поверхности покрываемых изделий 29, снижает процент брака изделия за счет повышения качества покрытия и, кроме того уменьшает

0 расход материала покрытия за счет уменьшения охлаждения на стенках камеры и пластинах-охладителях 26.

Формула изобретения Устройство для нанесения поли-п-кси5 лиленовых покрытий, содержащее последовательно размещенные камеру сублимации с емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза и камеру покрытия с держателями изделий и с центральным патрубком, соединенным с вакуум-проводом, отличающее с я тем, что, с целью повышения качества покрытия путем обеспечения равномерности его нанесения по всей поверхности изделия, входная часть камеры покрытия выполнена в виде кольцевой емкости предварительного охлаждения с винтообразным подъемом дна, соединенной тангенциально с камерой пиролиза и отделенной от камеры покрытия съемной перегородкой с разме

щенными по окружности отверстиями, размер которых выбран увеличивающимся по мере удаления от камеры пиролиза, при этом держатели выполнены в виде пластин- охладителей со средствами регулировки температуры по их длине и размещены ра- диально на центральном патрубке камеры покрытия для установки на них изделий с зазором.

Использование: нанесение поли-п-кси- лиленовых покрытий на изделия в радиотехнической, электронной и др. отраслях промышленности. Сущность изобретения: устройство содержит камеру сублимации с емкостью для материала покрытия, камеру пиролиза, емкость предварительного охлаждения и камеру покрытия с центральным патрубком. Он соединен с вакуумопрово- дом. Емкость предварительного охлаждения выполнена в виде кольца с винтообразным подъемом дна. Она тангенциально соединена с камерой пиролиза и отделена от камеры покрытия съемной перегородкой с отверстиями. Размер отверстий увеличивается по мере удаления от камеры пиролиза. Пластины-охладители размещены радиально на центральном патрубке внутри камеры покрытия. Они выполнены с возможностью регулировки температуры по их длине. Покрываемые детали уста на вливаются на пластинах-охладителях с зазором. 2 ил.