РПРОФЮЗНАЯ 1пдиптяо.ган:^...-^^,^g''-•at.ij.y'lif— , ..» Советский патент 1972 года по МПК H01L21/00 

изобретение относится к устройствам точной механики и может быть применено нри производстве полупроводниковых приборов.

Известен микроманинулятор, содержащий корпус, координатно-поворотный узел, состоящий из жестко связанных между собой и установленных один на другом столиков и привода перемещения от микрометрических винтов или рычагов. Этот микроманинулятор не обеспечивает высокой точности перемещейия.

Целью изобретения является повыщенне точности перемещения при том же выполнении элементов микроманипулятора. Цель достигается тем, что в микроманипулятор введен третий столик, установленный над координатно-новоротным узлом и связанный с его осью поворота плоской пружинной пластиной. Цластина имеет две прорези и закреплена средней частью на оси координатно-новоротного узла, а боковыми сторонами - на рабочем столе.

На чертеже ноказан предложенный микроманипулятор.

Микроманипулятор установлен на нижней плите 1, над которой жестко укреплена базовая плита 2 с перемещающимся по ней на шариках рабочим столом 3. К столу крепятся стойки 4, которые проходят через отверстие в плите 2. На стойках 4 установлено

устройство ориентацни 5 с нолунроводниковой пластиной 6. На плите 2 установлен фотошаблон 7.

На нижней нлите / смонтнрованы направляющие 8, в которых перемещается столик 9. На столике 9 в направляющих 10 закреплен столик //, на котором с помощью радиальноупорных подшипников установлена ось 12, связанная со средней частью пружинной нластины 13, имеющей две прорези. Края пластины 13 через плиту 14 устройства ориентации скреплены с рабочим столом 3.

Перемещения столиков 9, 11 и оси 12 через

пластину 13 передаются рабочему столу 3. При неточном изготовлении деталей и неаккуратной сборке перемещения столиков и поворот оси не параллельны плоскости перемещения рабочего стола 3. Вертикальная составляющая этих перемещений вызывает деформацию средней части пластины 13, нри этом не возникает горизонтальных смещений прикрепленного к ней рабочего стола 3. Пластина 13 передает горизонтальные перемещения рабочему столу 3 от столиков Я И и оси 12 и комненсирует непараллельность их перемещений. Рабочий стол 3 передвигается по плоскости плиты 2, благодаря чему пластина 6 перемещается параллельно нижней плоско