Способ электродугового испарения металлов Советский патент 1978 года по МПК C23C15/00 

Изобретение относится к -способам электродутового испарения металлов, например в процессах напыления металлов на металлы и диэлектрики.

Известен способ электродугового испарения металлов в магннтном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой нерабочей поверхностью катода. Однако .наличие постоянного магнитного поля, служащего для удержания катодного пятна на рабочей поверхпости катода, в момент нахождения на ней пятна нецелесообразно и в то же время выдвигает требование к равномерности поля и его определенной направленности.

Предложенный способ стабилизирует катодное пятно дуги на рабочей поверхности катода. Способ отличается тем, что процесс осуществляют в пульсирующем магнитном поле, величина которого минимальна в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальна -в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности кагода.

Электродуговое испарение металлов ведут в пульсирующем магнитном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, с величиной минимальной в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальной в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности катода. Отсутствие магнитного поля в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода устраняет направленное движение катодного пятна к периферии катода вследствие неравномерности поля. При выходе катодного иятна на нерабочую поверхность катода напряженность магнитного иоля увеличивают до максимального значения.

Формула изобретения

Способ электродугового испарения металлов в магнитном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой нерабочей поверхностью катода, отличающийся тем, что, с целью стабилизации катодного пятна дуги на рабочей иоверхности катода, процесс осуществляют в пульсирующем магнитном поле, величина которого минимальна в момент нахождения катодного пятна на рабочей иоверхности катода и максимальна в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности катода.