ТЕРМИЧЕСКИЙ ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1972 года по МПК C23C14/26 

Изобретение относится к области нанесения :пок1рыт.ий ,в вакууме.

Известен термический испаритель дл-я ва.куумных установок, содержащий графитовый тигель, нагреватель и радиацион«ый э;кра;н. Одиако в таком испарителе и-опаряемые металлы не смачивают поверхность тиглей, вследствие чего скорость «апарелия металла недостатомна.

Цель изобретения - увеличение скорости напыления материала и .надежн-остд работы. Это достигается тем, что щутри тигля расположен стакан из смачивающегося раоплавом тугоплавко го материала.

На чертежа представлен испаритель, |0|5щий

1ВИ|Д.

Испаритель состоит из графитового тигля 1, внутри которого расположен стакав 2 из смачивающегося расплавом тугоплавколо. материала, например молибдена, нагревателя 3 и радиациониого экрана 4.

В стакан 2 загружают навеоку испаряемого металла. После достижения рабочего вакуума на и,спа|рите,ль подают напряжение и постепенно увеличивают так нагревателя 3,

при этом происходит разогрев графитового тигля, стакана и навестаи. По достижении необходи,мой температуры навеска металла несколько меньшая по объему, чем стакан,

расплавляется, смачивает всю поверхность стакана и начинает испаряться. Расплав не смачивает графитовые стенки, в результате челО не выходит за пределы тигля, что о беспечивает стабильную работу испарителя.

Скорость испарения зависит от установившейся в тигле температуры перегрева расплава и может регулироваться изменением тока нагревателя.

15

Предмет изобретения

Термический испаритель для еакууМных установок, содержаш;ий графитовый тигель,

нагреватель и радиацион1ный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости напыления и надежности работы, внутри тигля расположен стакан, выполненный из смачивающегося расплавом тугоплавкого материала.