Устройство для ориентации Советский патент 1974 года по МПК H01L7/68 

1

Изобретение относится к промышленному производству полупроводниковых приборов и может быть использовано для ориентации пластин на операции совмещения ее с фотошаблоном в процессе фотолитографии.

Известна проекционная установка совмеш,ения и экспонирования, которая включает в себя узел ориентации полупроводниковых пластин по фаске, определяющей положение кристаллографических плоскостей. Этот узел содержит стол, на котором размешен корпус с двумя рабочими рычагами, приводимыми в возвратно-поступательное движение стержнем. При этом один из рычагов имеет базовую и ориентирующую плоскости, расположенные под углом одна к другой, а другой рычаг - одну ориентирующую плоскость, направленную в сторону угла первого рычага. Пластину фаской устанавливают против базовой плоскости рычага и с помощью стержня, сообщающего перемещение рычагам, ее выравнивают. Однако этот узел позволяет ориентировать пластины только вручную и поштучно. Процесс загрузки требует внимательного отношения оператора, так как необходима точная предварительная установка фаски пластин относительно базовой плоскости рычага. Сами же пластины в момент загрузки или разгрузки могут быть подвергнуты повреждению (сколы, царапины и т. п.). В результате этого узел характеризуется малой производительностью и его невозможно применять на установках для комплексной обработки пластин.

Цель изобретения - автоматизация процесса ориентации и повышение его качества. Это достигается тем, что ориентирующие рычаги выполнены каждый из двух шарнирно соединенных на концах и связанных пружинами

звеньев, причем ось вращения одного из звеньев установлена на регулируемой направляющей, а конец другого звена контактирует с управляющим кулачком. На чертеже схематически показано описываемое устройство, план.

Оно содержит плиту 1, на которой укреплена направляющая 2. В направляющей 2 размещен базовый упор 3, который поджат через ролик 4 к профильному кулачку 5 двумя пружинами 6. На плите 1 укреплены две направляющие 7, в которых размещены планки 8. Последние могут перемещаться от регулировочных винтов 9, что необходимо для работы с пластинами различного диаметра. На осях

10, размещенных на планках 8, укреплены рычаги 11, на которых расположены оси 12, упорные штифты 13 и ролики 14. На осях 12 установлены короткие по отношению к рычагам 11 рычаги 15 с роликами 16. Рычаги 11 и

15 соединены между собой пружинами 17.

Ролики 16 поджаты к кулачку 18 пружинами 19.

Пластины 20, расположенные в гнездах дискообразной кассеты (на чертеже не показана), поочередно поступают на позицию ориентации их по фаскам, определяющим положение кристаллографических плоскостей, относительно базовой плоскости упора, скоординированной с фотошаблоном.

В исходном положении угол наклона фаски к базовой плоскости упора 3 может быть в пределах 15° в ту или другую сторону. Так как установка совмещения работает в автоматическом цикле, то во время выстоя пластины на позиции ориентации включается привод кулачков 5 и 18. От кулачка 5 через ролик 4 базовый упор 3 перемещается в направлении пластины 20 и останавливается в заданном положении. Затем от кулачка 18 через ролики 16, рычаги 15 и пружины 19 рычагам 11 сообщается по одному колебательному движению, которые происходят последовательно одно за другим. Сначала приводится в движение правый (левый) рычаг 11, который, поджимая плоскость фаски пластины

20 к базовой плоскости упора 3, предварительно выравнивает ее, а затем то же самое происходит с левым (правым) рычагом 11, но в этом случае ориентирование будет точным. После этого оба рычага 11 работают в одном цикле, плотно поджимая пластину 20 к базовому упору 3 и надежно фиксируя ее. Затем рычаги 11 и базовый упор 3 одновремгняо |асхолятся. ипивпг кулачков 5 Р 18 отключается и пластина 20 поступает на следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Устройство для ориентации полупроводниковых пластин, содержащее корпус, ориентирующие рычаги, подводимый упор и управляющие кулачки, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса ориентации и повышения его качества, ориентирующие рычаги -выполнены каждый из двух шарнирно соединенных на концах и связанных пружинами звеньев, причем ось вращения одного из звеньев размещена на регулируемой направляющей, а конец другого звена контактирует с управляющим кулачком.