Диэлектрический состав для межслойной изоляции Советский патент 1977 года по МПК H01B3/08 

1

Изобретение касается диэлектрического сотава для межслойиой изоляции и может ыть исиользовано при изготовлении толстоленочных больших гибридных интегральных хем.

Известен диэлектрический состав для межлойной изоляции, включающий стеклоцемент ледующего соетава, вес. %:

20-38

Si02 2-20

ТЮг 0-15 PbFs 0-5 WOs 21-42 PbO 4-12 BaO 0-5 SrO 0-5 CdO 1-25 АЬОз 0-20 ZnO 0-5 Zr02 0-5 Sn02 0-5 Ta205 0-5. SbzOz затем добавляют инертК стеклоцементу

ную связку, содержащую 8% этилцеллюлозы и 92% р-терпеиового масла 1.

Недостатком данного состава является то, что сопротивление изоляции такого стеклоцемента в составе конденсатора и термостойкость пленок на основе такого стеклоцемента недостаточна.

Известен также стеклокристаллический состав 2 для изоляции интегральных схем, содержащий РЬО, ZnO, Si02, Ti02, в следующем соотношении, вес. %: РЬО35-50

Si0225-40

ZnO15-25

TiOa3-5

Термостойкость такого состава недостаточна, а растекаемость паст, приготовленных на его основе, превышает норму.

Прототипом изобретения является диэлектрический состав 3 для мех :слойной изоляции, включающий 50-95 вес. % ситаллоцемента и 5-50 вес. % окиси алюминия.

Недостатком этого диэлектрического состава являются неудовлетворительиые электрофизические свойства изготавляемых на его основе паст.

Целью изобретения является улучшение электрофизических свойств диэлектрического состава для межслойной изоляции.

Поставленная цель достигается тем, что известный диэлектрический состав содержит в качестве наполнителя окись кремния, окись марганца и окись хрома при следующем соотношении компонентов, вес. %:

Окись алюминия16-24

Окись кремния0,05-0,3

Окись марганца0,03-0,2