Устройство для литья пленки Советский патент 1979 года по МПК B05C5/02 

1

Изобретение относится к конструкции устройств, применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.

Известно устройство для литья пленки, содержащее стол для технологической подлол ки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха 1.

Такое техническое решение лишь частично устраняет неравномерность расхода пасты. Однако при изготовлении пленок, используемых в радиоэлектронике, даже незначительное отклонение толш,ины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в воронке, нежелательно.

Известно также устройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся технологической подложкой литейную воронку, соединенную с пневмосистемой вытеснения пасты из воронки, снабженной нодводящим трубопроводом, трубопроводом отбора воздуха от воронки и измерительным соплом, размещенным над технологической подложкой 2.

2

Такое устройство является наиболее близким к изобретению но технической сущности и достигаемому результату.

Недостатком его является то, что при стабильном расходе пасты равномерность толщины пленки достигается не всегда. Нанример, при изменении толщины технологической подложки равномерность расхода пасты нриведет к обратному результату - отклонению толщииы пленки от заданной велнчнны.

Целью изобретения является повышенне стабильности толщины пленки.

Указанная цель достигается тем, что измерительное сопло установлено на выходном конце трубопровода отбора воздуха перед литейной воронкой по ходу движения технологической подложки.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство для литья пленки еодерлгит установленную над движущейся технологической подложкой 1 литейную воронку 2, соединенную с пневмоснстемой вытеснения из нее пасты, снабженной подводящим трубопроводом 3, трубопроводом 4 отбора воздуха от воронки 2 и измерительным соплом 5, размещенным над технологической подложкой 1.

Измерительное сопло 5 установлено на выходном конце трубопровода 4 отбора воздуха перед литейной воронкой 2 по ходу двв/кения технологической подлолски 1.

Устройство также содержит стол 6 под технологическую подложку 1 и механизм ее протягивания, содержащий барабаны 7 и 8.

В литейной воронке выполнена щель 9, а на входе в подводящий трубопровод установлен дроссель 10.

Устройство для литья пленки работает следующим образом.

Воронку 2 заполняют пастой и подают воздух из ппевмосистемы под давлением, превышающим гидростатическое давлепие пасты в воронке 2. Под суммарным давлением (гидростатическое плюс воздушное) паста через щель 9 поступает па движущуюся технологическую подложку 1. При изменении толщины подложки 1 изменяется величина зазора между соплом 5 и поверхностью нодложки, в результате чего изменяется количество воздуха, проходящее через трубопровод 4 отбора воздуха. Соответственно изменяется давление в воронке 2 и расход пасты, от которого зависит толщина наносимого слоя.

10

Использование предлагаемого изобретения позволяет получить высококачественную металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. п.

Формула изобретения

Устройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся технологической подложкой литейную воронку, соединенную с пневмосистемой вытеснения пасты из воронки, снабженной нодводящим трубопроводом, трубоироводом отбора воздуха от воронки и измерительным соплом,

размещенным над технологической подложкой, отличающееся тем, что, с целью повышения стабильности толщины пленки, измерительное сопло установлено на выходном конце трубопровода отбора

воздуха перед литейной воронкой по ходу движения технологической подложки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 2974364, кл. 18-15, опублпк. 1965.

2.Заявка Л 2451136/23-05, кл. В 05С 5/02, 1977, по которой припято решение о В1)1даче авторского свидетельства.