Устройство для литья пленки Советский патент 1978 года по МПК B05C5/02 B29D7/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к котструкции устройств для изготовления применяемых в электронных приборах эмис сионных, металлизационных, изоляционных и т.п. пленочньис покрытий и может быть использсжано в радиоэлектронной промьплленности. Известно устройство для изготовления пленочных покрытий, содержащее воронку для жидкой пасты или расплава, уста новленную над подвижной технологической подложкой, на которую через щель в воронке поступает паста til . Недостатком данного устройства явля то, что оно не обеспечивает стабил ности размеров (толШины) получаемой пленки. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому ре зультату является устройство для литья пленки, содержащее герметичную литьевую воронку, сообщающуюся с емкостью для жидкости и пневмосистему для вытес нения последней из воронки 2. Однако списанное вьшолнение устройства для литья пленки не обеспечивает непрерывности процесса литья, так как требует периодическсЛ зарядки резервуара литейной жидкостью. Подключение к резервуару системы непрерывной подачи жидкости невозможно из-за прсжсход$пцей в этом случае разгерметизации устрсйства. Целью изобретения является обеспечение непрерывности прсщесса литья. Цель достигается тем, что пневмосистема соединена непосредственно с воронксЛ, причем между литьевой ворсжкой и емкостью для жидкости смонтирован затвор-дозатсф. Затвор-дозатор может быть выполнен в виде крыльчатки или в виде двухстороннего перистальтическшО насоса, выполненного в виде связывающих резервуар с воронкой отводящего и подводящего эластичных трубопроводов, между которыми размешен ротор, несущий на радиальных пальцах Н 1жимные ролики, причем выходной конец отводящего трубопровода расположен над верхним уровнем идкости резервуара. На фиг. 1 изображено устройство с затвором-дозатором, выполненным в виде крыльчатки; па фиг. 2 затвор-дозатор, выпал 0иный в виде двухстороииего пернстальтяческого насоса. Устройство для литья пленки содержит стол 1 и приводной механизм 2 технологической подложки 3. Над столом 1 уста новлено литейное приспособление, имеющее корпус 4, разделенный массивной сте кой 5 на герметичную литьевую воронку 6 имеющую щель 7, и резервуар 8 для жид кой пасты. Резервуар 8 сообщается с воронкой б через выполненное в стенке 5 отверстие 9. К воронке 6 через патрубок 1О подве де}ш пневмосистема (на чертеже не пока зана), а к резервуару 8 подведена система подпитки 11. В отверстие 9 встроен роторный зат вор-дозатор, выполненный в виде крыльчатки 12 (см, фиг. 1), При этом рас стошше между лопастями 13 крьшьчатки меньше толщины стенки 5, что обеспечивает герметизаш1Ю воронки. Работает предлагаемое устройство следующим образом. Наполняют резервуар 8 через систему подпитки 11 жидкостью, которую с помощью лопастей 13 крыльчатки 12 через отверстия в стенке 5 подают .в воронку 6- Одновременно в воронку 6 чере патрубок 10 подают воздух из пневмосис темы. Под суммаршым (гидростатическое воздушное) давлетшем вытеснения жидкость через щель 7 корпуса 4 подают на движущуюся от привода 2 по столу 1 тех нологическую подложку 3, получая, таким образом, пленку. Давление вытеснения .является относительно постоянным, так как с помощью крыльчатки поддерживают постоян1Пз1й уровень жидкоста в воронке, осуществляя непрерывную подпитку и одновременно отбор лопастями крыльчатки излишков жидкости в BopoiBce. То есть, оба компонента (гидростатический и воздуишый) суммарного давления вытеснения литейной жидкости являются постоянными, что обеспечивает равномерное поступление литейной жидкости на подложку и стабильность толщины получаемой плен ки. Затвор-дозатор может быть выполнен в виде двухстороннего перистальтического насоса (см. фиг. 2), содержащего ротор 12, несущий на радиальных пальца 13 нажимные ролики 14, для которых MOM, и размещенный между подводящим 15и отводящим 16 эластичными трубо проводами, соединенными с резервуаром 8. При этом выходной конец отводящего трубопровода расп оложен над верхним уровнем жидкости резервуара 8. Работает устройство следующим об-, разом. Резервуар 8 наполняют жидкостью, которую с помощью подвод5пцего трубопровода 15 и нажимных роликов 14, приводимых во вращение ротором 12, подают непрерывно в воронку 6. Одновременно в воронку подают воздух из пневмосистемы и через отводящий трубопровод 16осуществляют отбор излишков жидкости из воронки 6. Под суммарным (гидростатическое+воздушное) давлением вытеснения жидкость из воронки поступает на движущуюся по столу 1 технологическую подложку 3 и образует пленку. Давление вытеснения является относительно постоянным, так как с помощью двухстороннего перистальтического насоса поддерживают постоянный уровень жидкости в воршосе. То есть, оба компонента (гидростатический и воздушный) суммарного давления вытеснения жидкос-га являются постоянными, что обеспечивает равномерное поступление жидкости на подложку и стабильность толщины получаемой пленки. Использование описанного устройства позволяет автоматизировать процесс изготовления высококачестве1шой метешлоорганической пленки, применяемой в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. п. Формула изобретения 1.Устройство для литья пленки, содержащее герметичную литьевую воронку, сообщающ юся с емкостью для жидкости и пневмосистему для вытеснения последней из воронки, отличающееся тем, что, с далью обеспечения непрерывности процесса литья, пневмосистема соединена непосредственно с воронкой, причем между литьевой воронкой и емкостью для жидкости смонтирс®ан затвор-дозатор. 2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что затвор-дозатор выполнен в виде крьшьчатки. 3.Устройство по п. 1, о т л и ч а е е с я тем, что затвор-дозатор вьшол-. пен в виде двухстороннего перистальти4. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что перистальтический насос вьтолнен в виде связывающих резурвуар с воронкой отводящего и подводящего эластичных трубопроводов, между которыми размещен ротор, несущий на радиальных пальцах нажимные ролики, 5. Устройство по пп. Зи4, отличающееся тем, что выходной конец отвод51щего трубопровода расположен над верхним уровнем жидкости резервуара.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

№ 451537, кл. В29 D 7УО8, 1975.

W

Г}

fO

Г5 V 7

иг. Z