Способ изготовления литого микропровода в сплошной стеклянной изоляции Советский патент 1978 года по МПК H01B13/16 

стержня. На поверхность алюминиевого прутка диаметром 3,8 мм (марка алюминия А 999) нитрид бора наносят с помощью ватного тампона. После нанесения нитрида бора стеклянную трубку заваривают с одного конца, в нее помещают пруток. Трубку присоединяют к вакуумной откачной системе и откачивают до давления около мм рт. ст. С помощью подающего устройства трубку с прутком перемещают в зону индикатора и при непрерывной откачке алюминиевый пруток прогревают до 450-500°С в течение 15-20 мин для прокаливания нитрида бора. Затем систему вакуумной откачки нерекрывают и в трубку напускают очищенный аргон. Далее с помощью индуктора расплавляют алюминий и вытягивают микропроволоку в стеклооболочке по известному способу.

При скорости подачи стекла около 10 мм/мин и скорости вращения приемного барабана около 200 м/мин получается микропроволока из алюминиевой диаметром 30 мкм с толщиной стеклоизоляции 3-4 мкм.

Опробование новых микропроводов в стеклоизоляции из алюминия в производстве больщих интегральных схем (БИС) со сложной внутренней коммутацией показало значительную эффективность за счет сокращения выхода приборов из строя по замыканию. А некоторые тины новых приборов

вообще не могут быть созданы без применения указанных микропроводов.

Формула изобретения

Способ изготовления литого микропровода в сплощной стеклянной изоляции, включающий вакуумирование внутренней полости стеклянной трубки с заготовкой металла с последующим заполнением ее инертным газом и вытяжку капилляра, заполненного жидким металлом, отличающийся тем, что, с целью обеспечения защиты металлического расплава от взаимодействия с компонентами стекла при изготовлении микропроводов из алюминия и его сплавов, заготовку металла и внутреннюю поверхность стеклянной трубки покрывают порощком нитрида бора, затем стеклянную трубку с помещенной в нее заготовкой металла прокаливают в вакууме при 450-500° в течение 15-20 мин, после чего занолняют ее инертным газом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 139356, кл. 21 с 54/01, 25.10.60.

2.Авторское свидетельство СССР № 277901, кл. П 01 В 13/16, 02.06.66.

3.Авторское свидетельство СССР NS 23794, кл. 21 с 7/01, 10.09.64.

4.Патент Японии № 11060, кл. 60В 14, 29.06.64.