Устройство для присоединения перемычек Советский патент 1980 года по МПК H01L21/66 

Изобретение относится к области полупроводникового производства и предназначено для присоединения выводов посредством проволочной перемычки, путем ультразвуковой сварки, в частности,на лентообразной подложке с элементами интегральных схем. Известно устройство для присоединения выводов посредством проволочной перемычки на лентообразной подложке с закрепленными на ней гребенчатыми структурами миниатюрных транзисторов, дугообразная форма проволочных перемычек которых образуется путем воздействия на проволоку после первого контактирования, вьщвигающей ся упругой лентой-подложкой Щ. Недостатком известного устройства является невозможность формирования перемычек между точками контактирова ния, расположенных на различных расстояниях дру от друга. Наиболее близким по технической сущности является устройство для при соединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем, содержа щее шарнирно закрепленный на одном плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко со единенными с ним концентратором, мнс трументом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угло- , вой рычаги кинематически связаны с распределительным кулачковым механизмом 2 . Недостатком устройства является невозможность изготовления проволочной перемычки с заданной высотой дуги.и обработки длинной лентообразной подггожки с эдементами интегральных схем.. Целью изобретения является повы1иение надежности и расширение функциональных возможностей. Поставленная цель достигается тем, что устройство для присоединения перемычек к внутренним элемента интегральньлс схем, содержащее шарнирно закрепленный на одном плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко соединенными с ним концентратором, инструментом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угловой рычаги кинематически связаны с распределительным ку лачковым механизмом, дополнительно снабжено удлинителем, жестко закрепленным на генераторе ультразвуковых колебаний, коромыслом, на конце которого закреплен штифт, расположенный

под удлинителем, Т-образным рычагом с двумя осями, на одной из которых подвижно закреплены коромысло и двуплечий рычаг, а на другой угловые рычаги, подвружиненные к регулирово ным упорам.

На фиг.1 показан вид сбоку устройства для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем; на фиг.2 - вид сверху устройства.

Устройство для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем содержит генератор ультразвуковых колебаний 1 с жестко соединенным с ним концентратором 2 и инструментом (зондом) ультразвуковой сварки 3, шарнирно закрепленном посредством оси 4 на одном плече двуплечего рычага 5, имеющего возможность покачивания на оси б, другой конец которого посредством ролика 7 опирается на дисковый кулачок 8 распределительного кулачкового механизма 9, На генераторе ультразвуковых колебаний 1 жестко закреплен удлинитель 10, а на оси б с возможностью покачивания закреплено коромысло 11, на одном конце которого закреплен штифт 12, имеющий возможность механического контакта с нижней кромкой удлинителя 10, а на другом ролик 13, опирающийся на второй кулачок 14.

Ось б закреплена в Т-образном рычаге 15, который совместно с угловыми рычагами 16 и 17 независимоможет покачиваться относительно неподвижной оси 18, закрепленной в неподвижном кронштейне 19, содержащем выполненный в виде регулировочного винта упор 20, к.которому подпружинен пружиной 21 упорный выступ 22 Т-образного рычага 15.

Угловые рычаги 16 и 17 снабжены соответственно регулировочными винтами-упорами 23,24 и роликами 25,26, опирающимися на профили дисковых кулачков 27 и 28 кулачкового распределительного механизма 9 (на фиг.2 показан условно). Питающий барабан 29 с проволокой 30 для подачи ее в зону контактирования закреплен на генераторе ультразвуковых колебаний.

Принцип работы устройства для присоединения перемычек к внутренним элементам интегральных схем заключается в следующем.

Инструмент ультразвуковой сварки 3 устанэ.вливают посредством винтаупора 0 над первой точкой контактирования таким образом, чтобы горизонталь Х-Х J касательная к точке сварки, вертикаль У-У, проходящая через ось Кулачкового распределительного механизма и ось опорных роликов 7,13,25,26 (на фиг.2 оси роликов условно смещены) и линия А-А проходящая через подвижную ось 6 и неподвижную ось 18, пересекались в одной точке О. После предварительной настройки устройства с помощью винтов-упоров 23 и 24 задают промежуточную высоту подъема инструмента 3 для обеспечения заданной длины и высоты дуги перемычки и высоту положения инструмента над второй точкой контактирования.

Благодаря возможности регулирования промежуточной высоты подъема инструмента ультразвуковой сварки имеется возможность получения перемычек заданной длины и высоты при различном пространственном расположении точек контактирования в плоскости сварки.

Формула изобретения

Устройство для присоединения перемычек преимущественно к внутренним элементам интегральных схем, содержащее шарнирно закрепленный на одном плече двуплечего рычага генератор ультразвуковых колебаний с жестко соединенными с ним концентратором, инструментом ультразвуковой сварки и угловым рычагом, а двуплечий и угловой рычаги кинематически связаны с распределительным кулачковым механизмом, отлич ающеес я тем, что, с целью повышения надежности и расширения функциональных возможностей, оно снабжено удлинителем, жестко закрепленным на генераторе ультразвуковых колебаний, коромыслом, на конце которого закреплен штифт, расположенный под удлинителем, Т-образным рычагом с двумя осями, на одной из которых подвижно закреплены ко-, ромысло и двуплечий рычаг, а на.другой - угловые рычаги, подпружиненные к регулируемым упорам.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ГДР № 61059, кл. 21 G 11/02, 1965.

2.Патент США № 3305157, кл. 228-1, 1966. . 3025 td 1122 15

г ,0 Т Г/ / 2й П

17 иг.г 25 f П 28 27 26 Т 8 9