Способ изготовления пленочных прецизионных резисторов Советский патент 1984 года по МПК H01C17/00 

м

IsD

Изобретение относится к электрон НОЙ технике и может быть испольэова но в технологии изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов ,

Известен способ изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов, включающий нанесение резйстивной пленки на керамическое основание и термообработку ее при 900-1100 с в течение 30-60 мин 1 .

Недостатки известного способа низкая производительность и невоспроизводимость электрического сопротивления R) и температурного коэффициента сопротивления (ТКС).

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ изготовления постоянных пленочных прецизионных резисторов, включакйдий нанесение резйстивной пленки на керамическое основание и термообработку ее ИК нагревом в потоке инертного газа в течение 30-90 мин

Недостатки известного способа заключаю ся в низкой производительности и невоспроизводимости электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления.

Цель изобретения - обеспечение стабильности электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления и повышение производительности.

Поставленная цель достигается тем что согласно способу изготовления пленочных прецизионных резисторов, включающему нанесение резйстивной пленки на керамическое основание и термообработку ее ИК нагревом в потоке инертного газа, термообработку проводят в интервале температур 370-670°С при расходе инертного газа 20-150 л/ч с изотермической выдержкой в течение 15-30 мин.

Прим е р. Для изготовления резисторов типа С2-29В мощностью 0,5 Вт на керамические основания наносят резистивную .пленку и подвергают ее термообработке на установке Изотерм в среде аргона. После термообработки полученные заготовки резисторов армируют и проводят измерения электрического сопротивления и температурного коэффициента сопрот тивления.

Данные о режиме термооб|работки и параметрах резисторов приведены в таблице.

350

90 600

90 15 20 30

370

15 20 30 15 20 30 15 20 30

370

370

450

5 60

8 8

21

Изобретение позволяет обеспечить воспроизводимость электрического сопротивления и температурного коэффициента сопротивления и повысить производительность процесса. .