Устройство подготовки данных для машин управления процессами электронно-лучевой микрообработки Советский патент 1985 года по МПК G05B19/02 G06F17/00 

вого коммутатора, выходы разрядов шестого регистра подключены к первым входам элементов И третьей группы, выходы разрядов седьмого регистра подключены к первым входам элементов И четвертой и пятой групп, выходы разрядов восьмого регистра соединены с первыми входами элементов И шестой и седьмой групп, выходы элементов И третьей и шестой групп соединены соответственно с первыми и вторыми входами элементов ИЛИ третьей группы выходы которых являются информационными выходами блока, информационные входы шестого ii седьмого регистров, вторые входы элементов ИЛИ первой и второй групп, первые входы элементов ИЛИ четвертой и пятой групп и установочный вход счетчика соединены соответственно с информационными вьгходалт третьего коммутатора информационный вход которого является информационным входом блока, выходы элементов И пятой и седьмой групп соединены соответственно с вторыми и третьими входами элементов ИЛИ пятой группы, выходы которых подключены к информационному входу девятого регистра, выходы элементов И четвертой группы соединены с вторыми входами элементов ИЛИ четвертой группы, выходы которых соединены с информационные входом восьмого регистра, вторые входы элементов И первой, второй, третьей, четвертой, пятой, шестой и седьмой групп, вычитающий вход счетчика, разрешающие входы первого, второго и третьего коммутаторов, вход пуска операций узла выполнения операций сложения, вычитания, умножения и сравнения подключены к входу управления операциями блока.

УСТРОЙСТВО ПОДГОТОВКИ ДАННЫХ ДЛЯ МАШИН УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ МИКРООБРАБОТКИ, содержащее блок ввода информации, сое диненный двусторонними связями с блоком микропрограммного управления, информационные выходы блока ввода информации подключены соответственно к информационным входам блока памяти, адресный и управляющие входы памяти соединены соответственно с адресным выходом и управляющим выходом разрешения записи считывания блока микропрограммного управления, от л и чающееся тем, что, с целью повьшения достоверности и экономии объема памяти путем устранения избыточности входной информации, в него введен блок определения блокировки сечения топологической фигуры, информационные вход и выход которого соединены соответственно с выходом и входом данных блока памяти, вход управления операциями подключен к выходу задания операций блока микропрограммного управления, входы которого соединены соответственно с выходом результата сравнения и с выходами конца цикла работы блока определения блокировки сечения топологической фигуры, причем блок определения блокировки сечения топологической фигуры содержит коммутаторы, группы элементов И, группы элементов ИЛИ, регистры, дешифратор нуля, узел выполнения операций сложения, вычитания, умножения и сравне.ния и счетчик, выходы разрядов которого соединены соответственно с входами дешифратора нуля, выход которого является выходом конца цикла работы блока, информационные выходы первого коммутатора соединены соответственно с первыми входами элементов И первой (Л и второй групп, выходы которых соединены соответственно с информационными входами первого и второго регистров, выходы разрядов которых соединены соответственно с первым и вторым информационными входами узла выполнения операций сложения, вычитания, умножения и деления, первый выход :п результата которого является выходом результата сравнения блока, второй ND выход результата соединен с информа:л ционньм входом второго коммутатора, выходы которого соединены соответственно с информационным входом третьего регистра, с первыми входами элементов ИЛИ первой и второй групп, выходы которых подключены соответственно к информационным входам четвертого и пятого регистров, выходы разрядов третьего, четвертого, пятого, шестого, седьмого, восьмого и девятого регистров соединены соответственно с информационными входами пер

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в цифровых машинах для управления процессами электронно-лучевой микрообработки при автоматизированном производстве защитных масок и фотошаблонов интегральных микросхем на основе электронолитрграфических Процессов. Известна цифровая машина, содержащая устройство управления, блок трансмиттера, запоминающее устройств блок выбора операций, блок управления координатным столом, блок совмещения осей координат, цифроаналоговы блок, коммутатор, измерительный преобразователь и схему сравнения. С помощью такой машины осуществляетс управление электронио-лучевой устано кой в части программного перемещения луча по подложке с целью создания на ее поверхности топологической мнкроструктуры интегральной схемы с задан ными значениями технологических режимов облучения. Исходники данкюш для этой масшны при воспроизведении топологического рисунка микрострукту ры являются координаты опорных точек каждой из элементарных базовых фигур составляющих рисунок, признаки вида фигуры и расположения ее относительно осей координат и некоторые другие служебные признаки DJ Рисунок современной топологии интегральной схемы содержит С8ьш1е 10 элементарных фигур, в связи с чем необходимо вводить большой объем входной информации, что увеличивает количество ошибок оператора при вводе информации в машину, предъявляет высокие требования к объему памяти управляющей ЭВМ. Кроме того, это приводит к увеличению времени работы сравнительно медленнодействующих и малонадежных внешних устройств, что отрицательно сказываете на производительности процесса в целом. Поэтому одной из важных особенностей специализированных средств, предназначенных для управления электронолитографически {И процессами, является необходимость применения в них входного языка высокого уровия, что облегчает программирование технологических задач, повышает информативную плотность программ, а также упрощает общение не Имеющих специгшьной математической подготовки технологов с управляющей

машиной. Такие машины не могут оперировать со входным языком требуемого высокого уровня.

Для облегчения процесса программирования изготавливаемых структур используют алгоритмический язык более высокого уровня, ставя между технологом и управляющей машиной систему подготовки данных на универсальной ЭВМ из числа аналогов приведенной.

Известна также цифровая машина, содержащая, кроме составных частей, указанных для предыдущей машины, также блок анализа поворотов изображНИИ р .

В этой машине реализуется язык высокого уровня, позволяющий значительно упростить процесс программирования и сократить количество вводимой информации, особенно для схем с периодической регулярной структурой.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство подготовки управляющей информации, входящее в цифровую машину которое содержит блок трансмиттера, запоминающее устройство, блок управления, блок определения угловых координат фрагментов топологической структуры, подключенные к кодовой шине и шинам управляющих сигналов, блок определения координат опорных точек и вида базовьпс фигур,подключенный к кодовой шине, выходу блока определения координат фрагментов топологической структуры и к входу блока управления З .

В машине предусмотрен режим ввода описания сложных топологических фигур в виде координат точек изломов контура, образующего топологическую фигуру. В силу заложенного в структуру машины алгоритма для осуществления процесса разбиения сложной топологической фигуры на базовые фигуры необходимо при описании фигуры задавать точки, нарушающие выпуклость фигуры в направлении убьшания ординаты. Эти точки являются вершинами угла, стороны которого блокируют проведение горизонтальных секущих линий через угловые точки контура топологической фигуры, препятствуя тем самым получению достоверных координат отсекаемых элементарных фигур. Необходимость фиксирования точек, нарушающих выпуклость топологической

фигуры, приводит к невозможности использования выходной информации сиетемы автоматизированного проектирования топологии в качестве входной информации цифровой управляющей машины, так как конечным продуктом системы автоматизированного проектирования топологии является геометрическое описание контуров фигур отдельных шаблонов. Таким образом, необходимо создавать систему программ преобразования выходной информации системы автоматизированного проектирования топологии интегральных схем во входную информацию цифровой машины. Но такая возможность не, всегда имеется, кроме того, для этого необходимо привлекать высококвалифицированных математиков и, наконец, непременным условием является наличие универсальной ЭВМ. Это приводит к удлинению цикла проектирования - изготовления БИС и к увеличению их стоимости.

Целью изобретения является повышение достоверности и экономии объема памяти путем устранения избыточ(Ности входной информации.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство подготовки данных для машин управления процессами электронно-лучевой микрообработки, содержащее блок ввода информации, соединенный двусторонними связями с блоком микропрограммного управления, информационные выходы блока ввода информации подключены соответственно к информационным входам блока памяти, адресный и управляющий входы блока памяти соединены соответственно с адресным выходом и управляющим выходом разрешения записи считывания блока микропрограммного управления, введен блок определения блокировки сечения топологической фигуры, информационные вход и выход которого соединены соответственно с выходом и с входом данных блока памяти, вход управления операциями подключен к выходу задания операций блока микропрограммного управления, входы которого соединены соответственно с выходом результата сравнения и с выходами конца цикла работы блока определения блокировки сечения топологической фигуры, причем блок определения блокировки сечения топологической гуры содержит коммутаторы, группы элементов И, группы элементов ИЛИ, регистры, дешифратор нуля, узел выполнения операций сложения, вычитания, умножения и сравнения и счетчик, выходы разрядов которого соединены соответственно с входа ми дешифратора нуля, выход которого является выходом конца цикла работы блока, информащюнные выходы первого коммутатора соединены соответственно с первыми входами элементов И первой и второй групп, выходы которых соединены соответственно с информационными входами первого и второго регистров, выходы разрядов которых соединены соответственно с первым и вторым информационными входами узла выполнения операций сложения, вычитания, умножения и деления, первый выход результата которого является выходом результата сравнения блока, второй выход результата соединен с информационным входом второго коммутатора, выходы которого соединены соответственно с информационным входом третьего регистра, с первыми входами элементов ИЛИ первой и второй групп, выходы которого подключены соответственно к информационным входам четвертого и пятого регистров, выходы разрядов третьего, четвертого, пятого, шестого седьмого, восьмого и девятого регистров соединены соответственно с информационными входами первого коммутатора, выходы разрядов шестого регистра подключены к первым входам элементов И третьей группы, выходы разрядов (седьмого регистра подключены к первым входам элементов И четвертой и пятой групп, выходы раз|рядов восьмого регистра соединены с первыми входами элементов И шестой и седьмой групп, выходы элементов И третьей и шестой групп соединены соответственно с первыми и вторыми входами элементов ИЛИ третьей группы, выходы которых являются информационными выходами блока, информационные входы шестого и седьмого.регистров, вторые входы элементов ИЛИ первой и второй групп, первые входы элементов ИЛИ .четвертой и пятой групп и установочный вход счетчика соединены соответственно с информационными вь1ходами третьего коммутатора, информационный вход которого является информационньо г входом блока, выходы элементов И пятой и седьмой групп соединены соответственно с вторыми и третьими входами элементов ИЛИ пятой группы, вьг157 6 ходы которых подключены к информационному входу девятого регистра, выходы элементов И четвертой группы соединены с вторыми входами элементов ИЛИ Четвертой группы, выходы которых соединены с информационным входом восьмого регистра, вторые входы элементов И первой, второй, третьей, четвертой, пятой, шестой и седьмой групп, вычитающий вход счетчика, разрешающие входы первого, второго и третьего коммутаторов, вход пуска операций узла выполнения операций сложения, вычитания, умножения и сравнения подключены к входу управления операциями блока. На фиг. 1 приведена йтруктурная схема устройства; на фиг.2 - фрагмент топологической структуры; на фиг.З - структурная схема блока определения блокировки сечения топологической фигуры; на фиг. 4 - структурная схема блока микропрограммного управления; на фиг.З - схема коммутатора; на фиг.6 - схема распределителя импульсов; на фиг.7 - схема дешифратора .управления ветвлениями; на фиг.З - схема узла определения ветвлений; на фиг. 9 - примеры углов, стороны которых блокируют горизонтальную секущую; на фиг. 10 - блоксхема алгоритма определения блокировок сечения топологической фигуры; на фиг. 11-16 - алгоритм функционирования устройства. Устройство содержит блок 1 ввода информации, блок 2 памяти, блок 3 микропрограммного управления, блок 4 определения блокировки сечения топологической фигуры, коммутатор 5, группы элементов И 6-8 группы элементов ИЛИ 9-12, счетчик 13, регистры 14-19, дешифратор 20 нуля; коммутатор 21, группы элементов И 2225, группу элементов ИЛИ 26, регистры 27 и 28, узел 29 выполнения операций сложения, вычитания, умножения и сравнения, коммутатор 30, регистр 31, шины 32-47 связи, распределитель 48 импульсов, узел 49 определения ветвлений, регистр 50, счетчик 51, узел 52 постоянной памяти, регистр 53, дешифаторы 54-57, индикатор 58 состояния, шны 59-66 связи,элементы И 67-70, элеенты НЕ 71 и 72, шины 73-79 связи, лементы И 80-82, триггеры 83-85, элеенты И 86-89, шины. 90-100 связи, ешифраторы 101 и 102, группы элемен711104, элементы И-Ш1И 105тов НЕ 103 и 107, элемент ИЛИ-НЕ 108, шины 109143 связи, элементы И-НЕ 144-149; шины 150-154 связи. В качестве узла 29 может быть использована микросхема К155ИГ13. Микрокоманда содержит сорок двоичных разрядов. Сороковой разряд являет ся. контрольным по модулю 2. 39-й разряд является маркерным. Разряды 3138 содержат код микроопераций. Межрегистровые передачи ньделены в отдельную группу. Для осуществления передачи указывается номер регистра, откуда должна быть взята информация адрес числа, и номер регистра-приемника - адрес места. Для представления в микрокоманде адреса числа отводятся разрядь с 25-го по 30-и, адреса места - разряды с 19-го по 24-й. Переход от одной микрокоманды к другой в пределах поля микропрограммы осуществляется путем системы услов ных и безусловных переходов. Для принятия решения об очередности выполнения операций микропрограмма обращается к индикаторам состояния, которые представляют собой триггеры и комбинационные схемы, фиксирующие признаки сменяющих друг друга состояний, которые отражают промежуточные фазы работы процессора Для анализа переходов каждому условию ветвления микропрограммы приводится в соответствие семиразрядный код, которьй размещается в разрядах 11-18 микрокоманды. При равенстве дешифрованного значения кода ветвления и признака соответствующего индикагора состояния осуществляется условный переход по адресу, указанному в адресной части микрокоманды(разряды 1-10). До начала работы в блоке 2 памяти имеется описание топологической фигуры, представленное координатами угловых точек, задаваемых при обходе контура фигура по часовой стрелке. За начало обхода контура принимается точка с минимальной ординатой при минимальной абсциссе. Внутренние кон туры, образующие окна в теле фигуры, 41апример контур А,, Bj, В,, Г, (фиг.2 задаются отдельным; массивом; в исход ных данных имеется число,определя1свце € количество угловых точек контура фигуры, уменьшенное на 2 (N), 7 Перед проведением процесса разбиения фигуры на фрагменты и выделения из них базовых фигур осуществляется определение участков контура, блокирующих проведение горизонтальной секущей. Для этого из описания многоугольника определяются точки, являющиеся вершинами углов, стороны которых расположены в 1-й и 2-й четвертях координатной плоскости с центром системы координат в вершине угла (например, углы АБВ на фиг.9). Стороны этих углов блокируют проведение секущей. Автоматическое выявление вершин таких углов, блок-схема алгоритма которого приведена на фиг.10, производится определением точек контура многоугольника, ординаты которых меньше ординат соседних точек (например, точка Д на фиг.2). Это условие является обязательным, но не достаточным. Из фиг.2 видно, что точка И удовлетворяет этому условию, однако стороны ЗИ и ИК не блокируют проведение секущей. Для установления однозначности проверяется соотношение абсцисс выявленных точек и их соседних точек. В случае соотношений , Xg , х.., х. точка Б является Б А вершиной угла, стороны которого блокируют проведение секущей. При других соотношениях абсцисс это утверждение неверно. При соотношениях х..х или , для однозначного ответа необходи1-(о вычислить значение выражения У8- УД)ХВ+.(ХД- Хб)У8+ УдХр-ХдУд Отрицательное значение этого выражения указывает на принадлежность точки Б к вершинам углов, стороны которых блокируют проведение секущей-. Для выполнения этих процедур из блока 2 памяти под воздействием сигналов блока 3 микропрограммного управления, подаваемых на блок 2, на коммутатор 5 по шине 32 в регистр 14 через элементы ИЛИ 10 заносятся ординаты первой а в регистр 15 через элемент ИЛИ 10 второй точки описания контура (), а в счетчик 13 - число N, определяющее количество угловых точек контура обрабатываемой фигуры, уменьшенное на 2. На следующем этапе значения ординат с регистров 14 и 15 через коммутатор 21 и элементы И 24 и 25 под воздействием управляющих сигналов на шинах 38, 41 и 42 заносятся последовательно в регистры 27 и 28 соответственно По управляющему сигналу на шине 44 ,узел 29 сравнивает содержимое регистров 27 и 28. Результат сравнения передается из узла 29 по шине 45 в блок 3 управления. Если содержимое регистра 27 меньше или равно содержимому регистра 28, что соответствует состоянию y у,, регистр 14 очищает ся (шины установки операционных узлов в нулевое состояние на фиг.З не показаны), после чего в него под воз действием сигнала, подаваемого на шину 34, через элементы И 7 и ИЛИ 9 заносится содержимое регистра 15, После этого в регистр 15 из блока 2 памяти через коммутатор 5, элементы ИЛИ 10 заносится значение ординаты очередной в описании контура точки У-, Одновременно с этим содержимое счетчика 13 под воздействием сигнала подаваемого по шине 36, уменьшается на единицу. По заполнении регистра 15 содержимое регистров 14 и 15 аналогично описанному заносится в регистры 27 и 28 соответственно, после чего узел 29 производит сравнение содержимых этих регистров, выдавая результат операции сравнения в блок 3 микропрограммного управления. Если на этапе сравнения узел 29 выдает сигнал, соответствующий тому что содержимое регистра 27 больше содержимого регистра28 ( на следующем шаге из блока 2 памяти в регистр 16 заносится значение очередной в описании контура точки у,. Одновременно с этим содержимое счетчика 13 уменьшается «а единицу. По занесении информации в регистр 16 содержимое регистров 16 и 5 последовательно передается в регистры 28 и 27 соответственио, после чего узел 29 сравнивает содержимое этих регист рор. Если содержи:4ое регистра 27 болыне содержимого регистра ( у у ) регистр ТА очищается, и в него под воздействием сигнала на шине 4 через элементы и 7, ИЛИ 9 заносится содержимое регистра 15. В очищенный регистр 15 по сигналу на шине 35 через элементы И 8, ШШ 10 заносится содер жимое регистра 16, в регистр 16 из блока 2 - ордината очередной в описа нии контура точки. Одновременно с за 115 10 несением ординаты из блока 2 в регистр 16 содержимое счетчика уменьшается на единицу. По окончании операций заполнения регистров 14 - 16 повторяются операции повторения данных из регистров 15 и 16 в узел 29 и их сравнение в последнем. Если содержимые регистров 15 и 16 равны, регистр 16 очищается и в него заносится из блока 2 ордината следующей в описании контура точки, после чего повторяются операции передачи данньсс с регистров 16 и 15 в узел 29 и сравнение их в последнем. Если на этапе сравнения данных из регистров 15 и 16 содержимое регистра 16 больше содержимого регистра 15, при определении на предьщущих этапах работы блока 4 условия, при котором содержимое регистра 15 меньше содержимого регистра 14 ( ) в регистры 17-19 из блока 2 через коммутатор 5, элементы ИЛИ 11 и 12 заносятся абсциссы тех точек контура фигуры, ординаты которых хранятся в регистрах 14-16 соответственно. После этого блок 4 выявляет соотношение содержимых регистров 17 и 18, 18 и 19. При условиях: а) содержимое регистра 17 больше регистра 18, а содержимое регистра 18 больше или равно содержимому регистра 19; б) содерж1 1ое регистра 17 равно содержимому регистра 18, а содержимое регистра 18 больше содержимого регистра 19 - на очередном шаге работы блока 4 содержимое регистров 14, 15, 17- 19 стирается, а содержимое регистра 19 под воздействием управляющего сигнала на шине 33 через элемеиты И 6, ИЛИ 9 заносится в регистр 14, после чего в регистр 15 из блока 2 заносится очередная ордината и работа блока 4 повторяется. При условиях: а) содержимое регистра 17 равно содержимому регистра 18, а содержимое регистра 18 меньше содержимого регистра 19; б) содержимое регистра 17 меньше содержимого регистра t8, а содержю ое регистра 18меньше или равно содерзкимому регистра 19 - ордината с регистра 5 и абсцисса с регистра 18 через элементы И 22 и 23 ЮШ 26 под возей ствием управ лякищх сигналов на шинах 39 и 40 записываются последоII115вательно в блок 2 памяти в массив точек, блокирующих проведение секущей. После этого содержимое регистров 14, 15, 17 - .19 стирается, в регистр 14 заносится содержимое регистра 16, в регистр 15 заносится из блока 2 ордината очередной точки контура и работа блока 4 повторяется. Условие равенства содержимых регистров 17 - 19 фиксирует ошибку задания исходных данных. При условиях: а) содержимое регистра 17 больше содержимого регистра 18, а содержимое регистра 18 мень ше содержимого регистра 19; б) содержимое регистра 17 меньше содержимого регистра 18, а содержимое регистра 18 больше содержимого регистра 19 - производится вычисление выражения (Уу-У )Хб+(у, -у)х5. + (Уб-У5)х. Вычисленное выражение проверяется на знак. Если отрицательньм, точка контура, ордината и абсцисса которой хранятся в регистрах 15 и 18 соответственно, фиксируется как точка , блокирующая проведение горизонтальной секущей. В противоположном случае точка не фиксируется. Для проверки этого условия содержимое регистров 14 и 15 передается последовательно в регистры 28 и 27 соответственно, после чего по сигнал на шине 44 узел 29 вычисляет разницу содержимых регистров 28 и 27. Резуль тат вычитания с узла 29 через кокмут тор 30 под воздействием управляющего сигнала на шине 43 заносится в регистр 31. После этого coдepжи ыe регистров 19. и 31 последовательно заносятся в регистры 27 и 28 соответст венно. На следующем шаге узел 29 вычисляет произведение содержимых регистров 27 и 28. Результат произведе ния через коммутатор 30, элемент ИЛИ 12 заносится в регистр 19. Далее в регистры 27 и 28 заносит содержимое регистров 16 и 15 соответ ственно. По сигналу вычитания на шине 44 узел 29 вычисляет разность содержимых регистров 27 и 28. Результа этой операции через коммутатор 30 передается в регистр 31. После этого содержимое регистров 17 и 31 последовательно заносится в регистры 27 и 28, и по сигналу умножения узел 29 вычисляет произведение содержимых регистров 27 и 28. Результат произведения через коммутатор 30, элементы Ш1И 11 заносится в регистр 17. Далее в.такой же последовательности вычисляется разница содержимых регистров 14 и 16 и ее произведение с содержимым регистра 18. Результат произведения заносится в регистр 31. На следующих шагах работы блока 4 содержимые регистров 17 и 31 заносятся в регистры 27 и 28, после чего узел 29 по сигналу суммирования на шине 44 суммирует поступившие данные. Результат суммирования передается в регистр 31, после чего содержимое регистра 31 в узле 29 суммируется с содержимым регистра 19. Результат суммирования заносится в регистр 31. После этого содержимое регистра 31 передается в регистр 27, а регистр 28 устанавливается в нулевое состояние. По сигналу сравнения на щине 44 узел 29 сравнивает содержимое регистров 27 и 28 и вьщает результат сравнения по шине 45 в блок 3 микропрограммного управления. Если вычисленное значение меньше нуля, ордината с регистра 15 и абсцисса с регистра 18 через элементы И 22 и 23, ИЛИ 26 записываются последовательно в массив точек, блокирующих (Проведение секупщх блока 2 памяти. Концом работы блока 4 является установка счетчика 13 в нулевое состояние, что фиксируется дешифратором 20 и передается в блок 3 Микропрограммного управления по шине 37. Эффективность предлагаемого ..устройства по сравнению с иэвестным заключается в сокращении объема памяти, используемого для хранения исходных данных, а также в повышении достоверности входной информации путем устранения ее избыточности. Так, при вводе в устройство технологомоператором исходных данных чертежа топологии, описывающего фигуру, приведенную в примере, используется 22 ячейки памяти. Для этой же цели в известном устройстве используется 26 ячеек памяти. Таким образом, экономия памяти даже для такого простого примера составляет 4 ячейки памяти, что составляет более 15%. В реальных условиях подготовку входной информации известного устройства осуществляют на системах подготовки данных, построенных с использованием универсальных ЭВМ. Использование предлагаемого устройства

115А257

позволяет отказаться от таких дорогостоящих систем.

Фиг.1 5 Фи9.2

ФигЛ

15

7274

77

76

70

77

69

79

87

3ft

jy. ,,

«7

5

I

i i I gtf

/ri TTfТГГ

г, 1

J i 1 j i t

mm HI т т т

i

1

I

I

I

I

Sri I I I Iff I 1

i i 1 t 1 I

т mm ra т ггв

IfИ1 I л k

Ч / / iV - L Jfc

(

HatfuM

Найти тотууОрдташ которой менбше ординат соседних moven

Да

и .X -X 6 onucaHuL

Коней,

к он mi/pa

ffpooepumb соошошеииеХв Х,,

Проберить соотношение

Нет

ФиксириЬаш

коор&анйты

Выцислиипьбыражение,

A iys-ifAlXB i A-AB}

Нет

Передача 9аннь1я De&acmpatS 8 регистр 27

Передача данных регистра /6 8 peeucmpZB

Да

Сравнение дузле регистров 27и 2в

Нет

абсциссы точки, ордината которой о регистре /4

Передача данныж регистра (5 в регистру

Чтете 8 регистр 18 aScit,u€Cbt точка, ордимта ttomoifou 6

}f чистка регистра 15 feeucmpiiS

Lft . . Jw

т

Коней J

I

Z9 9t/H6/x

тисака регистра ft

fHtieva lOHiMx petacmpa fte

Очистка регистраП

Cvufwfawt йл 2 в регистр ffovefefма лрдимти

iuwtnemees cwofvioM l3e MlUAt{Nft-l)

Ж«М/УЛ