Электролит для осаждения ниобиевых покрытий Советский патент 1986 года по МПК C25D3/54 

со ее Изобретение относится к гальваностегии, в частности к электроосаждению ниобиевых покрытий и может быть использавано в электронной технике и приборостроении. Цепью изобретения является повышение выхода по току. Положительньм эффект достигается за счет введения в электролит в качестве источника ионов ниобия дицик лопентадиенилниобийдихлорида, а в качестве соли натрия и растворителя соответственно перхлората натрия и диметилформамида или емеси диметилформамида с метанолом.. Состав дициклопентадиенилниобийдихлорида может быть представлен следующей структурной формулой 5T-(C2H5)2NbCl2 Электролит готовят следующим об 72 Расчетное количество дициклопентадиенилниобийдихлорида растворяют в диметилформамиде или смеси диметилформамида с метанолом и добавляют перхлорат натрия. Процесс электроосаждения проводится при температуре 20 - 40 С и катодной плотности тока 0,05 0,05 А/дм в течение 0,25-2 ч. Потенциал катода при этом имеет значение 0,9-1,5 В (относительно насы- щенного каломельного электрода). В качестве материала катода используют медь, платину, графит, а в качестве анода - графит. Соотношение площадей катода и анода составляет 1:2-10. В процессе электролиза через электролит пропускают инертный газ - азот. Перед электроосаждением проводят электрохимическую проработку электролита при плотности тока 0,15 - 5 А/дм. Количество пропускаемого электричества составляет 1-25 А-ч/л. Изобретение может быть проиллюст

ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ НИОБИЕБЫХ ПОКРЫТИЙ, содержащий ионы .ниобия, соль натрия и растворитель, отличающийся тем, что. с целью повьшения выхода по току, он в качестве ионов ниобия, содержит дициклопентадиенилниобийдихлорид, а в качестве соли натрия и растворителя соответственно перхлорат натрия и диметилформамид imH смесь диметилформамида с метанолом при соотношении 4:1 - 20:1 по объему при следующем соотношении компонентов , г/л: Дициклопентадиенилниобийдихлорид 5-10 Перхлорат натрия 10-50 Диметилформамид или смесь диметилформаS мида с метанолом До 1 л (Л

Металлический ниобий

40

ДициклопентадиеНИЛниобийдихлорид

Гидроксид натрия

70 15

Хлорид натрия

Перхлорат натрия

Глицерин

До л

Метанол

Диме тилформамид

Потенциал катода. В: при электроосаждении

50

150

50

30

10

150

До л До л

До л

0,95

0,98

Катодная плотность тока, .

при проработке

при электроосаждении

Продолжительность электролиза, ч:

Продолжение таблицы

5 0,4

5 0,2

5 0,1